Молекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. В корпусе (К) 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3 размещены закрепленные на внутренней поверхности К 1 статорные элементы (СЭ) и диски (ДМ) 6 молекулярных уплотнений. СЭ выполнены в виде многозаходных спиральных перегородок 8, образующих спиральные каналы 9. Ротор 4 снабжен роторными дисками (РД) 5, ДМ 6 имеют на поверхностях спиральные пазы (СП) 7, а РД 5, примыкающие к ДМ 6, отверстия 10 в корневой зоне. СП 7 снабжены перемычками 11 со стороны всасывания, предотвращающими обратные перетечки через зазоры. 2 з.п. ф-лы, 3. ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (si)s F 04 D 19/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

11 (21) 4713318/29 (22) 03.07.89 (46) 07.11.91. Бюл, N 41 (72) Д.Ф. Сидяков (53) 621.527.8(088.8) (56) Сидяков Д,Ф. 0 некоторых конструктивных решениях по созданию насосов для получения сверхвысокого вакуума с ротором, вывешенным в магнитном поле. — В сб.

Вопросы кораблестроения. Сер, Технология морского приборостроения. ЦНИИ "Румб", 1974, вып. 2 (129), с. 26. (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. В корпусе (К) 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3 размещены закрепленные на внутренней поверхности К

1 статорные элементы (СЭ) и диски (ДМ) 6 молекулярных уплотнений. СЭ выполнены в виде многоэаходных спиральных перегородок 8, образующих спиральные каналы 9.

Ротор 4 снабжен роторными дисками (РД) 5, ДМ 6 имеют на поверхностях спиральные пазы (СП) 7, а РД 5, примыкающие к ДМ 6, отверстия 10 в корневой зоне. СП 7 снабжены перемычками 11 со стороны всасывания, предотвращающими обратные перетечки через зазоры. 2 з.п, ф-лы, ил.

1689664

Изобретение относигся к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных ва фумных H3c000I3, Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса, На фиг. 1 представлен насос, продол1)ный разрез, на фиг. 2 — роторный диск и диск молекуляоного упготнения, общий вид; на фиг. 3 — роторный диск и статорный элемент, общий вид.

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 патрубками и закрепленными на внутренней поверхности корпуса 1 статорными элементами. По оси ксрпуса 1 установлен ротор 4 с рсторными дисками 5, образующими со статорными элементами проточную часть, разделенную на ступени при помощи молекулярных уплотнений., выполненных в виде закрепленных на внутренней поверхности корпуса 1 дисков 6 с многозаходными спиральными пазами 7 на поверхностях, обращенных к роторным дискам 5, Статорные элементы выполнены в виде спиральных перегородок 8, образующих многозаходные сквозные спиральные каналы 9, роторные диски 5, примыкагощие к дискам 6 молекулярных уплотнений, имеют в корневой зоне отверстия 10, а направления спиральных пазов 7 дисков 6 молекулярных уплотнений и спиральных каналов 9 статорных элементов, обращенных к одному диску 5, совпадают, причем спиральные пазы 7 со стороны всасывания снабжены перемычками 11.

Число заходов спиральных пазов 7 не превышает числа захо,,ов спиральных каналоч

9, а глубину пазов 7 определяют из выражения л2 п2 «h> —, Л1 где h2 — глубина пазов дисков молекулярных уплотнений;

h1 — высота спиральных перегородок статорных элементов; п2 — число заходов пазов дисков молекулярных уплотнений; п1 — число заходов спиральных каналов статорных элементов.

Насос работает следующим образом.

Гаэ из откачиваемого объема попадает в полость корпуса 1 через входной патрубок

2. Его молекулы, взаимодействуя с движущимися поверхностями роторных дисков 5, получают дополнитеггьный импульс в направлении движения дисков 5. Попадая в сквозные спиральные каналы 9 статорных элементов, молекулы газа перемещаются преимущественно в сторону нагнетания насоса, причем переход мог екул из одной в

10 I5

55 другую ступень проточной части осуществляется через отверстия 10. С целью предотвращения обрати ых перетечек откачиваемого газа со стороны нагнетания на стррону всась вания, т,е. из области относительно высоких давлений в область относительно низких давлений, в корпусе 1 имеются молекулярные уплотнения, причем спиральные пазы 7 дисков 6 этих уплотнений, кроме создания газодинамического сопротивления перетечкам, снабжены также перемычками 11, перекрывающими пазы 7 со стороны всасывания, т,е. со стороны с более низким давлением. Перемычки 11 обеспечивают снижение обратных перетечек, чем достигается улучшение откачных характеристик насоса, Соотношение между числом заходов пазов и каналов, а также глубиной пазов и их числом и числом каналом позволяют минимизировать осевую протяженность секций проточной части насоса и тем самым при сохранении габаритов увеличить число рабочих секций, что также ведет к улучшению откачных характеристик насоса.

Формула изобретения

1. Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками и закрепленными на его внутренней поверхности статорными элементами и установленный по оси корпуса ротор с роторными дисками, образующими со статорными элементами проточную часть, разделенную на ступени при помощи молекулярных уплотнений, выполненных в виде закрепленных на внутренней поверхности корпуса дисков с многозаходными спиральными пазами на поверхностях, обращенных к роторным дискам. причем статорные элементы выполнены в виде спиральных пеоегородок, образующих многозаходные сквозные спиральные каналы, роторные диски, примыкающие к дискам молекулярных уплотнений, имеют в корневой зоне отверстия, а направления спираль; ных пазов дисков молекулярных уплотнений и спиральных каналов статорных элементов, обращенных к одному роторному диску, совпадают, о т л и ч а ю щ ий с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, спиральные пазы дисков молекулярных уплотнений со стороны всасывания снабжены перемычками.

2. Насос по п.1, отличающийся тем, что число заходов спиральных пазов дисков молекулярных уплотнений не превышает числа заходов спиральных каналов статорных элементов.

3. Насос по п,1, отличающийся тем, что глубина .пазов дисков молекуляр1689664

Фиг. 2 ных уплотнений определяется из выражения (Ц2 «(1 —, п2 п где hz- глубина пазов дисков молекулярных уплотнений;

) hi-высота. спиральных перегородок статорных элементов; п2 — число заходов пазов дисков молекулярных уплотнений;

5 п1 — число заходов спиральных каналов статорных элементов.