Программный регулятор расхода

 

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме ,в частности, к устройствам подачи и регулирования натекания газа в вакуумную камеру. Цель изобретения - расширение области применения. В программном регуляторе расхода последовательно установленны связанные с исполнительным блоком 1 первый регулируемый дроссель 5, электропневмоклапан 7, второй регулируемый дроссель 6 и пневмоклапан 4. Блок 2 сравнения состоит из усилителей 8 и 9, задатчика 17 давления и постоянного дросселя. Программный блок 1 состоит из электропневмоклапанов 18-22 и N+1 регулируемых дросселей 11-16. Применение изобретения позволит осуществить гибкую автоматизированную подачу компонентов газа, повысить износостойкость. 3 ил.

СЭОЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

Ш4 G 0 Н 1И41

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4303851/24-24 (22) 31.08.87 (46) 07.04.89. Бюл. 1"- 13 (72) Г,Н.Шатило, E.Ñ.Íåçíàìîâ и Н.А.Тарасенко (53) 681,325.66.05-525(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N - 384092, кл, С 05 В 19/43, 1970. (54) ПРОГРАММНЫЙ РЕГУЛЯТОР РАСХОДА (57) Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме, в частности . к устройствам подачи и регулирования натекания газа в вакуумную камеру. Цель изобретения — расширение об-, ласти применения. В программном регуляторе расхода последовательна установлень, связанные с исполнительным блоком 1 первый регулируемъп1 дрэссель 5, электропневмоклапан 7, второй регулируемый дроссель 6 и пневмоклапан 4. Блок 2 сравнения состоит из усилителей 8 и 9, задатчика

17 давления и постоянного дросселя, Программный блок состоит из злектропневмоклапанов 18-22 и,, +1 регулируе ык дросселей 11 - 16. Применение изобретения позволяет осуществить гибкую автоматизированную подачу компонечтов газа, повысить износостойкость 3 ил, 1471176

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме, в частности к устройствам подачи и регулирования натекания газа в вакуумную камеру, Целью изобретения является расширение области применения.

На фиг, 1 показана принципиальная схема устройства; на фиг. 2 — устройство, общий вид; на фиг. 3 — то же, вид сбоку.

Регулятор состоит из программного блока 1 регулятора давления, блока 2 сравнения, исполнительного блока 3, пневмоклапана 4, регулируемых дросселей 5 и б,электропневмоклапана 7.

Программный блок 1 содержит сумматор, включающий два усилителя 8 и 9, носсели, задатчик 17 давления, электропневмоклапаны 18-22. Выход регулятора-натекателя соединен с вакуумной камерой и отрицательной камерой усилителя 8,. а через контакты пневмоклапана 4, регулируемый дроссель 8, 25 электронневмоклапан 7 и регулируемый дроссель 5 — с выходом регулятора (исполнительный блок) давления. Вход регулятора 1 соединен с трубопроводом подачи газа. Камера управления

30,регулятора 1 соединена с выходом усилителя 8 и отрицательной камерой усилителя 9. Каналы питания усилителей

8 и 9 через постоянный дроссель !0 соединены с задатчиком 17 давления и отрицательной камерой усилителя 8, а через регулируемый дроссель 10— с коллектором, соединяющим регулируемые дроссели 12-16, Выходы регулируемых дросселей 12-16 соединены с электропневмоклапанами 18-22. Все элементы регулятора, кроме регулятора 1 давления, установлены на панели 23 (фиг. 3). Последняя склеена из двух листов органического стекла.

В одном листе профрезерованы каналы связи. На панели 23 со стороны эле35

40 ментов установлены штуцеры: 24 — соединения с вакуумной камерой; 25 и 26— для соединения с регулятором 1 давления и 27 - для подключения воздуха. Воздух очищается фильтром 28.

Выход регулятора подключен к вакуумной камере 29.

Регулятор работает следующим образом.

55

Необходимый газ подается в вакуумную камеру 29 через регулятор 1 давтоянный 10 и регулируемые 11 — 16 дрос-20 ления, регулируемый дроссель 5, электропневмоклапан 7, регулируемый дроссель 6 и параллельно дросселю 6 через контакты пневмоклапана 4. Во Вре мя подачи газа абсолютное давление в камере находится в пределах 1,33-3

-1,33.10 Па, а относительное давление перед дросселем поддерживается пневмоклапаном 4 и равно нулю. Дроссель 6 настраивается при минимальном расходе газа, принятом за единицу, на перепад давлений, равный разнице между абсолютным и относительным давлениями. При отсутствии расхода газа давление перед дросселем б равно давлению в вакуумной камере. При расходе газа через дроссель б, большем, чем принятый за единицу, перед дросселем появляется избыточное давление, которое открывает контакт реле 4 и газ подается дополнительно через сопло реле 4.

Таким образом, независимо от расхода газа избыточное давление перед дросселем постоянное и равно нулю, лишь при расходе газа меньшем, чем принятое за единицу, или при отсутствии расхода — меньше нуля. Регулируемый дроссель 5 настраивается на пропускную способность газа, равную минимальному расходу газа, принятому за единицу, при минимальном давлении перед дросселем, принятом за диапазон изменения давления регулятора 1.

Давление газа на регуляторе 1 повторяет выходное давление воздуха блока 3 сравнения. Давление на выходе последнего устанавливается сумматором, состоящим из усилителей 8 и 9, и зависит от суммы давлений, поданных на их входы от вакуумной камеры, задатчика 17,и программного блока 1, состоящего из регулируемых дросселей 11-16. От проводимости дросселя 11 зависит коэффициент усиления блока сравнения. Дроссель 12 настраивается таким образом, что при отключенном электропневмоклапане 18 и соединенном с атмосферой дросселе 12 давление на выходе усилителя 8 равно нулю, а при включенном электропневмоклапане 18 (дроссель 12 перекрыт) давление на выходе усилителя 8 равно давлению, принятому за единицу. Проводимость остальных дросселей сумматора настраивается в соотношении

1:2:4:8;16, При последовательном включении электропневмоклапанов 181471176

21 на выходе усилителя 8 повышается давление в соотношении, соответствующем проводимостям дросселей на их входе, а следовательно, повышается и давление газа перед дросселем 5.

Таким образом, при включении электропневмоклапанов 18"22 по прог" рамме, заданной в двоичном коде, получают соответствующее давление га- 10 за перед дросселем 5, а следовательно, и расход. Количество регуляторов подключают по необходимому количеству компонентов газа при нанесении покрытий. Изменяя программу, можно f5 получить любое соотношение компонентов, а также изменение соотношений в любом промежутке времени технологического процесса.

Предлагаемая конструкция програм- 20 много регулятора расхода позволяет осуществить гибкую автоматизированную подачу газа, улучшить качество износостойких покрытий.

Формула изобретения

Программный регулятор расхода, содержащий программный блок, блок сравнения, исполнительный блок и ка- З0 нал обратной связи, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью расширения области применения, в него введены первый регулируемый дроссель, злектропневмоклапан, второй регулируемый дроссель и пневмоклапан, при этом канал питания электропневмоклапана через первый регулируемый дроссель соединен с выходом исполнительного блока, а его выход — с управляющей камерой пневмоклапана и через контакт пневмоклапана параллельно второму регулируемому дросселю - с выходом регулятора, блок сравнения состоит из двух усилителей, постоянного дросселя и задатчика давления, при этом каналы питания усилителей через постоянный дроссель соединены с задатчиком давления, подключенным к первой отрицательной камере второго усилителя, положительная камера которого соединена с выходом первого усилителя, причем управляющая камера исполнительного блока соединена с выходом второго усилителя и с отрицательной камерой, первого усилителя, выход регулятора соединен каналом обратной связи с второй отрицательной камерой второго усилителя, а канал питания исполнительного блока соединен с газовой магистралью, программный блок состоит из N электропневмоклапанов по числу разрядов входного сигнала и 0+1 регулируемых дросселей, при этом каналы питания усилителей через (N+1)-й регулируемый дроссель связаны с коллектором, который через соответствующий N-й регулируемый дроссель подключен к выходам соответствующих электропневмоклапанов.

1471176

Составитель И.Яковенко

Редактор А.П1андор Техред Л.Сердюкова

Корректор К.Иуска

Заказ 1606/49 Тираж 788 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород., ул. Гагарина,101