Устройство для выращивания монокристаллов тугоплавких окислов по методу вернейля

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯМОНОКРИСТАЛЛОВ ТУГОПЛАВКИХ ОКИСЛОВПО МЕТОДУ ВЕРНЕЙЛЯ, состоящее Изпитателя порошка-, горелки основной,горелки дополнительной, расположенной аксиально вокруг основной, печи и вытягивающего устройства, отличающееся тем, что, с целью достижения уменьшения градиента температур в осевом и радиальном направлениях монокристалла, основная и дополнительная горелки установлены так, что их факелы направлены В рабочее пространство печи.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) О I) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

AO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ .К ABTGPCHOMV СВИД=ТЕЛЬСТВУ (21) 1214762/23-,26 (22) 05. 02. 68 (46) 15.06.85. Бюл. И 22 (72) А.Г. Носоновский, Ю.М. Либин и В.в. Пищик (53) 548.55(088.8) (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ

МОНОКРИСТАЛЛОВ ТУГОПЛАВКИХ ОКИСЛОВ

Il0 МЕТОДУ ВЕРНЕЙЛЯ, состоящее из питателя порошка; горелки основной, 4рц С 30 В 11/10; В 01, J 29/46 горелки дополнительной, расположенной аксиально вокруг основной, печи и вытягивающего устройства, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью достижения уменьшения градиента температур в осевом и радиальном направлениях монокристалла, основная и дополнительная горелки установлены так, что их факелы направлены в рабочее пространство печи.

248637

Изобретение относится к области производства монокристаллов и предназначено для использования в установках для выращивания монокристаллов тугоплавких окислов, например S рубинов, по методу Вернейля.

Известно устройство для выращивания монокристаллов тугоплавких окислов по методу Вернейля, состоящее из питателя порошка, основной горелки, дополнительной горелки, расположенной аксиально вокруг основной, печи и вытягивающего устройства.

Предложенное устройство отличает- IS ся от известного тем, что основная и дополнительная горелки расположены так, что их факелы направлены в ра- бочее пространство печи.

Это позволяет уменьшить градиент 26 температур в осевом и радиальном направлениях монокристалла.

На чертеже изображено предложенное устройство. 25

Оно содержит питатель 1 порошка с вводом 2 кислорода и основную горелку, состоящую из центральной трубки 3 с соплом 4,. трубы 5 с соплом 6 и вводом 7 кислорода, трубы 8 с соплом 9 и вводом 10 водорода. Устройство также включает дополнительную горелку, состоящую из трубы 11 с соплом 12 и вводом 13 гаэообразA ного топлива, печь, состоящую из корундового цилиндрического стакана 14, шамотной изоляции 15, легковесной теплоизоляции 16, металлического кожуха 17 и смотрового окна 18, и вытягивающее устройство 19.

Порошок исходного продукта из питателя вместе с порошком и частью кислорода, подводимого через ввод 2, через центральную трубку 3 и сопло 4 поступает в зону сопла 9, Одновременно другая часть кислорода через ввод 7, трубу 5 и сопло 6 поступает в пространство сопла 9, где смешивается с водородом, вводимым через ввод 10 и трубу 8.

В результате горения водорода в кислороде образуется основной факел, который направлен на торец растущего кристалла. Для уменьшения тепловых потерь от кристалла как в осевом, так и.в радиальном направлениях образуют тепловой экран в виде дополнительного факела, получающийся в результате снижения газообразного топлива, вводимого через ввод 13 и сопло 12.

При выращивании монокристалла вытягивающее устройство перемещает кристалл со скоростью, равной скорости образования новых слоев, так, чтобы растущая поверхность находилась на одном и том же уровне смотрового окна.

248637

Составитель О, Николаичева

Редактор Л. Письман Техред Л.Микеш Корректор Л. Бескид

Заказ 4470/1 Тираж 357 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4