Механизм для вытягивания монокристалла из расплава

 

1. Механизм для вытягивания монокристалла из расплава, включающий герметичный корпус, содержащий намоточный барабан и гибкую подвеску для затравкодержателя, снабженный верхней и нижней червячными парами с приводами вращения и перемещения затравкодержателя, горизонтальную коническую шестерню, связанную с колесом верхней червячной пары, и взаимодействующую с ней вертикальную коническую шестерню с эксцентрично закрепленной на ней осью для размещения сателлитов, взаимодействующих с цилиндрическими шестернями, установленными соосно с вертикальной конической шестерней, одна из которых связана с намоточным барабаном, отличающийся тем, что, с целью повышения точности регулирования скоростей вращения и перемещения и расширения возможностей управления процессом, механизм снабжен полумуфтой, жестко закрепленной на оси, сателлиты снабжены полумуфтами, выполненными с ними за одно целое, один из сателлитов установлен с возможностью перемещения и попеременного зацепления с другим сателлитом и полумуфтой с помощью рычажной системы управления и дополнительным средством вращения, соединенным с приводом.

2. Механизм по п.1, отличающийся тем, что дополнительное средство вращения выполнено в виде клиноременной передачи, шкивы которой размещены на валах червячных пар, при этом шкив верхней червячной пары выполнен за одно целое с полумуфтой, взаимодействующей с полумуфтой, установленной на валу червяка и снабженной дополнительной рычажной системой управления.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области выращивания кристаллов и может быть использовано в ростовых установках с гибкой подвеской затравки для предотвращения раскачки монокристалла

Изобретение относится к оборудованию, предназначенному для получения крупногабаритных монокристаллов кремния методом Чохральского

Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано при выращивании монокристаллов кремния по методу Чохральского

Изобретение относится к механизмам для вращения и передвижения в установках для выращивания монокристаллов полупроводников по методу Чохральского

Изобретение относится к выращиванию монокристаллов из расплава в температурном градиенте с использованием устройства для передвижения расплава и кристалла

Изобретение относится к технологии высокотемпературной кристаллизации из расплава и может быть использовано для получения крупных монокристаллов

Изобретение относится к электроприводу установки для выращивания монокристаллов по способу Чохральского, содержащим механизм вращения штока, электродвигатель, соединенный с червяком червячной пары, червячное колесо которой охватывает выходной вал механизма вращения штока, механизм поступательного движения штока, включающий электродвигатель, червячную пару, червячное колесо которой одновременно является гайкой винтовой пары, ходовой винт которой передает поступательное движение штоку

Изобретение относится к области получения полупроводников

Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов, а именно к установке для выращивания монокристаллов тугоплавких окислов из расплава, и обеспечивает повышение качества кристалла за счет уменьшения механических нарушений
Наверх