Кассета-накопитель для полупроводниковых пластин

 

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, и Moxej быть использовано в автоматизированных технологических линиях для межмодульной транспортировки полупроводниковых пластин. Цель изобретения - расширение технологических возможностей -достигается тем. что основание и крышка герметично соединены между собой с образованием замк'нутой полости, в которой расположен вкладыш 5, крышка 2 снабжена расположенным эксцентрично ее оси симметрии загрузочным шлюзом 4, вкладыш 5 снабжен валом, соединенным с приводом его вращения и установленным в осевом отверстии, выполненном в основании, рричем гнезда 8 для размещения полупроводниковых пластин и нагрузочный шлюз расположены по дуге концентричной геометрической оси вращения вкладыша с образованием сектора для перекрытия нагрузочного шлюза. Устройство также содержит основание 1, полости 3, фторопласт 6, вильсоновское уплотнение 7, резиновое кольцо 9. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.^Ою ь.соо>&Щиг.1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з Н 01 1 21/68

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ. СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ кольцо 9. 1 з.п.ф-лы, 2 ил. (21) 4706103/2,1

{22) 15.06.89 (46) 30.01.92. Бюл. %4 (72) М;С.Лурье и Т.В.Золотарева (53) 621.382(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

ЬЬ 783888, кл. Н 01 L 21/70, 1978, (54)- КАССЕТА-НАКОПИТЕЛЬ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, и может быть использовано в автоматизированных технологических линиях для межмодульной транспортировки полупроводниковых пластин. Цель изобретения — расширение технологических воз., Ы„;, 1709430 А1 можностей -достигается тем, что основание и крышка герметично соединены между собой с образованием замкнутой полости, в которой расположен вкладыш 5, крышка 2 снабжена расположенным эксцентрично ее оси симметрии загрузочным шлюзом 4, вкладыш 5 снабжен валом, соединенным с приводом его вращения и установленным в осевом отверстии, выполненном в основании, причем гнезда 8 для размещения полупроводниковых пластин и нагрузочный шлюз расположены по дуге концентричной геометрической оси вращения вкладыша с образованием сектора для перекрытия нагрузочного шлюза. Устройство также содержит основание 1, полости 3, фторопласт 6, вильсоновское уплотнение 7, резиновое

1709430

Изобретение относится к электронной ма кассеты во внутренний обьем технологитехнике, в частности к производству полу- ческого модуля. Полупроводниковые плапроводниковых приборов и интегральных стины загружаются в гнезда или микросхем, и может быть использовано в разгружаются из гнезд соответствующим автоматизированных технологических ли- 5 устройством модулей (например, эжекторниях для межмодульной транспортировки ным или грейферным захватом), По окончаполупроводниковых пластин, нии загрузки или выгрузки

Цель изобретения — расширение техно- кассеты-накопителя дальнейшее вращение логических воэможностей, вкладыша 5 герметизирует объем кассеты, На фиг.1 — общий вид устройства; на 10 кассета отсоединяется от модуля и перенофиг.2 — то же. вид сверху, сится к следующему модулю, где процесс

Кассета-накопитель содержит основа- перегрузки пластин повторяется. ние 1 и крышку 2, герметично-соединенные Таким образом процессы загрузки-вымежду собой с образованием полости 3, за- грузки и переноса полупроводниковых плагрузочный шлюз 4, вкладыш 5, Крышка 2 15 стин от модуля производятся при футерована снизу фторопластом 6, Загру- вакуумно-плотной защите пластин от окрузочный шлюз 4 представляет собой ци- жающей среды, что полностью исключает линдр с фланцем для плотной стыковки с попадание на них пыли и влаги и делает технологическими модулями. Вкладыш 5 в возможным(при соответствующей герметивиде поворотного диска размещен в поло- 20 эации технологических модулей) реализасти3и прижат(подпружинен) кфторопласту цию технологического процесса в

6 футеровки и крышке 2. Ось вкладыша гер- помещениях обычного типа. Объединение метиэирована в осевом отверстии основа- функций разгерметизации кассеты в модуль и ния с помощью вильсоновского уплотнения подачи пластин на позицию загрузки упро7. Верхняя поверхность вкладыша 5 имеет 25 щает задачу автоматизации процесса, сводя заглубленные круглые гнезда 8для горизон- его к повороту вкладыша на заданный угол, тального размещения полупроводниковых что резко увеличивает технологичность и напластин, Гнезда 8 расположены по дуге ок- дежность конструкции. ружности с центром на оси вкладыша и ра- Формула изобретения диусом, равным расстоянию от центра оси 30 1. Кассета-накопитель для полупроводвкладыша до центра отверстия загрузочно- никовых пластин, содержащая основание, го шлюза 4. Длина дуги ограничена секто- крышку и вкладыш с гнездами на его поверром, перекрывающим отверстие хности для размещения полупроводникозагруэочного шлюза. Футеровка крышки 2 вых пластин, отличающаяся тем, что, имеет со стороны крышки кольцевую про- 35 с целью расширения технологических возточку вокруг загрузочного шлюза с заложен- можностей, основание и крышка герметичным в нее подпружиненным резиновым но соединены между собой с образованием кольцом 9, чем достигается скользящее гер- замкнутой полости, в которой расположен метичное уплотнение загрузочного шлюза к вкладыш, крышка снабжена расположенвкладышу. 40 .ным эксцентрично ее оси симметрии загруКассета-накопитель работает следую- зочным шлюзом, вкладыш снабжен валом, щим образом. соединенным с приводом его вращения и

В исходном состоянии отверстие эагру- установленным в осевом отверстии. выползочного шлюза 4 перекрыто вкладышем 5 и ненном в основании, причем гнезда для развнутренний объем кассеты вакуумно-плот- 45 мещения полупроводниковых пластин и . но. герметизирован относительно внешней загрузочный шлюз расположены по дуге консреды. При работе с технологическими мо- центрйчной геометрической оси вращения дулями кассета устанавливается под вход- вкладыша с образованием сектора для пеным (выходным) отверстием рекрытия загрузочного шлюза. технологического модуля и уплотняется к 50 2, Кассета-накопитель по п.1. о т л и ч анему фланцем загрузочного шлюза 4. Вра- ю щ а я с я тем, что крышка снабжена расщением вкладыша 5 производится последо- положенным на ее внутренней поверхности вательный вывод гнезд 8 под отверстие слоем фторопласта и резиновой прокладзагрузочного шлюза 4 с одновременной кой, расположенной вокруг загрузочного разгерметизацией части внутреннего объе- шлюза со стороны крышки.

Составитель З.Яшина

Редактор Т.Лошкарева Техред M.Mîðãåíòàë Корректор M.Kó÷åðÿâàÿ

Заказ 432 Гираж Подписное

ВНФИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101