Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей

 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в оптическом производстве при контроле формы вогнутых оптических асферических поверхностей , например главных зеркал телескопов . Цель изобретения - упрощение конструкции интерферометра, повышение. производительности и точности контроля . Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей содержит последовательно расположенные источник 1 монохроматического излучения, телескопическую систему,,состоящую из линз 2 и 3, светоделитель 4, за которым в одной ветви расположено плоское зеркало 5, а в другой - объектив 6, и регистратор 7 интерференционной картины.Объектив 6 рабочей ветви выполнен в виде плосковогнутой и двояковыпуклой линз. Внутри обеих линз обеспечен параллельный ход параксиальных лучей благодаря тому, что задний фокус плосковогнутой линзы совмещен с передним фокусом той выпуклой поверхности двояковыпуклой линзы, которая обращена к вогнутой поверхности плосковогнутой линзы. Плоская поверхность плосковогнутой линзы используется при настройке интерферометра для правильной установки объектива бив рабочем режиме для создания эталонного волнового фронта. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51) 4 G О1 В 9/02 11/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К А BTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4109427/24-28 (22) 16.06.86 (46) 23.01.88. Бюл. 1(р 3 (71) МВТУ им. Н.Э.Баумана (72) Д.Т.Пуряев и А.М.Романов (53) 531.715.1 (088.8) (56) Пуряев Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей. — М.: Машиностроение, 1976, с. 192-212.

Пуряев Д.Т., Шандин Н.С. Расчет компенсатора для интерференционного контроля астрономических зеркал, ОМП, 1982, 9 12, с. 23. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ВОГНУТЫХ ОПТИЧЕСКИХ АСФЕРИЧЕСКИХ

ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и предназначено . для использования в оптическом производстве при контроле формы вогнутых оптических асферических поверхностей, например главных зеркал телескопов. Цель изобретения — упрощение конструкции интерферометра, повышение. производительности и точности контроля. Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей содержит последовательно расположенные источник 1 монохроматического излучения, телескопическую систему,. состоящую из линз 2 и 3 светоделитель 4, за которым в одной ветви расположено плоское зеркало 5, а в другой - объектив б, и регистратор 7 интерференционной картины.обьектив б рабочей ветви выполнен в виде плосковогнутой и двояковыпуклой линз. Внутри обеих линз обеспечен параллельный ход параксиальных лучей благодаря тому, что задний фокус плосковогнутой линзы совмещен с передввм фокусом той выпуклой поверх- рек ности двояковыпуклой линзы, которая обращена к вогнутой поверхности плос- ( ковогнутой.линзы. Плоская поверхность плосковогнутой линзы используется нри настройке интерферометра для правильной установки объектива

6 и в рабочем режиме для создания эталонного волнового фронта. 1 ил.

1368623

ВНИИПИ Заказ 273/38 Тираж 680 Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул.. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в оптическом производсТВе при контроле формы вогнутых оптических асферических поверхностей, например главных зеркал телескопов.

Целью изобретения является упрощение конструкции интерферометра, повышение производительности и точности контроля за счет выполнения объектива рабочей ветви в виде плосковогнутой и двояковыпуклой линз, упрощения процесса установки объектива в заданное положение при на- 1г блюдении сплошной юстировочной интерференционной картины и уменьшения влияния децентрировок элементов рабочей ветви на результаты контроля.

На чертеже показана принципиаль- 20 ная схема интерферометра и ход лучей в нем.

Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучения, телескопическую систему для создания па- 26 раллельного пучка лучей, состоящую из линз 2 и 3, светоделитель 4 для разделения излучения на две ветви, плоское зеркало 5, установленное в одной ветви, объектив 6, установленный в другой рабочей ветви, и регистратор 7 интерференционной картины.

Объектив 6 рабочей ветви выполнен в виде плосковогнутой и двояковыпуклой линз, установленных так, что

35 плоская поверхность плоскбвогнутой линзы. обращена к светоделителю 4.

Внутри этих линз обеспечен параллельный ход параксиальных лучей благода- 4> ря тому, что задний фокус плосковогнутой линзы совмещен с передним фо-. кусом той выпуклой поверхности двояковыпуклой линзы,. которая обращена к вогнутой поверхности плосковогнутой 45 линзы, Интерферометр работает следующим образом.

Лучи света, выходящие из источника 1 монохроматического излучения, поступают в телескопическую систему, состоящую иэ линз 2 и 3, которая уменьшает расходимость пучка и увеличивает его диаметр. Далее пучок света проходит сквозь светоделитель

4, падает на эталонную поверхность 8 объектива 6 и делится на два пучка.

Лучи света, отраженные от поверхности 8, образуют эталонный пучок, который после отражения от светоделителя

4 поступает н регистратор 7 интерференционной картины.

Лучи света, прошедшие через объектив 6, образуют рабочий пучок. Эти лучи падают на контролируемую поверхность 9 по нормалям к ней. Отразившись от нее, лучи проходят через объектив 6 в обратном направлении, отражаются от светоделителя 4 и поступают в регистратор 7 интерференционной картины. Интерференционная картина возникает в результате взаимодействия эталонного и рабочего пучков.

Зеркало 5 используется для юстировки интерферометра и для Проверки качества светоделителя 4. В рабочем режиме зеркало 5 в образовании интерференционной картины не участвует.

Формула изобретения

Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей, содержащий последовательно .установленные источник монохроматического излучения, телескопическую систему и светоделитель для разделения излучения на две ветви, плоское зеркало, установленное в одной ветви, объектив, установленный в другой ветви, и регистратор интерференционной картины, о т.л и ч а юшийся тем, что, с целью упрощения конструкции интерферометра, повышения производительности и точности контроля, объектив выполнен в виде плосковсгнутой и двояковыпуклой линз, установленных так, что плоская поверхность плосковогнутой линзы обращена к светоделителю, а ее задний фокус совмещен с передним фокусом выпуклой поверхности двояковыпуклой линзы, которая обращена к вогнутой поверхности плосковогнутой линзы.