Раствор для травления кварца
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛ ИСТИЧЕ СКИХ
РЕСПУБЛИК
1694501 А1 (я) С 03 С 15/00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4621004/33 (22) 10,11,88 (46) 30,11.91, Бюл, М 44 (72) Э.Г.Раков, А.Е.Федоров, Д.Г.Купрюнин, М,В.Мелкумянц, Н.M.Áûñòðoâà и Л.П.Лаврищев (53) 666.1.053.63(088.8) (56) Патент Франции N 2320275, кл. С 03 С 15/00, 1977.
Патент Великобритании N 1285778, > кл. С 03 С 15/00, 1972, (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КВАРЦА (57) Изобретение относится к неорганической химии, в частности к составам раствоИзобретение относится к неорганической химии, в частности к составам растворов для травления, и может быть использовано для химической обработки изделий из кварца, используемых в электронной и оптико-механической промышленности.
Целью изобретения является повышение качества поверхности.
Испытания проводят на круглых образцах кварца с диаметром 7 мм с исходной шероховатостью Ra=0,1 мкм. Образцы помещают в раствор определенного состава и травят при определенной температуре. Значение шероховатости поверхности измеряют на профилографе-профилометре "Tallsurf — 6".
Конкретные составы растворов и их свойства приведены в таблице.
Раствор для травления к ва рца готовят следующим образом.
Пример. К 58 мл 50%-ной фтористоводородной кислоты приливают 10 мл изогептанола-1, добавляют 14,8 г фторида аммония
NH4F и доводят объем дистиллированной воров для травления, и может быть использовано для химической обработки изделий из кварца, используемых в электронной и механической промышленности. Целью изобретения является повышение качества поверхности. Для этого раствор содержит фторсодержащий компонент с концентрацией 2,0 — 21,0 моль/л и органический спирт с одной функциональной группой 0Н при длине углеводородного радикала С2 — С10 с концентрацией 0,3 — 13,7 моль/л. При использовании растворов укаэанной концентрации качество поверхности улучшается. 1 табл. дой до 100 мл, Полученный раствор с концентрацией ПАВ 0,9 моль/л при тщатель- С ном перемешивании нагревют до 75 С и помещают в него круглые образцы кварца с диаметром, pBBHblM 7 мм, с исходным значением шероховатости поверхности R>, равным 0.1 мкм, и травят при этой температуре в течение 0
30 мин. После этого образцы вынимают из раствора, тщательно отмывают горячей водой, .сушат, измеряют значение R на профилографе-профилометре, которое при этом составило
0,06 мкм, Формула изобретения
Раствор для травления кварца, включающий фторсодержащий компонент и органический спирт, от л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения качества, используют органический спирт с одной функциональной группой ОН при длине углеводородного радикала.
С2 — C10, с концентрацией 0,3-13,7 моль/л и фторсодержащий компонент с концентрацией 2,0 — 21,0 моль/л.
1694501
Результаты травления кварца
С оста е ра ст вора
Конце нт ра ция, моль/л
Значение Ra, мкм мкм до травления после трав" пения
5,8
1l,7
17,6
4,2
HF - Н»О - этанол
101 — Н»О - этанол
HF — H»O — этанол
HF — iIO:" "этанол
5,1
5,1
5.1
13,7
155 75 15 !
5,5 75 30
15,5 75 45
3 6 - 75 150
0,1
О 1
0,1
0,1
0,07
0,06
0,06
0,06
HF — NHpF — ЕЕ О: - метанол
40 90
6,03
0,1
0,17
3о
3о
0,06
0,05
2,3 15>5
1,9 !9,2
10,0
3,5
011
0,1
5,4
0,04
3,1 HF-90
Н!14НР» 7,6
0,1
llF — NHqfE -Н- Π— гекХ санол
6,7
0,08
011
4;6
0,06
HF -NH4F-НЕО- октанол
HF — NH4F -ͻΠ— деканол
HF - N H4F - H O - фе нол
0,1
l5
7,2
0,1
0,05
0,06
3,1
0,1
13,8.
0,06
75 90
50 30
HF — ͻΠ— пентанол .
Нг -НН4нг- ͻΠ— neH» танол
0,1
4 5 flF 6 О
НН41ЕР? IO,O
4,4 15,5
2,7 5 0
16,1
0,1
0,05
11,2
15,О
0,1
0,1 ч.
0,l
0,15
О, f5
HF - !1»О — глицерин
NH HF -NBA- Н Е вЂ”, глицерин 2 7 HF 510 Н11,1Р 1,6 0,14 50 76 10,0 HF НН4Р H?O гли церин 27 НР NHyF 75 52 l0>0 0,1 0,17 7,0 1,6 Составитель Т,Никульникова Техред M,Ìîðråíòàë Корректор M.Максим ишинец Редактор А.Маковская Заказ 4123 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина. 101 flF — ͻΠ— метанол NH4F — Н?О - пропанол HF - Н?Π— бутанол HF - H O — изобутанол НЩШ >- HgO — пентанол llF — N fI4ItT — ЕŠΠ— и зоЕ пентанол 1 Нà — ͻΠ— изогепта-. нол 2 Hl — Н»0 — гептанол HF — ?!НАНЕ!- Н О вЂ” ren" танол 6,9 HF — 10 NH4F 10 0 10,0 3,9 20,0 7,8 !О,О 5,3 10,0 0,9 10,0 0,9 HF- 17,0 NH4HF< 4,0 5 5 HF 1>0 NH4 HFg 4,0 2,5 .НР 3 ° 0 НЕЕ4Р 2, О I >2 !ЕГ 2,0 NH4F 8,О 86 IIF 10 NHqF Е,O 1,8 20,8 20,3 10>1 4,4 4,2 10 3 15,4 011 011 0,1 0,1 0,1 0,1 О, 17 0,07 0,05 0,07 0,05 0,06
