Устройство для жидкостной обработки изделий

 

Изобретение позволяет повысить качество очистки и уменьшить расход рабочего агента. При подаче несущего газа через дополнительный штуцер, расположенный в нижнем отсеке емкости, клапан, установленный свободно на штуцере, перекрывает отверстие в горизонтальной перегородке емкости и жидкость, нагретая нагревателем , расположенным в нижней части этого отсека, под действием сжатого газа выдавливается вместе в газом в рабочую камеру и, проходя между изделиями попадает в верхний отсек емкости. Экран, установленный в нижнем отсеке между дополнительным штуцером и штуцером подвода рабочего агента в рабочую камеру, обеспечивает перетекание рабочего агента в нижней части нижнего отсека. При прекращении подачи несущего газа в дополнительный штуцер клапан отходит от отверстия в горизонтальной перегородке и жидкость из верхнего отсека переливается в нижний. При подаче сжатого газа в дополнительный штуцер цикл повторяется. Слив рабочей жидкости обеспечивается из верхнего отсека емкости через сливной патрубок при подаче сжатого газа в дополнительный штуцер (при перекрытом отверстии в горизонтальной перегородке ). 2 ил. (Л с

союз советских

СОЦ ЛЛЛИСТИЧССЕИХ

РЬСГ1УЬЛИК (51)5 В 08 В 3/04

ГОСУг1АРСТВЕ1ФФз1Л КО1 ИТЕТ

ПО ИЗОВРЕТЕНИгРЛ 1Л ОТКРЫТ,18M

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ К;3ОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

О фь ,СЮ Ы вюЪ (21) 4389791/12 (22) 09.03.88 (46) 15.01.92. Б1ол. ¹ 2 (72) 10.К.Альтудов. С.A.Àøèíîâ, Д.В.Бобылев, Л.И.Волчкевлч, А.А.Кушхов, А,К.Шухостанов и Е.И.Шапошникова (53) 628.314.2(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1396345, кл. В 03 В 3/04, 1986. (54) УСТР01ЙСТВО ДЛЯ ЖИДКОСТНОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение позволяет повысить качество очлстки и уменьшить расход рабочего агента, При подаче несущего газа через дополнительный штуцер, расположенный в нижнем отсеке емкости, клапан, установленный свободно на штуцере, перекрывает отверстие в горизонтальной перегородке емкости и жидкость, нагретая нагревателем, расположенным в нижней части этого

Изобретение относится к жидкостной обработке плоских изделий, в частности к г оборудованию для гидравлической очистки полупроводниковых подложек, и может быть использовано, например, на технологических операциях изготовления микросхем.

Целью настоящего изобретения являетcR повышение ка еествэ очистки и сни><ение расхода рабочей з<идкости.

Ка фиг. 1 изображено устройство. общий в1,д, продольн,1и разрез; на фиг. 2 — то же. с кла:.1аном в р 160 1; м положении.

Устройство д,-.я жидкостной обработки издсл11й со, ержи1 герметичную рабочую камеру, вь.г1олненну1о разьемной из двух час„„. Ц„„1704862 А1 отсека, под действием сжатого газа выдавливается вместе в газом в рабочую камеру и, проходя между изделиями попадает в верхний отсек емкости. Экран, установленный в нижнем отсеке между дополнительным штуцером и штуцером подвода рабочего агента в рабочую камеру, обеспечивает перетекание рабочего агента в нижней части нижнего отсека. При прекращении подачи несущего газа в дополнительный штуцер клапан отходит от отверстия в горизонтальной перегородке и х<идкость из верхнего отсека переливается в нижний, При подаче сжатого газа в дополнительный штуцер цикл повторяется. Слив рабочей жидкости обеспечивается из верхнего отсека емкости через сливной патрубок при подаче сжатого газа в дополнительный штуцер (при перекрытом отверстии в горизонтальной перегородке). 2 ил. тей 1 и 2 с уплотнением 3. На внутренней боковой поверхности камеры в плоскостях, перпендикулярных ее оси, выполнены замкнутые проточки 4, служащие для закрепления в кажду1о из них изделия по периферии последнего.

В плоскости каждой проточки в стенке камеры выполнены глухие отверстия 5 для перетекания жидкости через камеру. В камере имеются также подводящий и отводящий штуцеры 6 и 7, через которые обеспечивается прокачка рабочего агента, Уст ройство снабжено емкостью 8 для рабочсй жидкости, р.-1зделенной горизонтальной перегородкой 9 на два отсека: верхний 10 и нижний 11. В перегородке 9 выполнено

1704862

55 сквозное отверстие 12, снабженное Фаской

13, Для нагрева рабочего агента перед подачсй его в камеру 1 служит нагреватель 14 раэглещенный и донной части нижнего отсека 11, Е ни кнем отсеке 11 соосно с отверстием 12 раэме цен дополнительный штуцер 15 для псда;и несущего газа-азота, на свободном конце котооого свободно установлен с возможностью вертикальных перемещений клапан 16, выполненный в виде полого стакана, верхняя внешняя поверхность которого выполнена конической формы с углом конусности, соответствующим углу наклона фаски 13 отверстия 12.

Нижний отсек 11 сообщается с рабочей камерой 1 через подводящий штуцер 6, а верхний — через отводящий штуцер 7.

B нижнем отсеке 11 в пространстве между дополнительны л штуцером 15 и боковой стенкой отсека с подводящим штуцером 6 установлен вертикальный экран 17, закрепленный на горизонтальйой перегородке 9. Ширина экрана 17 соответствует ширине (профилю) отсека 11 в месте его установки, а между его свободным концом и дном нижнего отсека имеется зазор А, Экран 17 предотвращает попадание несущего газа в рабочую камеру 1 в первый момент после его подачи через дополнительный штуцер 15 в нижний отсек 11. 3аполнение верхнего отсека 10, а также и нижнего 11 рабочим агентом перед началом процесса очистки и его слив после окончания обработки осуществляется через патрубки 18 и 19.

Устройство для жидкостной обработки изделий рабо гает следующим образом.

Изделия погружают в рабочую камеру 1 и через патрубок 14 производят заполнение нижнего отсека 11 рабочим агентом. Затем включают нагреватель 14, доводят температуру рабочего агента до требуемой величины и подают через дополнительный штуцер

8 несущий газ (азот). Под давлением газа клапан 16 перемещается вверх и закрывает отверстие 12 в перегородке 9. Вследствие свободной посадки клапана 16 на штуцер 15 происходит выход несущего газа в отсек. 11, который вытесняет рабочий агент в зону обработки через подводящий штуцер 6. Рабочий агент последовательно перемещается из полости в полость между изделиями, прои зэодя двухстороннюю обработку их поверхностей. После прохождения всех полостей рабочий агент через отводящий штуцер 7 поступает в верхчий отсек 10 и накапливается в нем. Г1ри этом несущий газ из отсека 10 уда;:-.ется системой вентилчI

25 ции, расположенной в верхнсй части верхнего отсека (не показано).

По истечению заданного интервала времени подачу несущего газа прекращают, клапан 16 возвращается в исходное положение. одновременно открывая отверстие 12, и рабочий агент перетекает в нижний отсек

11. Далее цикл повторяется.

После проведения заданного количества циклов обработки, не отключая подачу несущего газа, производят слив рабочего агента из верхнего отсека 10 через патрубок

19 и производят сушку обработанных иэделий путем обдува несущим газом (азотом), нагретым до заданной температуры нагревательным элементом 14. По истечению заданного интервала времени отключают нагревательный элемент 14, прекращают подачу несущего газа и выгружают обработанные изделия из рабочей камеры 1.

Изобретение позволяет уменьшить расход рабочего агента за счет многократной обработки изделий единичной порцией рабочего агента, повысить качество обработки за счет обеспечения гидродинамического воздействия, способствующего интенсификации процесса.

Формула изобретения

Устройство для жидкостной обработки изделий, содержащее герметичную камеру для размещения внутри нее изделий, выполненную с возможностью протекания через нее рабочего а ента через подсоединенные к ней штуцеры. от л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества очистки и снижения расхода рабочей жидкости, оно снабжено емкостью, клапаном, нагревателем, экраном, дополнительным штуцером, входным и сливным патрубками, при этом емкость выполнена в виде двух отсеков, разделенных между собой горизонтальной перегородкой с отверстием, дополнительный штуцер установлен внутри нижнего отсека сооснос отверстием в горизонтальной перегородке, а клапан выполнен в виде полого стакана и установлен на дополнительном штуцере свободно с воз ложностью вертикального перемещения вдоль оси штуцера и периодического перекрытия отверстия в горизонтальной перегородке, нагреватель установлен в нижней части нижнего отсека, входной и сливной патрубки установлены соответственно в верхней и нижней частях верхнего отсека, причем верхние части обоих отсеков емкости сообщены с герметичной камерой посредством соответствующих штуцеров камеры, а экран установлен жестК0 на горизонтальной перегородке с зазором относительно днища нижнего отсека

1704862

Iod <

nv8

С оста вител ь А. 10да хин

Редактор А.Калениченко Техред М.Моргентэл Корректор А.Осауленко

Заказ 147 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГККТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 емкости между дополнительным штуцером и внутренней. боковой поверхностью нижнего отсека напротив штуцера подвода рабочего агента в герметичную камеру. фь

rycyuu ф р Я 2g3(G3O )