Устройство для фиксации деталей
Изобретение относится к области станкостроения и может быть использовано в производстве полупроводниковых материалов. Цель изобретения - создание регулируемой нагрузки на обрабатываемую деталь. Устройство содержит кассету 1, цилиндр 2 с вакуумной магистралью 3, шток 4, на который подвижно установлены кольца 5 и 6 с уплотнениями 7, 8,и 9, гильзу 10 и клапан 11. Шток 4 и кольца 5 и 6 в верхней части имеют отверстия, сопрягаемые с фиксатором 12. Обрабатываемые пластины 1 3 укладьтаются на рабочую часть кассеты. Шток 4 разъемно связан с гильзой 10, установленной в кассете с возможностью перемещения. Регулировка нагрузки осуществляется посредством фиксатора 12 и поршня, состоящего из отдельных концентрических колец 5 и 6, имеющих возможность фиксации относительно цилиндра 2. 1 ил. 12 S (Л 7.8.9 4: 4 4 fo СА N)
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (50 4 В 23 3/00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ "
И Д STOP CHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ.
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 724317 (21) 4228230/22-08 (22) 13.04.87 (46) 15.12.88. Вюл. М 46 (71) Завод чистых металлов им.so-летия СССР (72) И.H.Щербина, В.Н.Котвицкий и Н,В.Нименко (53) 621.9I2.7(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
Р 724317, кл. В 23 Ц. 3/00, 1976. (54) УСТРОЙСТВО Д. И ФИКСАЦИИ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к области станкостроения и может быть использовано в производстве полупроводниковых материалов. Цель изобретения — создание регулируемой нагрузки на обраб
„„SU„„1444123 А 2 батываемую деталь. Устройство содержит кассету 1, цилиндр 2 с вакуумной магистралью 3, шток 4, на который подвижно установлены кольца 5 и 6 с уплотнениями 7, 8,и 9, гильзу 10 и клапан
11. Шток 4 и кольца 5 и 6 в верхней части имеют отверстия, сопрягаемые с фиксатором 12. Обрабатываемые пластины 13 укладываются на рабочую часть кассеты. Шток 4 разъемно связан с гильзой 10, установленной в кассете с воэможностью перемещения. Регулировка нагрузки осуществляется посредством фиксатора 12 и поршня, состоящего из отдельных концентрических колец 5 и 6, имеющих возможность фиксации относительно цилиндра 2. 1 ил. б 17 4 7
1444123
Формула изобретения
Составитель А.Орлов
Техред Л.Сердюкова Корректор З.Лончакова
Редактор M.Ïåòðîâà
Заказ 6434/16 Тираж 922 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к станкостроению и может быть использовано в производстве по обработке полупроводниковых материалов.
Цель изобретения — создание регулируемой нагрузки на обрабатываемую деталь.
На чертеже изображено предлагае- 10 мое устройство, разрез.
Устройство сотоит из кассеты 1, цилиндра 2 с вакуумной магистралью
3, штока 4, на который подвижно установлены кольца 5 и 6, снабженные 15 уплотнениями 7, 8 и 9, гильзы 10 и клапана 11. Шток 4 и кольца 5 и 6 в верхней части имеют отверстия, сопрягаемые с фиксатором 12. Обрабатываемые пластины обозначены позицией 20
13.
Устройство работает следующим образом.
На рабочую часть кассеты 1 укладываются обрабатываемые пластины 13 и полость кассеты 1 вакуумируется путем сообщения вакуумной магистрали 3 с отверстиями-присосами через цилиндр
2, шток 4 и гильзу 10. При перемещении фиксатора 12 вдоль радиуса цилиндра 2 от центра к периферии сначала происходит освобождение штока, а затем и других колец 5 и 6.
Атмосферное давление, воздействуя на торцы колец, передает нагрузку на кассету 1 и обрабатываемые пластины 13. При перемещении фиксатора
1 2 в противоположном направлении кольца со штоком стопорятся и, следовательно, не передают нагрузку на обрабатываемые пластины.
Устройство для фиксации деталей по авт.св. Ф 724317, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью создания регулируемой нагрузки на обрабатываемые детали, оно снабжено фиксатором, а шток-поршень выполнен в виде отдельных концентрических колец и установлен с воэможностью фиксации относительно цичиндра.
