Способ изготовления пироэлектрического приемника теплового изображения

Авторы патента:

H01L31/18 - способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки таких приборов или их частей (не предназначенные специально для этих приборов H01L 21/00)

Способ изготовления пироэлектрического приемника теплового изображения, включающий формирование на пироэлектрическом слое верхнего и нижнего электродов, соединение пироэлектрического слоя с подложкой, локальное травление подложки, формирование контактного слоя, травление лунок в месте контакта и щелевидных отверстий и соединение с устройством обработки сигнала, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности приемника и уменьшения неоднородности сигнала, сначала осуществляют соединение устройства обработки сигнала с подложкой, затем в подложке вытравливают лунки и формируют контактный слой, образующий нижний электрод, соединяют с подложкой пироэлектрический слой путем его напыления, последним формируют верхний электрод, а затем вытравливают в нем и пироэлектрическом слое щелевидные отверстия вокруг лунок и через них удаляют подложку.

Способ получения слоев аморфного кремния // 1435105

Способ получения фотопроводящих слоев для визуализатора излучения // 1412535

Изобретение относится к технологии полупроводников и может быть использовано при изготовлении преобразователей изображения типа фотопроводник - регистрирующая среда

Способ изготовления фотоанодов на основе внутреннего активного p-n-перехода // 1347830

Способ активации фоточувствительности пленок полупроводниковых соединений типа aii bvi aiv и их твердых растворов // 1286026

Способ изготовления мультискана // 1285545

Способ изготовления инверсионных фотопреобразователей // 1222152

Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов, в частности солнечных элементов

Способ изготовления фоточувствительных приборов // 1213994

Способ создания фоточувствительных элементов на антимониде индия // 915684

Способ получения фоточувствительных пленок сульфида кадмия // 890907

Способ изготовления кремниевых солнечных элементов // 2114491

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, в частности к способам изготовления солнечных элементов (СЭ)

Способ стабилизации чувствительности импульсного генератора и устройство для его реализации // 2119213

Изобретение относится к приборам, состоящим из нескольких полупроводниковых компонентов, чувствительных к различным видам фотонного излучения, от оптического до гамма-излучения, преобразующих энергию этих излучений в электрическую энергию

Способ изготовления солнечного элемента и солнечный элемент // 2122259

Изобретение относится к способу изготовления солнечного элемента, а также солнечному элементу, изготовленному этим способом

Способ изготовления полупроводникового фотопреобразователя // 2127009

Изобретение относится к электронной технике, а именно к технологии изготовления полупроводниковых фотопреобразователей (ФП)

Способ изготовления полупроводникового фотопреобразователя из монокристаллического кремния // 2127471

Изобретение относится к полупроводниковой технике, а именно к технологии изготовления полупроводниковых фотопреобразователей (ФП)

Способ изготовления полупроводникового фотопреобразователя // 2127472

Способ изготовления полупроводникового лавинного фотодиода // 2127473

Способ и устройство для изготовления фотогальванических приборов и фотогальванический прибор // 2129744

Изобретение относится к способу и устройству для изготовления фотогальванических (фотовольтаических) приборов, а также касается получающегося в результате изделия для преобразования света в электричество

Солнечный фотоэлектрический модуль с концентратором и способ его изготовления // 2130669

Изобретение относится к гелиоэнергетике, в частности к солнечным фотоэлектрическим модулям с концентраторами солнечного излучения для получения тепла и электричества

Способ изготовления солнечного фотоэлектрического модуля // 2130670