Высоковакуумный клапан шиберного типа

 

Сущность изобретения: внутри корпуса с входным и выходным фланцами расположен запорный узел, связанный штоком с приводом и выполненный в виде опорного диска и запорной пластины, взаимодействующих с уплотняющим механизмом и фиксатором . Диск и пластина связаны друг с другом упругими направляющими и снабжены парой симметрично установленных между ними двуплечих рычагов с уплотнител ьными механизмами, их оси размещены на диске или пластине перпендикулярно им. Рычаги одним плечом связаны с штоком, на другом размещены роликовые захваты, взаимодействующие с пазами фиксаторов. Радиус кривизны пазов равен радиусу поворота осей роликовых захватов. Уплотнительный механизм выполнен в виде тел качения, расположенных в гнездах рычагов с возможностью контакта с ответными фигурными гнездами в #иске и пластине запорного органа. 1 з.п, ф-лы, 2 ил. ч Ё

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧ ЕС К ИХ

РЕСПУБЛИК (я)э F f6 К 3/10

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

СО

О 4 Э

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4850207/29 (22) 11.07.90 (46) 07.04.93. Бюл, М 13 (71) Институт физики полупроводников CO

АН СССР (72) А.А.Овчинников, В.И.Бударных и

Г.С.Горбунов (56) Авторское свидетельство СССР

hh 966373, кл. F 16 К 3/18, 1982, (54) ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ КЛАПАН ШИБЕРНОГО ТИПА (57) Сущность изобретения: внутри корпуса с входным и выходным фланцами расположен запорный узел, связанный штоком с приводом и выполненный в виде опорного диска и запорной пластины, взаимодействуИзобретение относится к запорной арматуре высоковакуумных систем и предназначено для многокамерных установок молекулярно-лучевой эпитаксии, установок переноса, других исследовательских и технологических систем, Цель изобретения — повышение надежности работы и уменьшение габаритов клапана.

На фиг,1 изображен общий вид предлагаемого устройства, а на фиг.2 представлено сечение А — А, изображенное на фиг.1 по уплотняющему механизму.

На фиг.1 и фиг.2 имеются следующие обозначения:

1 — корпус;

2 — входной фланец;

3 — выходной фланец;

„„5U„„1807275 А1 ющих с уплотняющим механизмом и фиксатором. Диск и пластина связаны друг с другом упругими направляющими и снабжены парой симметрично установленных между ними двуплечих рычагов с уплотнительными механизмами, их оси размещены на диске или пластине перпендикулярно им. Рычаги одним плечом связаны с штоком, на другом размещены роликовые захваты, взаимодействующие с пазами фиксаторов. Радиус кривизны пазов равен радиусу поворота осей роликовых захватов. Уплотнительный механизм выполнен в виде тел качения, располо-. женных в гнездах рычагов с возможностью контакта с ответными фигурными гнездами в диске и пластине запорного органа. 1 з.п, ф-лы, 2 ил.

4 — опорный диск;

5 — запорная пластина;

6 — уплотнитель;

7 — упругая направляющая;, 8 — рычаг;, 9- шток привода:

10 — фиксатор:

11 — роликовый захват;

12-шарикуплотнительного механизма;

13. — фигурное гнездо;

14 — ролик;

15 — привод;

16 — герметизирующий сильфон;

17- рычаг;

18 †.пазы в рычагах.

УСтрОйСтвО СОдЕржит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 фланцами, внутри которого расположен запорный узел, состоящий

1807275 из опорного диска 4 и запорной пластины 5 с уплотнителем 6 и упругой направляющий

7, рычагов 8, одним концом сопряженных со штоком привода 9, а другим взаимодействующих с пазами фиксаторов 10 через посредство роликовых захватов 11. На рычагах имеюгся сквозные гнезда, в которых расположены шарики 12 уплотнительного механизма, взаимодействующие с фигурными гнездами 13 в опорном диске 4 и в запорной пластине 5. Опорный диск снабжен роликами 14, на которых он перемещается внутри корпуса клапана. Привод 15 запорного узла состоит из винтового механизма, герметизирующего сильфона 16, рычага 17, штока 9.

Устройство работает следующим образом.

Под действием винтового механизма привода 15 шток привода 9 воздействует через рычаг 17 на рычаги 8, что приводит к перемещению запорного органа на роликах

14, в направлении перекрытия проходного сечения клапана. Опорный диск 4 и запорная пластина 5 при этом притянуты друг к другу упругой направляющей 7, шарики 12 утоплены в гнездах диска и пластины, Запорный орган перемещается до упора в торцовую стенку корпуса, после чего усилие привода, воздействующее на рычаги 8, приводит к их повороту в плоскости опорного диска. При этом роликовые захваты

11 заходят в пазы фиксаторов 10, шарики уплотняющего механизма выходят на периферию гнезд, разжимая при этом опорный диск и запорную пластину, первый из них роликами опирается на корпус клапана, второй на уплотнительную поверхность корпуса.

Открытие клапана происходит в обратном порядке, При этом эапорный механизм не может быть сдвинут в направлении привода, пока захваты рычагов не выйдут из зацепления из пазов фиксатора, соответственно шарики уплотняющего механизма утопятся в гнездах пластины и диска, т.е. диск с эластомерным уплотнителем гарантированно отойдет от уплотняемой поверх"0 ности, т.е, он не может быть поврежден за счет трения о нее.

Формула изобретения

1. Высоковакуумный клапан шиберного типа, содержащий корпус с входным и вы"5 ходным фланцами, внутри которого расположен запорный узел, связанный со штоком с приводом и выполненный в виде опорного диска и запорной пластины, взаимодействующих с уплотняющим механизмом и фикса20 тором, отличающийся тем, что диск и пластина связаны друг с другом упругими направляющими и снабжены парой симметрично установленных между ними двуплечих рычагов с уплотнительными механизмами, причем их оси размещены на диске или пластине перпендикулярно им, при этом рычаги одним плечом связаны со штоком, а на другом плече размещены роликовые захваты, взаимодействующие с пазаЗ0 ми фиксаторов, причем радиус кривизны пазов равен радиусу поворота осей роликовых захватов.

2. Клапан поп.1,отл ича ющи йся тем, что уплотнительный механизм выполЗ5 нен в виде тел качения, расположенных в гнездах рычагов с возможностью контакта с ответными фигурными гнездами в диске и пластине запорного органа.

1.807275

1807275

Составитель В. Бударных

Техред М. Моргентал Корректор H. Милюкова

Редактор

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул,Гагарина, 101

Заказ 1370 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5