Молекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить степень сжатия насоса. Рабочие каналы статора (С) 1 выполнены в виде участков 3 кольцевых пазов , последовательно соединенных между собой при помощи канавок 4, выполненных на внутренней поверхности С 1 параллельно его оси. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (53)5 F 04 О 19/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4763258/29 (22) 3.0.11.89 (46) 15.11.91. Бюл. М 42 (71) Научно-исследовательский институт энергетического машиностроения МГТУ им.

Н.Э,Баумана (72) К.Е.демихов и T.A.Áàñîâà (53) 621.527.8 (088.8) (56) Патент EP М 0142208, кл. F 04 0 19/04, опублик. 1985, ÄÄ5U „„1691560 Al (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ HAСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить степень сжатия насоса. Рабочие каналы статора (С) 1 выполнены в виде участков 3 кольцевых пазов, последовательно соединенных между собой при помощи канавок 4, выполненных на внутренней поверхности С 1 параллельно его оси. 3 ил.

1691560

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям средств получения вакуума молекулярного типа.

Цель изобретения — повышение степени сжатия насоса. 5

На фиг.1 представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 — разрез А — А на фиг.1; на фиг,3 — развертка внутренней поверхности статора.

Молекулярный вакуумный насос содер- 10 жит статор 1 с рабочими каналами на его внутренней поверхности и установленный по оси статора 1 цилиндрический ротор 2, Рабочие каналы статора 1 выполнены в виде отдельных участков 3 кольцевых пазов, по- 15 следовательно соединенных между собоР при помощи канавок 4, выполненных- на внутренней поверхности статора 1 параллельно его оси.

Насос работает следующим образом. 20

Газ из откачиваемого объема попадает в зазор между статором 1 и ротором 2, а также в канавки 4. При соударении молекул откачиваемого газа с поверхностью быстровращающегося ротора 2 они получают до- 25 полнительный импульс в направлении откачки, т,е. в сторону следующей канавки, сообщающей между собой два отдельных участка 3 кольцевых пазов одного и того же рабочего канала. Переходя от одного участка 3 к другому, молекулы перемещаются на сторону нагнетания насоса, Эффективность процесса откачки возрастает, так как вектор скорости поверхности ротора 2 направлен в сторону нагнетания вдоль участка 3 паза.

Образование между участками 3 кольцевых пазов перемычки препятствует обратным перетечкам газа между каналами, что ведет к повышению степени сжатия насоса.

Формула изобретения

Молекулярный вакуумный насос, содержащий стэтор с рабочими каналами на его внутренней поверхности и установленный по оси статора цилиндрический ротор, о тличающийся тем,что,сцельюповышения степени сжатия, рабочие каналы статора выполнены в виде отдельных участков кольцевых пазов, последовательно соединенных между собой при помощи канавок, выполненных на внутренней поверхности статора параллельно его оси.

1691560

Составитель В.Кряковкин

Техред М.Моргентал Корректор М,Демчик

Редактор Н.Горват

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 3915 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5