Пленочный предохранитель

 

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для защиты электронных приборов в интегральном исполнении. Целью изобретения является повышение быстродействия срабатывания пленочного предохранителя, а также регулирования токов срабатывания в широком диапазоне . Пленочный предохранитель состоит из изолирующей подложки, на которой расположена пленка расплавляемого материала и токоподводящие пленочные проводники (ТПП). Благодаря тому, что ТПП выполнены из материала с более высокой проводимостью, чем пленочный расплавляемый материал, а изолируюцая подложка выполнена из материала проводности вышается быстродействие срабатывания, т.к. уменьшается теплоотвод через подложку. Выбор тока срабатывания обеспечивается различным содержанием кислорода в расплавляемом оксиде индия. 1 з.п. ф-лы, 1 ил,, 1 табл. с коэффициентом теплоне выше 10 Вт/м-К, поа S (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1629926 А 1 (У1)5 Н 01 H 85/06

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

Н Д ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2 интеграл ьном исполнении. Целью изобретения является повышение быстродействия срабатывания пленочного предохранителя, а также регулирования токов срабатывания в широком диапазоне ° Пленочный предохранитель состоит из изолирующей подложки, на которой расположена .пленка расплавляемого материала и токоподводящие пленочные проводники (ТПП) . Благодаря тому, что ТПП выполнены из материала с более высокой проводимостью, чем пленочный расплавляемый материал, а изолирующая подложка выполнена из материала с коэффициентом теплопроводности не выше 10 Вт/м К, повышается быстродействие срабатывания, т.к, уменьшается теплоотвод через подложку. Выбор тока срабатывания обеспечивается различным содержанием кислорода в расплавляемом оксиде индия. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 табл. (21) 4475301/07 (22) 18.08.88 (46) 23.02.91 ° Бюл, № 7 (71) Институт электросварки им. E.О,Патона и Киевский государственный универ ситет им. Т.Г.Шевч енко (72) А.В.Демчишин, В.Н.Добровольский, Л .В.Ишук, Г.К.Нинидзе, В.И.Рекичинский и В.В.Стеценко (53). 621.316.923 (088.8) (56) Патент США № 4532489, кл. 337-228, 1985.

Патент США № - 4533896, кл . 33 7-232, 198 5, Патент Великобритании ¹ 1336938, ; кл. Н 01 Н 85/48, 1978. (54) ПЛЕНОЧНЫЙ ПРЕДОХРАНИТЕЛЬ (57) Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для защиты электронных приборов в

Изобретение относится к электро» технике и может бьггь использовано для защиты электронных приборов в интегральном исполнении.

Цель изобретения — повышение быстродействия срабатывания пленочного предохранителя, а также регулирование токов срабатывания в широком диапазоне.

На чертеже изображен пленочный предохранитель, поперечное сечение.

Пример. На подложку t (фиг.1) из полимерной пленки марки 4ФМБ толщиной 100 мкм или целлулоида, при

30 С, высокоскоростным реактивным катодным распыпением мишени из индия в смеси газов аргон-кислород, при общем давлении 5 ° 10 мм рт.ст., .3 удельной мощности разряда 2 Вт см нанесена пленка 2 оксида индия толщиной 1000+50 А. При изменении парциального давления кислорода в рабочей

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

16299 26

Формула изобр етения

1. Пленочный предохранитель, содержащий изолирующую подложку, на которой расположен расплавляемый мате25 риал, и токоподводящие пленочные проводники из материала с более высокой проводимостью, чем у расплавляемого материала, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия срабатывания, изолирующая подложка выполнена из материала с коэффициентом теплопроводности не выше 10" Вт/м ° К.

Проводимость, Ом,см

Ф4МБ Целлулоид

0,17

0,63

1, 14

6,05.

8,7

15,5

22,4

0,23

0,74

1,62

6,92

11,4

19,33

25,1

9,85

1, 04 10

4, 1 ° 10 ;

9,9 .. 10

3, 35 -1.0Ф

8,78 104

1,16 ° 10

2. Предохранитель по п.1, о т л и- ч а ю шийся тем, что, с целью регулирования тока срабатывания в широком диапазоне, в качестве расплавляемого материала использован оксид индия, содержащий различное количество кислорода.

Составитель С.Гордон

Редактор В.Бугренкова- Техред A.Кравчук Корректор О.Кравцова

Заказ 440 Тираж 348 Подписное

ВНИЙПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101 камере получают пленки оксида индия с различным содержанием кислорода и, соответственно, с различной электрической проводимостью. Посредством фотолитографии формируют образцы размерами 20 3 10 мкм.

Пленочные токоподводяшие проводники 3 получают высокоскоростным .катодным распыпением алюминиевой мишени в атмосфере чистого аргона и окончательно формируют посредством фотолитографии..

Использование в качестве расплавляемого материала оксида индия с 15 различным содержанием. кислорода дает возможность менять проводимость расплавляемого материала в пределах

1Q — 10 Ом.см" и тем самым определять ток срабатывани, предохранителя. 20

В таблице приведены значения токов срабатывания для образцов размерами .20 > 10 х 0,1 мкм с различной проводимостью на подложках из целлулоида и материала Ф4МБ, По сравнению с известным предлага40 емый пленочный предохранитель обладает следующим положительным технико-экономическим эффектом: увеличивается быстродействие предохранителя, что повышает эффективность защиты приборов интегральной электроники от электрических перегрузок по току, достигается возможность выбора тока срабатывания в широком диапазоне его измерений, что расширяет возможность применения пленочного предохранителя, уменьшается стоимость предохранителя за счет устранения из устройства драгоценных металлов, упрощается конструкция н технология изготовления предохранителя,