Высоковакуумный клапан

 

Изобретение позволяет повысить надежность работы высоковакуумного клапана за счет увеличения срока службы сипьфона и уменьшить габариты за счет прямоугольной формы выполнения проходных отверстий в корпусе. В полости корпуса с горловиной. 10 и проходными соосными отверстиями 8 размещен запорный элемент.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

<м)э F 16 К 3/10

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1-Я

Л 20 27 2б

4Ье 2 (21) 4321333/29 (22) 26.10.87 (46) 23.01.91. Бюл. ¹ 3 (72) В.B.Áëèíoâ, Н.И.Козлов, А.Н.Тарантай и О.П. Пчеляков (53) 621.646 (088.8) (56) Анашин В.В. и др, Высоковакуумные прямопролетные клапаны. — Новосибирск, 1975, с. 5-7, рис.1-3.

„„ЯЦ „„1622690 А1 (54) ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ КЛАПАН (57) Изобретение позволяет повысить надежность работы высоковакуумного клапана за счет увеличения срока службы сильфона и уменьшить габариты эа счет прямоугольной формы выполнения проходных отверстий в корпусе. В полости корпуса с горловиной 10 и проходными соосными отверстиями 8 размещен запорный элемент.

1622690

Элемент герметично перекрывает отверстия 8 с помощью средств 4 поджатия и связан с приводом 3 поворота через ввод качательного движения рычагом 22, установленным в горловине 10. Каждое отверИзобретение относится к области арматуростроения, в частности к вакуумной технике, и предназначено для обеспечения передачи пластинчатых иэделий между герметичными камерами в вакуумных установках молекулярно-лучевой эпитаксии, Цель изобретения — повышение надежности работы клапана за счет увеличения срока службы сильфона, а также уменьшение габаритов клапана за счет прямоугольной формы выполнения проходных отверстий в корпусе.

На фиг, 1 изображен высоковакуумный клапан, общий вид. совмещенный с разрезом; нв фиг. 2 — разрез А-А на фиг, 1, Высоковакуумный клапан состоит из основных узлов: корпуса 1, ввода 2 качательного движения с запорным элементом, привода 3 поворота, средства 4 поджатия, Корпус 1 состоит из фланца 5 с цилиндрической полостью 6 для запорного элемента, выполненного в виде пластины 7. Во фланце

5 выполнены прямоугольное проходное отверстие 8, соосное полости 6, с уплотнительными выступами 9 с одно -о торца и подсоединительным элементом типа "конфлэт" с другого торца для герметичного подсоединения клапана к другим вакуумным элементам.

Прямоугольное проходное отверстие выполнено в виде щели с соотношением сторон С/О 0,05-0,25, где С вЂ” меньшая сторона прямоугольного отверстия; 0— большая его сторона, Полость 6 фланца 5 соединена с горловиной 10 корпуса для установки ввода 2 качательного движения с запорной пластиной 7, повторяющей форму щелей, и патрубком 11 для установки магнитораэрядного насоса 12. Фланец 5 шпильками 13 жестко соединен с фланцем 14, в котором выполнено проходное прямоугольное отверстие 15 с подсоединительными элементами типа "конфлэт" соосно отвертию 8 фланца 5. Между фланцами 5 и 14 установлен подвижный патрубок 16, соединенный с ними гибкими элементами 17 и имеющий возможность осевого перемещения. На подвижном патрубке выполнено прямоугольное отверстие 18 соосно отверстиям во фланцах 5 и 14 и уплотнительный

50 стие 8 выполнено в виде щели, элемент — в виде пластины 7, повторяющей форму щели.

Рычаг 22 закреплен на меньшей стороне пластины 7, обращенной в направлении горловины 10. 2 ил. выступ 19. Поверхности уплотнительных выступов полированы.

Ввод 2 качательного движения с запорной пластиной 7 состоит из патрубка 20, на который герметично присоединен сильфон

21, к другому торцу сильфона 21 закреплен герметично рычаг 22 с осями 23 поворота, установленными посредине сильфона. На торце рычага 22 в обойме 24 закреплена обращенная к горловине 10 меньшей стороной запорная пластина 7 с уплотнительными выступами 25. Ось поворота рычага смещена на половину меньшей стороны прямоугольного отверстия корпуса (Е1/2С). Рычаг 22 связан со штоком 26 привода 3 поворота пальцем 27. Шток 26 установлен в корпус 28 и соединен с сильфоном 29 для подачи управляющего газа через штуцер 30. С другой стороны штока 26 установлена возвратная пружина 31. Средство 4 поджатия состоит из тонкостенного тора 32, установленного между фланцами 33 и 34, Фланец 33 закреплен на резьбе к корпусу 1, а фланец 34 жестко соединен шпильками 35 с патрубком 16. На шпильках 35 между сланцем 33 и патрубком 16 установлены возвратные пружины 36 и регулировочные гайки 37. Для подачи управляющего газа тор

32 снабжен штуцером 38.

Клапан работает следующим образом, Для закрывания клапана подают управляющий газ в штуцер 30. Сильфон 29, расширяясь под действием давления, перемещает шток 26, перемещение штока через палец 27 передается на рычаг 22, который, поворачиваясь вокруг осей 23, устанавливает пластину 7 в исходное положение. При подаче управляющего rasa через штуцер 38 тор 32, расширяясь от давления, через фланец 34, шпильки 35 перемещает патрубок 16, зажимающий запорную пластину 7, Полированные поверхности уплотнительных выступов 9 и 19, зажимая полированные поверхности профилированных выступов 25 запорной пластины 7, создают герметичное соединение, образуя замкнутую полость 6. Для обеспечения надежности работы клапана магниторазрядный насос

12 откачивает полость 6, 4То позволяет поддерживать в полости высокий вакуум и кон1622690

78

25 фиг.!

Составитель А.Бирюкова

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор Л.Бескид

Редактор Е.Папп

Заказ 103 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35. Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент". г, Ужгород. ул,Гагарина, 101 тролировать качество уплотнения при напуске атмосферы с одной стороны.

Для открывания клапана снимают давление с тора 32. Под действием возвратных пружин 36 патрубок 16 отодвигается от корпуса 5, При снятии давления в сильфоне 29 под действием пружины 31 запорная пластина убирается в полость 6.

Формула изобретения

Высоковакуумный клапан, содержащий корпус с горловиной и проходными соосными отверстиями и размещенный в полости корпуса эапорный элемент, герметично перекрывающий проходные отверстия с помощью средств поджатия и связанный с приводом поворота через ввод качательного движения рычагом. установленным в гор5 ловине корпуса. отл ич а ю щи йс я тем, что, с целью повышения надежности и уменьшения габаритов, по крайней мере одно из проходных отверстий выполнено в виде щели, а запорный элемент выполнен в

10 виде пластины, повторяющей форму щели, причем рычаг закреплен к меньшей стороне пластины, обращенной в направлении горловины,