Устройство для измерения концентрации легирующих примесей в полупроводниках

 

Устройство для измерения концентрации легирующих примесей в полупроводниках, содержащее смеситель, входы которого соединены соответственно с выходами первого и второго высокочастотных генераторов и входами сумматора, выход которого подключен к входу регулируемого усилителя, первый и второй синхронные детекторы, первые входы которых подключены к выходу первого высокочастотного генератора, первый селективный усилитель, выход которого соединен с вторым входом второго синхронного детектора, выход которого соединен с первым входом блока сравнения, второй вход которого подключен к выходу источника опорного напряжения, выход блока сравнения подключен к управляющему входу первого регулируемого усилителя, клеммы для подключения исследуемой структуры, первая из которых соединена с выходом блока обратного смещения и вторым входом первого синхронного детектора, а вторая - с выходом блока компенсации и первым выводом реактивного элемента, второй вывод которого подключен к общей шине устройства, второй селективный усилитель, третий синхронный детектор, первый вход которого подключен к выходу смесителя, четвертый синхронный детектор, выходы первого и третьего синхронных детекторов подключены к внешнему регистратору, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений, оно снабжено фазовращателем, вторым регулируемым усилителем, переключаемым аттенюатором, вторым сумматором, нуль-органом и фильтром, реактивный элемент выполнен в виде параллельного колебательного контура, при этом выход смесителя соединен с первым входом четвертого синхронного детектора и через фазовращатель - с входом второго регулируемого усилителя, выход которого подключен к второму входу третьего синхронного детектора и через переключаемый аттенюатор - к первому входу второго сумматора, второй вход которого через фильтр соединен с выходом первого регулируемого усилителя, первый выход второго сумматора подключен к первой клемме для подключения исследуемой структуры, вторая клемма для подключения которой соединена с входами первого и второго селективных усилителей, второй выход второго сумматора подключен к входу блока компенсации, выход второго селективного усилителя соединен с вторым входом четвертого синхронного детектора, выход которого через нуль-орган подключен к управляющему входу второго регулируемого усилителя.