Способ изготовления высокоомных пленочных

Авторы патента:


 

l73 828

ОП ИСАНИНА

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Сочиалистическил

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 21.11.1964 (№ 885297126-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 06.Ч111.1965. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 23 IX 1965

Кл. 21с, 540

МПК Н Olc

УДК 621.316.849: 002.2 (088.8) Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР изо

Зая

Г., с

«««;««««. «, СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКООМНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ

СОПРОТИВЛЕНИЙ

Подписная группа № 91

В известном способе изготовления высокоомных пленочных сопротивлений, основанном на возгонке в вакууме высокоомного сплава и диэлектрика, недостатком является пре рывистость процесса получения высокоомного проводящего слоя на подложке.

В предлагаемом способе изготовления высокоомных пленочных сопротивлений возгонке подвергают высокоомную проволоку со стеклянной изоляцией, вплетенную в жгут из гольфрамовых проволок, служащих нагревателем. Это позволяет упростить автоматизацию изготовления со|противлений, так как дает возможность осуществить непрерывный процесс получения высокоомного проводящего слоя на подложке.

На чертеже приведена схема металлизационной установки для непрерывного полу чения высокоомного проводящего слоя для непроволочных сопротивлений.

Жгутик 1 из вольфрамовых проволок с вплетенной между ними жилой из микропроволоки намотан на катушку 2, которая помещена в вакуумной камере металлизационной установки. При помощи роликов 8 жгутик непрерывно илп периодически сматывается с катушки 2. Между ней и роликами 3 установлены электроды 4, на которые подается (не5 прерывно или периодически) электрическое напряжение, достаточное для разогрева жгутика 1. При этом происходит плавление,и испарение микропроволоки (стекло и металл одновременно) на изоляционные основания, 10 перемещающиеся на некотором, расстоянии от накаленного участка жгутика 1. Отработан ный жгутик попадает в сборник 5.

Предмет изобретения

Способ изготовления высокоомных пленочных сопротивлений, основанный на возгонке в вакууме высокоомного сплава и диэлектрика, отличающийся тем, что, с целью упроще20 ния автоматизации процесса изготовления сопротивлений, возгонке подвергают высокоомную проволоку со стеклянной изоляцией, вплетенную в жгут из вольфрамовых проволок, служащих нагревателем.

i73828

Составитель Г. Фридолин

Редактор Н. Джарагетти Техред А. А. Камышникова Корректор Г. П. Зимина

Заказ 2430/3 Тираж 1525 Формат бум. 60><90 j;. Объем 0,07 изд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Способ изготовления высокоомных пленочных Способ изготовления высокоомных пленочных 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для контроля осаждения резистивных пленок при изготовлении плат микросхем, микросборок и пленочных резисторов

 // 174697

 // 180679

 // 262226
Наверх