Двухзахватная головка манипулятора

 

Изобретение относится к общему машиностроению , в частности к двухзахватным головкам манипулятора для съема и укладки полупроводниковых кристаллов в производстве полупроводниковых приборов Целью изобретения является повышение надежности переноса хрупких изделий После чстанов ки схватов 2 и 3. выполненных в виде шар нирно сочлененных из упругих пластин па раллелограммов и опорных элементов в пиде эластичных четырехгранников, над координатным столом с кристаллами и кассетной под кристаллы механизм подкола подает один из кристаллов в схват 3 до опорного элемента Затем срабатывает привод, кото рый с помощью штока 8, воздействуя на вер шины параллелограммов схватов 2 и 3, ежи мает схват 3 и разжимает схват 2, причем первый захватывает своими губками подведенный кристалл, а второй клашвает другой кристалл в кассету 4 ил

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„я() „„163449

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ.Д

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (2I) 4650677/08 (22) 28.11 88 (46) 15.03.91. Ьюл.,¹ 10 (75) П В Колпаков (53) 62-229.72 (088.8) (56) Авторское свидетельство С(..(.Р

¹ 6! 4940, кл. В 25,1 15, 00. 1976. (54) ДВУХЗАХВАТНАЯ ГОЛОВКА MAН И 1!У Л Я ТОРА (57) Изобретение относится к общему машиностроснию, в частности к двухзахватным головкам манипулятора для съема и укладки полупроводниковых кристаллов в производс гве полупроводниковых приборов. Целью изобретения является повышение надежнос(51)5 В 25 J 15/00, 9/08, Н 01 (2!/68 ти переноса хрупких изделий После установки схватов 2 и 3, выполненных в виде шарнирно сочлененных из упругих пластин параллелограммов и опорных элементов в видс эластичных четырехгранников, над координатным столом с кристаллами и кассетной под кристаллы механизм подкола подает один из кристаллов в схват 3 до опорного элемента. Затем срабатывает привод, который с помощью штока 8, воздействуя на вер шины параллелограммов схватов 2 и 3, сжимает схват 3 и разжимает схват 2, причем первый захватывает своими губками подведенный кристалл, а второй укладывает другой кристалл в кассету. 4 ил.

1634491

Формула изобретения

РиФА

17

Изобретение относится к общему машиностроению, в частности к двухзахватным головкам манипулятора для съема и укладки полупроводниковых кристаллов в производстве полупроводниковых приборов, Це.чь изобретения — повышение надежности переноса хрупких изделий путем улучшения динамических свойств захватов.

На фиг. 1 изображена двухзахватная головка манипулятора; на фиг. 2 — вид А на фиг. 1; на фиг. 3 — вид Б на фиг. 1; на фиг. 4 — манипулятор, общий вид.

Двухзахватная головка выполнена в виде корпуса 1 с размещенными на его концах схватами 2, 3, выполненными в виде шарнирно сочлененных из упругих пластин паралле.чограммов 4 и опорных элементов в виде эластичных четырехгранников 5, которые удерживаются в параллелограммах 4 за счет предварительного сжатия перед их установкой и сверху базируются по плоскости корпуса 1.

Вершины 6 параллелограммов 4 шарнирно установлены на корпусе 1, а вершины 7 шарнирно связаны со штоком 8, имеющим привод от соленоида 9 и возвратной пружины 10. На других вершинах параллелограммов закреплены губки 11. Корпус 1 установлен на поворотной оси 12 манипулятора, содержащего основание 13, координатный стол 14, на котором установлен спутник 15, на клейкой поверхности диафрагмы 16 которого закреплены кристаллы 17, второй координатный стол 18 с кассетой для укладки выбранных кристаллов, механизм

19 подкола с опорными пальцами 20 и центральным пальцем 21.

Двухзахватная головка манипулятора работает следующим образом.

Схваты 2 и 3 для отработки заданной программы выводятся с помощью поворотной оси 12 манипулятора на требуемые позиции. Механизм 19 подкола освобождает один из кристаллов 17 от липкого контакта с диафрагмой 16 посредством опорных пальцев 20, выталкивающих захваченный участок диафрагмы 16 снизу до тех пор, пока ее примыкающие участки не выйдут из контакта с кристаллом 17. При этом кристалл 17 не имеет возможности разориентироваться, так как центральный палец 21, выталкивающий его от контакта с опорными пальцами 20 утапливает кристалл в эластичном элементе 5, базируя его в схвате 3.

При срабатывании привода шток 8 вытягивает параллелограмм 4 схвата 3 вдоль его вершин 6 и 7, его губки ll сходятся и схватывают кристалл 17. В то же время параллелограмм 4 схвата 2 укорачивается вдоль вершин 6 и 7, его губки 11 разжимают другой кристалл, который опускается в свободную ячейку кассеты координатного стола 18. При повороте захватной головки на

180 схваты 2 и 3 меняются местами, и после

20 срабатывания пружины 10 происходит захват следующего кристалла.

Двухзахватная головка манипулятора, содержащая установленный на поворотной оси корпус, схваты с губками, привод, с помощью тяги связанный со схватами, и опорные элементы схватов, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности перегд носа хрупких изделий за счет улучшения динамических свойств захватов, каждый схват выполнен в виде шарнирно сочлененного из упругих пластин параллелограмма, одна вершина которого шарнирно связана с корпусом, а противоположная — с тягой, З5 причем губки закреплены на двух других вершинах внутри параллелограмма, при этом опорный элемент схвата выполнен в виде эластичного четырехгранника, закрепленного на пластинах также внутри параллелограмма.!

63449) Составитель С. Новик

Редактор А. Маковская Техред А. Кравчук Корректор T. Малец

Заказ 722 Тираж 474 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Ра>шская наб., д. 4!5

Производственно-издательский комбинат «Патент>, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101