Вертикальный турбомолекулярный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Ротор (Р) 5, установленный по оси корпуса 1, снабжен дисками 6, образующими со статором 2 радиальные зазоры (РЗ) 7, уменьшающиеся от всасывания к нагнетанию. Р 5 опирается на подпятник 4 гибким стержнем 3. При вращении Р 5 его отклонение от оси в верхней части больше, чем в нижней, и переменные РЗ 7 исключают задевание дисками 6 статора 2. 3 ил.

А1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУ БЛИН

„„SU„„560813 (51)5 Г 04 0 19 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ROT СССР (21) 4369835/2S-29 (22) 28.01.88 (46) 30,04.90, Бюл.В 16 (75) Б.К,Бахтерев, В.И,Овчинников и Г,А Пульдас (53) 621.527,8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 1036956, кл, Р 04 П 9/04, 1981, (54) ВЕРТИКАЛЬ%Г1 ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ, НАСОС (57) Изобретение относится к вакуум2 ной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Ротор (Р) 5, установленный по оси корпуса 1, снабжен дисками 6, образующи" ми со статором 2 радиальные зазоры (РЗ) 7, уменьшающиеся от всасывания к нагнетании>. Г S опирается на подпятник 4 гибким стержнем,З,При вращении Р 5 его отклонение от оси в верхней части больше, чем в нижней и переменные ГЗ 7 исключают задевание дисками 6 статора 2. 3 ил.

1560813

1О

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — улучшение от5 качных характеристик насоса, На фиг.1 схематично представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 схема возможного отклонения ротора от оси корпуса; на фиг.3 — схема внутренней части насоса с переменными зазорами, образованными дисками с разными наружными диаметрами.

Вертикальный турбомолекулярный насос содержит корпус 1, размещенный 15 на его внутренней поверхности статор

2 и расположенный по оси корпуса 1 на гибком стержне 3, опирающемся на подпятник 4, ротор 5 с роторными дисками 6, установленными с радиальными зазорами 7 относительно статора

2, выполненными переменными, уменьшающимися от всасывания к нагнетанию.

Кроме того, ротор 5 снабжен осевым магнитным подшипником 8. 25

Насос работает следующим образом.

При вращении ротора 5 в процессе его разгона до рабочих оборотов появляются радиальные возмущающие сильг, стремящиеся вывести ротор 5 из устой-30 чивого равновесия. Несмотря на наличие магнитного подшипника 8, удерживающего ротор 5 на оси корпуса 1, амплитуда радиальных колебаний ротора 5 в зоне всасывания, наиболее

35 удаленной от подпятника 4, много больше, чем в зоне нагнетания, В результате отклонения оси ротора 5 от оси корпуса 1 зазоры ? в зоне всасывания могут изменяться от величины

S< до величины Я > такой же, как в зоне нагнетания, Благодаря непостоянному зазоров 7 по длине ротора 5 исключается задевание роторными дисками 6 статора 2 как в зоне всасывания при начальном зазоре Я, так и в зоне нагнетания при начальном зазоре Я, т.е. нет необходимости выполнять все зазоры величиной 8 т 1 аким образом, достигается снижение обратных перетечек со стороны нагнетания на сторону всасывания, а, следовательно, улучшение откачных характеристик насоса — быстроты действия и степени сжатия. формула изобретения

Вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус, размещенный на его внутренней поверхности статор и расположенный по оси корпуса на гибком стержне, опирающемся на подпятник, ротор с роторными дисками, установленными с радиальными зазорами относительно статора, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик

9 радиальные зазоры выполнены переменными, уменьшающимися от всасывания к нагнетанию, 1560813

Составитель В.Кряковкин

Техред М. Дидык Корректор В. Гирняк

Редактор Ю,Середа

Заказ 964 Тираж 495 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР .113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101