Испаритель для вакуумных установок
ижтент- .
ОПИС
ИЗОБРЕ к авто скомь с
Союз Советских
Социалистических
Республик
М. Кл. С 23с 13/12
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам иоаоретений и открытий
УДК 621.793.14. .002.52 (088.8) (72) Авторы изобретения Н. С. Балакин, А. И. Беляков, Е. В. Дмитриев и Ю. Я. Мелехин (71) Заявитель (54) ИСПАРИТЕЛЪ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК
15 Общая площадь отверстий на единицу поверхности экрана-нагревателя изменяется от периферии к середине за счет изменения диаметра отверстий или за счет изменения расстояния между ними.
2О Нагрев контейнера 2 осуществляется за счет теплового поверхностного излучения цилиндрического экрана-нагревателя 1, причем температура контейнера незначительно отличается от температуры экрана-нагревателя. Торцо2s вые крышки 4 и 5 цилиндрического экрана-нагревателя при этом также имеют температуру, близкую к температуре контейнера 2. Благодаря этому, исключается конденсация нспаряемого материала на внутренние поверхности
ЗО испарителя. (61) Зависимое от авт. с (22) Заявлено 20.05.71 (2 с присоединением за (32) Приоритет
Опубликовано 3 0,04.74. Б
Дата опубликования опи
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано при производстве изделий электронной, радиотехнической и оптической промышленности.
Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий цилиндрический экран-нагреватель, внутри которого укреплен съемный перфорированный контейнер для испаряемого материала, и токоподводы.
Однако такой испаритель не позволяет получать равномерные покрытия на длинномерных изделиях, так как выход паров испаряемого материала происходит с торцовой поверхности экрана-нагревателя. При этом диаграмма направленности близка к диаграмме направленности точечного испарителя.
Цель изобретения — получение равномерных покрытий на длинномерных изделиях.
Для этого в предлагаемом испарителе экран-нагреватель выполнен перфорированным и снабжен торцовыми крышками, одна из которых посредством петли жестко соединена с контейнером.
Предлагаемый испаритель для вакуумных установок изображен на чертеже.
Испаритель состоит из цилиндрического экрана-нагревателя 1, съемного перфорированного контейнера 2 для испаряемого материала и токоподводов 3. Экран-нагреватель выполнен перфорированным и снабжен торцовыми крышками 4 и 5. Крышка 4 снабжена петлей б и жестко соединена с контейнером 2, который разделен на секции 7 для загрузки испаряемого материала и снабжен перфориро10 ванной крышкой 8. Свободный конец контейнера опирается на изолятор 9, например керамику. Посредством крышки 4 контейнер центрируется относительно экрана-нагревателя.
425988
Предмет изобретения
А-А
Составитель JI. Анисимова
Техред Г. Дворина Корректор А. Васильева
Редактор Е. Шепелева
Заказ 2689/5 Изд, Ко 1532 Тираж 875 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
При нагреве пары испаряемого материала заполняют внутренний объем контейнера и выходят через отверстия крышки 8 в пространство между контейнером и стенками экрананагревателя. Паровой поток после многократных отражений выходит через отверстия экрана-нагревателя, образуя круговую диаграмму распределения конденсата до ЗбО, равномерную по длине испарителя. С целью большей равномерности распределения конденсата рекомендуется использовать для испарения углы до 180 .
Испаритель для вакуумйых установок, содержащий цилиндрический экран-нагреватель, 5 внутри которого укреплен съемный перфорированный контейнер для испаряемого материала, и токоподводы, отличающийся тем, что, с целью получения равномерных покрытий на длинномерных изделиях, экран-на10 греватель выполнен перфорированным и снабжен торцовыми крышками, одна из которых жестко соединена с контейнером.
