Установка для химической обработки изделий

 

Изобретение относится к оборудованию для химической обработки поверхностей изделий , в частности, в производстве полупроводниковых приборов и микросхем и может быть использовано для проведения подготовительных операций при обработке поверхностей корпусов приборов и сетчатых отрезков лент микросхем перед гальваническим покрытием. Цель изобретения - повышение эффективности обработки за счет совмещения процессов струйной и погружной обработки в непрерывном потоке жидкости. Загрузочный лоток 6 по направляющим 5 вводят в блок 4 химической обработки. Пневмоцилиндры поворачивают кронштейны и посредством тяг 9 поднимают плиту 8 и загрузочный лоток 6. Так как отверстия 32 в подъемной плите 8 и отверстия в днище загрузочного лотка 6 имеют разные расположения в горизонтальной плоскости, то отверстия загрузочного лотка 6 при подъеме плиты 8 перекрываются. Подают реагент из ванн 15 по трубопроводу 17 в блок форсунок 18, а затем в загрузочный лоток 6. Рабочий реагент заполняет загрузочный лоток 6 и переливом через верхний край попадает на днище блока 4 химической обработки и через распределительное устройство 14, сливной патрубок 16 возвращается в ванну 15. Конструктивные особенности позволяют снизить металлоемкость и габариты установки в 5 -6 раз. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 1504289 A 1

tsu 4 С 23 С 3/00, С 25 Р 7/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСНОМ,/ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

17

4oV. 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4311984/23-02 (22) 30.09.87 (46) 30.08.89, Бюл. N - 32 (72) В.Е,Лукьяичиков (53) 621.357.14(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 387755, кл, С 23 G 5/04, !9?1, Авторское свидетельство СССР

Р 939602, кл, С 25 F 7/00, 1981 ° ( (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ХНМИЧЕСКО11 ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ

21

1Ч

Ф

17

У

В

11 (5 7) Из об ретение относит ся к оборудованию для химической обработки поверхностей изделий, в частности, в производстве полупроводниковых приборов и микросхем и может быть использовано для проведения подготовительных операций при обработке поверхностей корпусов приборов и сетчатых отрезков лент микросхем перед гальваническим покрытием. Цель изобретения повышение эффективности обработки за счет совмещения процессов струйной и

1504289 погружной обработки н непрерывном потоке жидкости, Загрузочный лоток 6 по направляющим 5 вводят в блок 4 химической обработки. Пневмоцилиндры поворачивают кронштейны и посредством тяг 9 поднимают плиту 8 и загрузочный лоток 6, Так как отверстия 32 в подъемной плите 8 и отверстия в днище загрузочного лотка 6 имеют раз l0 ные расположения и горизонтальной плоскости, то отверстия загрузочного лотка 6 при подъеме плиты 8 перекрываются. Подают реагент из ванн 15 по трубопроводу 17 в блок форсунок 18, а затем в загрузочный лоток 6. Рабочий реагент заполняет загрузочный лоток 6 и переливом через верхний край попадает на днище блока 4 химической обработки и через распределительное устройство 14, сливной патрубок 16 возвращается в ванну 15. Конструктивные особенности позволяют снизить металлоемкость и габариты установки в

5-6 раз. E э,п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к оборудованию для химиче скои обработки поверх- 20 ностей изделий, н частности, в производстве полупронодниковых приборов и микросхем и может быть использовано для проведения подготовительных операций при обработке поверхнс стей кор- 25 пусов приборов и сетчатых отрезков лент микросхем перед гальваническим покрытием, Цель изобретения — повьппение эффективности обработки погружной абра- 30 ботки н непрерывном потоке жидкости, На фиг, 1 изображена установка, общий вид; на фиг. 2 — то же, нид сбоку.

Установи 3 состоит n3 корпу са 1 35 на котором с 1оитиронан скафандр 2, .а на скафандре 2 установлен блок 3 электропненмоавтоматики. Под скафандром 2 установлен блок 4 химической обработкn, н котором на направляющих 40

5 .установлен подложкодержатель, выполненнный н виде загрузочного лотка 6 с кассетой 7 для обрабатываемых изделий. Под загрузочным лотком б подвижно установлена подъемная пли- 45 та 8, которая жестко связана с вертикальными тягами 9, верхние концы которых шарнирно соединены с поворотными рычагами l0 закрепленными с воэможностью поворота на кронштейнах 11, Кроншт".éíû 11 неподвижно закрепл,ы на наружных поверхностях вертикальных стенок блока 4 химической обрабо"êè. !1ижний конец каждого поворотного рычага 10 шарнирно соединен сс штоком пневматического цилиндра !?. Каждый пневматический цилиндр 12 посредством кронштейна 13 закреплен также на нертикальной стен:.е блока 4 химической обработки.

В нижней части корпуса 1 расположены распределительное устройство 14, ванны 15 с рабочими реагентами, сливные 16 и напорные 17 трубопроводы, последние соединяют каждую ванну 15 с блоком форсунок 18 ° Блок 4 хими1 че ской обработки подвижно соединен слинным патрубком с распределительным устройством 14,.

В цилиндрическое отверстие 19 корпуса 1 с возможностью понорота и вертикального перемещения установлен поворотный ротор 20, который имеет внутреннюю конусно-цилиндрическую поверхноСть, причем цилиндрической поверхностью он подвижно соединен с патрубком 21 блока 4 химической обработки, а нижняя его конусная поверхность переходит в эксцентрично расположенный и выступающий эа нижний торец патрубок 22. На верхнем торце поворотного ротора 20 неподвижно установлено зубчатое колесо 23, которое находится одновременно в зацеплении с двумя шестернями 24 редукторон 25, На шестерне 24 неподвижно установлены кронштейны 26 с опорными рамками 27, находящимися в контакте с торцовым кулачком 281 неподвижно закрепленным на верхнем торце корпуса 29 ° На боковых поверхностях корпуса 29 установлены конечные выключатели 30 с возможностью взаимодействия с кронштейном 31, который неподвижно закреплен на зубчатом колесе 23. Подъемная плита 8 выполнена с отверстиями 32, а загрузочный лоток 6 с отверстиями, которые не совпадают по расположению с отнерстиями 32.

5 1504289 6

Установка рабат «ет сл едунк1им об- нае устройство 14 пер еключают на вторую ванну 15, включают пневматические

Загрузочный лоток 6 выдвигают иэ цилиндры 12, подъемную плиту 8 подниблока 4 х1 мическай обработки и номе- мают в верхнее паложеьн1е и начинае

5 икается щают в него кассету 7 с абрабатывае- обработка новым реагентам„Цикл повмыми изделиями. Загрузочный лоток 6, таряется ° При необходимости промежуточной промывки распределительное в блок 4 химической аб абатки На устраиство 14 переключают после абра. лицевой панели блока 3 электрапнев- lð батки каждым реагентом на слив и каматики нажимают кнопку Пуск, При нализацию, и промывные воды подают

1 этом пневматические цилиндры 2 па- через блок Форсунок 18 от централиварачивают кронштей.1ы 11 и пасредс,—

Установка позволяет производить зочный лоток 6. Так как отверстие 32 !5 -.,имическую обработку изделий, HBIIpHв подъемной плите Я и отве стия в д Я и отверстия в мер отрезков л нт интегральных схем, днище загрузочного латка 6 имеют раэ- II одной установке последовательно ные расположения в го изонтальна11 р горизонтальной различными реа ген тами с прамежуточоск ти ными и финишными промывками. При лотка 9 п1и по ъеме плить; Я д .1е плить; Я перекры- 20 этом конструктивные особенности усваются, Одновременно со срабатыванием тановки обеспечивают снижение металПНЕВМатИЧЕСКОГО цИЛИНдрОВ 12 В.CnIc Ча- лаемкасти и габаритов устанавк". в ется один и электродвигателей прива- 5-6 раэ. да насосов (не показан) и,-1ач11 реагентов из ванн 15, рабочий реагент 25 Ф о р м у л а и и э а б р е; е н и я из ванны 15 па трубопроводу 17 посту1. Усзанавка для химической обрэг загруэочныи лоток 6. ак IcdK подъем- батки изделий, содержащая корпус с наи плитои 8 перекрыты спинные атвер- блоком химической обработки подлажра .атки, стия в днище загрузочного латка 6, 3р кадержателем, установленным на напта рабочии реагент заполняет э агру- равляющих с возможностью горизонта. ьзачный лоток 6 и пе еливам ч наго перемещения, рзспределительнь, устройством, саед«ненным через сл ческай обработки и чере распредели- цые трубопроводы с ваннами для р бо1 / тельное ycTpoHcTBQ 14, сливно I патру- З5 чих реагентов, и блокам форсунок, бок 16 возвращается в ванн соединенным. через напорные трубопрапроцессе обработки подачу реагента водь1 с <аждой ванной для рабочих реосуществляют непрерывна и в эагрузоч- агептав, а т л и ч а ю щ а я с я нам лотке 6 по це живают неп е ыв дд р B H-прерь1вный теt1 чта, с целью повышения эффективид, о обеспечивает рав 4р ности обработки за счет совмещения номерную обработку изде 1и11 любой фор процессов струйной и погружной сбрамы с любым распаложен11åì изделии в батки в непрерывном потоке жидкости, кассете 7 и с любои плотностью уста- она снабжена плитой с отверстиями и

НоВКН изделии, После окончания про- механизмом ее вертикального перемецесса обработки первым реагентом 45 щения при этом подло ко щения, при этом подложкодержатель выпневматические цилиндры 12 паварачи- полнея в виде загрузочного лотка с вают кронштеины 11 в исходные положе- отверстиями в дне, не совпадающими ния, тяги 9 опускаются и опускают с отверстиями в плите, причем плита подъемную плиту 8. Загрузочный лоток установлена под загрузочным лотком, 6 опускают на направляющие, при этом 5р одновременно отключают насос подачи 2. Установка по и. 1, о т л и реагента. Раствор из загрузочного ч а ю щ а я с я тем, что механизм лотка 6 через отверстия, распредели- вертикального перемещения плиты вытельное устройство 14 и сливной тру- полнен в виде пневматических цилиндбопровод 16 попадает в ванну !5, Та в 5 рав, штоки которых кинематически ким образом заканчивается первый цикл связаны посредством поворотных рычаобработки. После чего распределитель- гов и вертикальных тяг с плитой, 1504289

Составитель В,Трегубов

Редактор Н.Киштулинец Техред М.Моргентал Корректор М.Васильева

Заказ 5218/30 Тираж 942 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101