Высоковакуумный затвор

 

Сущность изобретения: механизмы герметизации и перемёщения шиёераустанШ- лены перпендикулярно оси пррходногр отверстия корпуса, кинематически евязаШг с приводным валом и двумя промежуточною ми шестернями, установленными сбосйо с воз м ожн ЬСт ь ю со в мест н or b вращения, Фиксатор соединяет шестерни. Вал привода выполнен с расширенной частью. Одна промежуточная шестерня, связанная с механизмом герметизации и приводом, снабжена гильзой, сбосно закреплённой и выполненной с окном в боковой стенке и резьбой. На резьбу навинчена нажимная втулка, установленная, с возможностью Осевого перемещения. Другая шестерня установлена на валу, расширенная часть крого размещена внутри гильзы и выполнена с углублением в боковой поверхности. Фиксатор установлен вГокн ё гильзы с возмЬжностью;вззймбдёйствйя с углублением вала и. втулкбй. Торец втулки со стороны фиксатора выполнен в виде винтовой поверхности в пределах одной окружности с продольным уступом. 1 з,п. ф-лы, 3 ил.

„„. И „„1815455 А1

COIO3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 F 16 К 3/10

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 2 (21) 4935121/29 да выполнен с расширенной частью. Одна (22) 07.05.91 промежуточная шеСтеярня, связанная с ме(46) 15.05.93. Бюл. М 18 . ханизмом герметиэацйи и приводом, снаб(75)М.И.Гилев,Г,H.ÄiåáóàäçåèÂ.В,Селива- . жена гйльэой, соосно закрепленной и нов " - - — "::: вь полненной с окном в боковой стенке и (56) Авторское свидетельство СССР резьбой. На резьбу навинчена нажимная

М 1514998, кл. F 16 К 3/10, 1989, втулка, установлейная с воэможностью осевого перемещения, Другая шестерня (54) ВЫСОКОВАКУяУМНЫЙ ЗАТВОР . установлена на валу, расширенная часть к(57) Сущность изобретения, механизмы rep- рого размещена вйутри гильзы и выполнена метиэации и переметщения шибера установ- . с углублением в боковой поверхности. Фик. лены перпендикулярно оси проходного саторустановлен в окне гильзы с воэможноотверстия корпуса; кинематически связаны стью взаимодехйствия с углублением вала и с приводным валом и двумя прсомежутохчтяныя- втулкой. Торец втулки со стороны фиксатора ми шестернями. установленными соосно с выполней в виде винтовой поверхности в возможйостью совместного вращения, пределах одной окружности с продольным

Фиксатор соединяет шестерни, Вал приво- уступом. 1 з,п. ф-лы, 3 ил, Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для герметичного перекрытия высоковакуумных коммунйкацйй, например, в технологическом оборудовании микроэлектроники.

Целью изобретения является повышение надежности срабатывания высоковаку. умного зiтвopа за счет увеличения кинемвтической жесткости механизма перемещения шибера, На фиг.1 схематично показана конструкция высоковдакуумного затвора в закрытом состоянии; на фиг.2 — разрез А-А фиг.1; на фиг.3 — разрез Б-Б фиг,2, .

Высоковакуумный затвор содержит корпус 1, с проходным отверстием 2, электропривод 3, шибер 4. Механизм прижима состоит из двух полуколец 5 соединенных между собой в единый блок. и нескольких расположенных равномерно по окружности домкратов 6, На полукольцах 5 также равномерно по окружности закреплены секторные клинья 7 в количестве равном количеству домкратов, и зубчатый сектор 8, QO

Механизм перемещения шибера содержит .. ь . водило 9. кронштейн 10 и закрепленный на, (Л . кронштейне зубчатый сектор 11, Водило 9 ., соединено с корпусом 1 через сильфон 12, а кронштейн 10 установлен с возможностью р поворота в цапфах 13 закрепленных на кор- . пусе. Промежуточная шестерня 14 находит- . ся в постоянном зацеплении с зубчатым, сектором 11. а промежуточная шестерня 15 ъ находится в зацеплении с зубчатым сектором 8 механизма герметизации и с шестер- ней .16 закрепленной на выходном валу привода 3. Шестерня 14 закреплена на валу f7 с помощью шпонки 18, Вал 17 на расши1815455 ренном участке 19 имеет углубление 20 в виде продольного паза. На шестерне 15 установлена с помощью винтов 21 гильза 22, на наружной резьбовой поверхности которой навинчена нажимная втулка 23. Нажимная втулка снабжена выступами 24, выполненными в виде штифтов, которые входят в пазы 25 обоймы 26, Обойма 26 неподвижно закреплена на корпусе и является одновременно опорой для блока промежуточных шестерен. Второй опорой является гнездо 27 корпуса. Вал 17 установлен в подшипниках 28 и 29, а шестерня 15 совместно с гильзой 22 могут вращаться относительно вала 17 и шестерни 14, т.е. уста- 15 новлены на подшипниках 30 и 31, Торец 32 нажимной втулки выполнен в виде винтовой поверхности в пределах одной окружности, и концы этой поверхности соединены продольным уступом 33. Шаг этой винтовой по- 20 верхности равен шагу резьбового соединения гильзы 22 с нажимной втулкой

23. Направление винтовой линии для обоих мест также одинаково. Фиксатор 34 выполнен в виде двуплечего рычага с выступами 25

35 и 36 и установлен в окне 37 гильзы с возможностью поворота вокруг оси 38. Пружина 39 стремится повернуть рычаг 34 выступом 36 в сторону вала 17.

Высоковакуумный затвор работает сле- 30 дующим образом.

Исходное полох<ение — затвор открыт, При этом нажимная втулка 23 находится в таком положении, при котором ее торец 32 расположен выше рычага 34, а рычаг 34 по- 35 вернут под действием пружины 39 таким образом, что его выступ 36 находится в углублении 20 вала 17. Выступ 35 выступает за пределы наружного диаметра гильзы 22.

Домкраты 6 приподняты, а секторные 40 клинья 7 отведены от них по окружности на некоторое расстояние., При включении привода начинают вращаться шестерня 16, сцепленная с ней промежуточная шестерня 15 и сектор 8 45 закрепленный на блоке полуколец 5; Так как фиксатор 34 посредством гильзы 22 и вала

17 соединяет между собой промежуточные шестерни, то одновременно начинает spaщаться и шестерня 14, а также постоянно 50 сцепленный с ней сектор 11, с помощью которого поворачиваются кронштейн 10, водило 9 и шибер 4. Во время поворота шибера из положения "открыто" в положение

"закрыто" закрепленные на полукольцах 5 55 секторные клинья 7 приближаются к домкратам 6, но еще не взаимодействуют с ними, В то же время нажимная втулка 23 в результате вращения гильзы 22, навинчиваясь на нее, перемещается вниз и приближается к фиксатору. В момент окончания перемещения шибера 4 выступ 35 рычага 34 находит на уступ 33 нажимной втулки, и при дальнейшем вращении гильзы 22 под действием этого уступа рычаг 34 поворачивается вокруг оси 38, преодолевая сопротивление пружины 39, а выступ 36 рычага выходит из углубления 20 вала 17, B результате промежуточная шестерня 14 отключается от продолжающих вращаться шестерен 16, 15 и зубчатого сектора 8. При дальнейшем вращении гильзы 22 рычаг 34 удержйвается а положении изображенном на фиг.3, благодаря взаимодействию выступа 35с внутренней цилиндрической поверхностью нажимной втулки 23. После остановки механизма перемещения шибера секторные клинья 7 механизма герметизации в результате дальнейшего поворота блока полуколец 5 воздействуют на домкраты 6, которые прижимают шибер 4 к уплотняющей поверхности корпуса 1, осуществляя герметизацию затвора, После окончания герметизации привод отключается с помощью микропереключателя (на рисунках не показан).

Открывание затвора происходит в обратной последовательности при вращении привода в противоположную сторону, После поворота блока полуколец 5 на угол, необходимый для отвода домкратов 6 от шибера 4, уступ 33 нажимной втулки 23 в результате- относительного поворота гильзы

22 отходит от выступа 35 рычага 34, который, освобождаясь под действием пружины

39 поворачивается и его выступ 36 входит в углубление 20 вала 17. Тем самым механизм перемещения шибера подключается к приводу и при дальнейшем совместном вращении шестерен 15 и 14 шибер отводится в положение."открыто".

Преимущество предлагаемого вйсоковакуумного затвора по сравнению с прототипом заключается в более высокой надежности срабатывания при быстром закрывании и проявляется в большей мере при диаметрах условного прохода затворов

250 мм и более.

Формула изобретения

1. Высоковакуумный затвор, содержащий корпус с проходным отверстием, привод,. шибер, механизм его герметизации и перемещения в направлении, перпендикулярном оси проходного отверстия, кинематически связанные с приводом валом и двумя промежуточными шестернями, установленными соосно с возможностью совме-: стного вращения, фиксатор, соединяющий эти шестерни, отлича ю щийся тем, что вал привода выполнен с расширенной час1815455 тью, а одна из промежуточных шестерен, связанная с механизмом герметизации и приводом снабжена гильзой, соосно закрепленной и выполненной с окном в боковой стенке и резьбой, на которую навинчена 5 нажимная втулка, установленная с возможностью только осевого перемещения, при этом другая промежуточная шестерня, соединенная с механизмом перемещения шибера, установлена на валу, расширенная 10 часть которого размещена внутри гильзы и выполнена с углублением в боковой поверхности, при этом фиксатор установлен в окне гильзы с возможностью его взаимодействия с углублением вала и нажимной втулкой, а торец нажимной втулки со стороны фиксатора выполнен в виде винтовой поверхности в пределах одной окружности с продольным уступом.

2, Затвор по п,1, отличающийся тем, что корпус снабжен обоймой, выполненной с продольными пазами и охватывающей нажимную втулку, которая выполнена с выступами, входящими в пазы обоймы, при этом шаг винтовой поверхности, выполненной на торце нажимной втулки, равен шагу винтового соединения нажимной втулки и гильзы.

1815455 ф /Г З

Составитель M.Ãèëåâ .

Редактор В.Трубченко Техред М.Моргентал Корректор Г,Кос

Заказ 1627 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета rio изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101