Способ локального нанесения покрытий в вакууме

 

Использование: в вакуумной технологии для локального нанесения покрытия на хрупкие и нежесткие изделия, а также для металлизации сквозных отверстий. Сущность изобретения: для расширения функциональных возможностей способа при нанесении покрытия в области покрываемого участка изделия формируют первый замкнутый объем путем наложения вакуумной камеры открытой ее частью на покрываемый участок, затем с противоположной стороны покрываемого участка формируют второй замкнутый объем путем наложения второй вакуумной камеры на область покрываемого участка, осуществляют одновременно вакуумирование этих замкнутых объемов, наносят ионной бомбардировкой покрытие на одну или обе поверхности изделия из источников испаряемого материала, расположенных в одном или обоих замкнутых объемах , затем одновременно развакуумируют эти объемы и накладные вакуумные камеры удаляют. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5I)5 С 23 С 14/24

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБPЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,>

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4865446/21 (22) 05,07.90 (46) 23.09.92. Бюл. N 35 (71) Радиоприборный завод г. Смела (72) С,Г. Каплунов (56) 1. Блинов И.Г. и др. Оборудование полупроводникового производства, — М.: Машиностроение, 1986, с. 197-213.

2. Заявка Японии ¹ 61 — 257470, кл. С 23 С 14/24, 1986. (54) СПОСОБ ЛОКАЛЬНОГО НАНЕСЕНИЯ

ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ (57) Использование: в вакуумной технологии для локального нанесения покрытия на хрупкие и нежесткие изделия, а также для металлизации сквозных отверстий. Сущность изобретения: для расширения функИзобретение относится к области вакуумной технологии нанесения покрытий и может быть использовано для локального нанесения покрытия на хрупкие, нежесткие изделия, размеры которых превышают размеры камеры, и для металлизации сквозных отверстий.

Целью изобретения является расширение технологических возможностей за счет обеспечения локального нанесения покрытия на изделие со сквозными отверстиями, а также на хрупкие, гибкие изделия.

Поставленная цель достигается тем, что в способе, включающем создание в области покрываемого участка изделия замкнутого объема, путем наложения вакуумной камеры открытой ее частью на покрываемый участок, с противоположной стороны покрываемого участка создают второй такой же замкнутый

„„ Ы„„1763520 А1 циональных возможностей способа при нанесении покрытия в области покрываемого участка изделия формируют первый замкнутый объем путем наложения вакуумной камеры открытой ее частью на покрываемый участок, затем с противоположной стороны покрываемого участка формируют второй замкнутый объем путем наложения второй вакуумной камеры на область покрываемого участка, осуществляют одновременно вакуумирование этих замкнутых объемов, наносят ионной бомбардировкой покрытие на одну или обе поверхности изделия из источников испаряемого материала, расположенных в одном или обоих замкнутых объемах, затем одновременно развакуумируют эти объемы и накладные вакуумные камеры удаляют. 1 ил. объем путем наложения второй камеры открытой ее частью на покрываемый участок, одновременно вакуумируют оба замкнутых объема, осуществляют нанесение покрытия ионной бомбардировкой на одну или обе поверхности изделия из источников испаряемого материала, расположенных в одном или обоих замкнутых объемах, после чего осуществляют развакуумирование замкнутых объемов одновременно, и камеры удаляют.

Формирование замкнутых объемов с помощью накладных камер с обеих сторон покрываемого участка изделия и одновременное вакуумирование этих камер позволяют исключить разрушение или деформацию хрупких или гибких изделий и обеспечивает возможность нанесения покрытий на участок изделия со сквозными

1763520 отверстиями без помещения всего изделия в камеру.

Предложенный способ поясняется блок-схемой, изображенной на чертеже, где изображены накладные вакуумные камеры

1, 2 с открытой стенкой с одной стороны; длинномерное изделие 3 со сквозными отверстиями 4 и покрываемыми участками 5 и

6; эластичные прокладки 7, источники 8, 9 испаряемого материала, система откачки и напуска газа 10.

Пример. Накладные вакуумные камеры 1 и 2 устанавливаются открытой частью на покрываемые участки 5 и 6 изделия 3 со сквозными отверстиями 4. Имеющиеся между изделием и камерами эластичные прокладки 7 повторяющие с одной стороны кривизну поверхности изделия, с другой— кривизну стенок камеры, позволяют создать вокруг покрываемых участков два герметичных замкнутых объема. После установки накладных камер их объемы одновремено вакуумируют с помощью системы откачки и напуска 10, при этом в результате перепада давлений камеры 1, 2 плотно прижимаются к поверхности изделия, По достижении в камерах давления порядка (0,133 — 1,33) . 10 Па напускают рабочий газ, например аргон, до давления

0,6 — 0,8 Па. Покрытие осаждают из источников 8 и 9 испаряемого материала путем распыления материала ионной бомбардировкой.

Для получения покрытия на двух сторонах изделия и для покрытия сквозных отверстий распыление ведут одновременно или последовательно из источников, расположенных в обеих камерах.

Распыление материала покрытия из меди осуществлялось планарным магнетро5 ном постоянного тока при напряжении 450

В, токе разряда до 3 А, скорости осаждения

15 — 20 нм/с. По достижении необходимой толщины напыляемого слоя, которая определяется временем распыления, замкнутые

10 объемы одновременно развакуумируют до атмосферного давления, и накладные камеры удаляют.

Применение способа позволяетлокально наносить односторонние и двусторонние

15 покрытия на хрупкие, нежесткие изделия, металлизировать сквозные отверстия без помещения всего изделия в вакуумную камеру, что значительно сокращает длительность и стоимость обработки в случае

20 использования крупногабаритных или длинномерных изделий.

Формула изобретения

Способ локального нанесения покрытий в вакууме, основанный на наложении

25 вакуумной камеры на участок обрабатываемого изделия и распылении материала ионной бомбардировкой, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, после наложения ваку30 умной камеры с противоположной стороны изделия устанэвливаютдополнительную вакуумную камеру осесимметрично первой, после чего проводят одновременное вакуумирование замкнутых объемов, а после рас35 пыления материала покрытия проводят одновременное развакуумирование камер,, 1763520

Составитель Г.Гафарова

Техред М,Моргентал Корректор Л.Ливренц

Редактор Н.Полионова

Заказ 3431 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 ж

l /