Испаритель для вакуумных установок
Область использования: к области нанесения покрытий в вакууме. Цель изобретения: расширение технологических возможностей устройства за счет регулирования потоком испаряемого вещества и возможности изменения его направления. Сущность изобретения: для достижения этой цели испаритель содержит металлический контейнер, установленный через изолятор на основании, нагреватель , отражательный экран, смонтированный на теплопроводе, расположенном внутри контейнера , перфорированную крышку, соединенную сконтейнером посредством сильфона, перфорированную диафрагму, установленную параллельно крышке в.опоре с возможностью перемещения и шарнирно связанную с основанием с помощью шести приводов. 1 ил,
союз советских
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (st)5 С 23 С 14/26
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4921865/21 (22) 25.03,91 (46) 23.04,93. Бюл, ¹ 15 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) H.В.Василенко, Е.Н.Ивашов, С.М.Оринчев, Ю.С.Родионов и С,В.Степанчиков (56) Авторское свидетельство СССР
¹ 287493, кл. С 23 С 14/26, 1970.
Авторское свидетельство СССР
N 466300, кл. С 23 С 14/26, 1975. (54) ИСПАРИТЕЛЪ ДЛЯ ВАКУУМНЪ|Х УСТАНОВОК (57) Область использования; к области нанесения покрытий в вакууме. Цель изобретения;
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения тонких пленок с контролируемым уровнем привносимых загрязнений.
Цель изобретения — расширение технологических возможностей устройства за счет регулирования потока испаряемого вещества и возможности изменения его направления, Поставленная цель достигается тем. что в испарителе для вакуумных установок, согласно изобретению, перфорированная крышка связана с контейнером посредством сильфона, перфорированная диафрагма установлена на перфорированной крышке в опоре, с воэможностью вращения, и шарнирно связана с основанием посредством шести приводов."хаким образом, что образуется геометрически неизменяемая структура |-координат.
Я2 1810393 А1 расширение технологических возможностей устройства за счет регулирования потоком испаряемого вещества и возможности изменения его направления. Сущность изобретения; для достижения этой цели испаритель содержит металлический контейнер, установленный через изолятор на основании, нагреватель, отражательный экран, смонтированный на теплопроводе, расположенном внутри контейнера, перфорированную крышку, соединенную с контейнером посредством сил ьфона, перфорированную диафрагму, установленную параллельно крышке в опоре с воэможностью перемещения и шарнирно связанную с основанием с помощью шести приводов. 1 ил, Введение в устройство сильфона, опоры, на которой установлена перфорированная диафрагма, шести приводов, шарнирно связанных с основанием и перфорированной диафрагмой обеспечивает перемещение перфорированной диафрагмы по шести степеням подвижности — три поступательных, три вращательных, а перфорированной крышке — по пяти степеням подвижности в автоматическом режиме, так как одна вращательная степень подвижности сильфона отсутствует.
Сущность изобретения поясняется фиг.
1, где показан испаритель для вакуумных установок в разрезе.
Испаритель для вакуумных установок (фиг, 1) содержит металлический контейнер
1, установленный на основании 2 через теплоизолятор 3, перфорированную крышку 4, нагреватель 5, отражательный экран 6, смонтированный на теплопроводе 7, распо1810393 ложенном внутри контейнера 1, перфорированную диафрагму 8, установленную параллельно перфорированной крышке 4 на опоре 9 с возможностью вращения, причем число отверстий, их диаметр на крышке 4 и диафрагме совпадают. Перфорированная крышка 4 связана с контейнером 1 посредством сильфона 10, а перфорированная диафрагма 8 связана с основанием 2 посредством шести приводов 11, таким образом, что образуется геометрически измеряемая структура f-координат. Приводы 11 связаны с основанием 2 и,перфорированной диафрагмой 8 посредством шарнира 12, Испаритель для вакуумных установок "5 (фиг. 1) работает следующим образом.
При одновременном или последовательном перемещении шести приводов 11, происходит деформация сильфона fO и перемещение перфорированной диафраг- 20 мы 8 в пространстве по всем шести степеням подвижности. При этом, эа счет того, что сильфон 10 не имеет возможности вращения вдоль левой продольной оси, перфорированная крышка 4 имеет только пять 25 степеней подвижности, В результате чего . происходит вращение диафрагмы 8 относительно крышки 4 в опоре 9, при любом положении диафграмы 8. Поток испаряемого вещества имеет, таким образом, целевую 30 направленность, а за счет частичного или полного совмещения перфораций на крышке 4 и диафрагме i 8 обеспечивается управление потоком испаряемого вещества.
Изменение направления потока испа- 35 ряемого вещества необходимо с целью повышения технологичности процесса напыления, так как одновременно в вакуумной камере могут напыляться не одна; а несколько подло>хек, расположенных, например. на планетарном своде, Применение предлагаемого испарителя для вакуумных установок позволяет изменять направление потока испаряемого вещества при автоматическом управлении потоком испаряемого вещества, регулировать его величину, что значительно расширяет технологические воэможности установок для нанесения покрытия.
Формула изобретения
Испаритель для вакуумных установок. содержащий металлический контейнер с перфори рован ной крышкой. нагреватель, отражательный экран, установленный на теплопроводе, расположенном внутри контейнера, перфорированную диафрагму, ус-. тановленную параллельно крышке и выполненную с возможностью перемеще- . ния, отл ич а ю щи йс я тем, что,c целью расШирения технологических возможностей испарйтеля за счет регулирования потока испаряемого вещества и возможности изменения его направления, контейнер установлен через изолятор на основании, перфорированная крышка соединена с контейнером сильфоном, перфорированная диафрагма установлена на перфорированной крышке в опоре с возможностью вращения и шарнирно связана с основанием посредством шести приводов, образующих, геометрически неизменяемую структуру 1 координат, 1810393
Составитель Н, Василенко
Техред М.Моргентал Корректор M. Демчик
Редактор
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Заказ 1421 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
