Пьезоэлектрический керамический материал

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам. Технический результат изобретения заключается в снижении механической добротности, относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов, в повышении пьезомодуля, пьезочувствительности, удельной чувствительности, коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний. Пьезоэлектрический керамический материал содержит следующие элементы, мас.%: Na2O 8,77-8,84; K2O 11,36-11,44; Li2O 0,32-0,33; Ta2O5 11,58-11,67; Sb2O5 3,53-3,56; Nb2O5 62,71-63,17; NiO 0,99-1,73. 3 табл., 3 пр.

 

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе соединений натрия, калия, лития и может быть использовано в высокочастотных преобразователях, системах ультразвуковой сварки, устройствах неразрушающего контроля, дефектоскопии.

Для указанных применений материал должен обладать достаточно низким значением относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов, ε 3 3 T / ε 0 , (700-800), достаточно высокими пьезомодулем d33 (≥140 пКл/Н), пьезочувствительностью, g33, (~20 мВ·м/Н), удельной чувствительностью, d 3 3 / ε 3 3 T / ε 0 , (~5-6 пКл/Н), коэффициентом электромеханической связи планарной моды колебаний, Kp (~0.38), низкой механической добротностью, Qм, (<90).

Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе соединений натрия, калия, лития, включающий Li2CO3, K2CO3, NaHCO3, Nb2O5 и Ta2O5. Состав материала отвечает химической формуле ((K0.5Na0.5)0.9Li0.1)(Nb0.8Ta0.2)O3. Материал имеет для лучших составов ε 3 3 T / ε 0 624 , g33≈11.9 мВм/Н, Qm=273.4, Kp=0.307 [1]. Для указанных применений материал имеет недостаточно низкую Qm и недостаточно высокие значения ε 3 3 T / ε 0 , Kp, g33.

Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе соединений натрия, калия, лития, включающий Na2O, K2O, Li2O, Nb2O5, Ta2O5, CuO и MnO2. Материал имеет ε 3 3 T / ε 0 1630 , g33≈22.2 мВм/Н [2]. Для указанных применений материал имеет слишком высокие значения ε 3 3 T / ε 0 .

Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе соединений натрия, калия, лития, включающий Na(Nb, Ta, Sb)O3, K(Nb, Ta, Sb)O3, Li(Nb, Ta, Sb)O3 с добавками оксидов марганца (MnO2) и редкоземельного элемента - церия (CeO2). Состав материала отвечает химической формуле (Na0.475K0.475Li0.05)(Nb0.92Ta0.05, Sb0.03)O3+0.4%CeO2+0.4%MnO2, то есть включает оксиды Na2O, K2O, Li2O, Nb2O5, Ta2O5, Sb2O5, CeO2 и MnO2. Материал имеет (для лучших составов) ε 3 3 T / ε 0 = 1150 , d33=200 пКл/Н, g33=19 пКл/Н, d 3 3 / ε 3 3 T / ε 0 = 5.89 пКл/Н, Kp=0.43, Qм=80 [3]. Для указанных применений материал имеет слишком высокое значение ε 3 3 T / ε 0 . Кроме того, использование в составе редкоземельного элемента - церия (Ce) приводит к удорожанию материала и изделий из него, что препятствует их массовому применению.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является пьезоэлектрический керамический материал на основе соединений натрия, калия, лития, включающий Na2O, K2O, Li2O, BaO, Bi2O3, TiO2. Состав материала отвечает химической формуле 0.885(Na0.5Bi0.5)TiO3-0.05(K0.5Bi0.5)TiO3-0.015(Li0.5Bi0.5)TiO3-0.05 BaTiO3. Материал имеет ε 3 3 T / ε 0 = 766 , d33=163 пКл/Н, g33=24 мВ·м/Н, d 3 3 / ε 3 3 T / ε 0 = 5.89 пКл/Н, Kp=0328, Qм=142.1 [4] (Прототип). Для указанных применений материал имеет недостаточно низкое значение Qм.

Задачей изобретения является снижение Qм (до значений 70-90) при сохранении достаточно низких значений ε 3 3 T / ε 0 (700-800), высоких Kp (0.36-0.38), g33 (~20 мВм/Н), d 3 3 / ε 3 3 T / ε 0 , (~5-6 пКл/Н).

Указанные результаты достигаются тем, что пьезоэлектрический керамический материал на основе соединений натрия, калия, лития дополнительно содержит Ta2O5, Sb2O5, NiO, Nb2O5 при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Na2O 8.77-8.84
K2O 11.36-11.44
Li2O 0.32-0.33
Ta2O5 11.58-11.67
Sb2O5 3.53-3.56
NiO 0.99-1.73
Nb2O5 62.71-63.17

Состав материала отвечает формуле:

LiaKbNacNbdTamSbnO3+zNiO, где a=0.04, b=0.4416, c=0.5184, d=0.864, m=0.096, n=0.04, a+b+c=1, d+m+n=1, 0.01≤z≤0.00175.

Комбинированное модифицирование материала на основе соединений натрия, калия и лития разновалентными катионами приводит к усложнению структуры материала, в частности, за счет усиления кристаллохимического беспорядка в A- и B-позициях исходного соединения, и появлению катионных вакансий. Последнее, способствуя облегчению доменных переориентаций, увеличивает подвижность доменной структуры, усиливает внутреннее трение при большой мобильности доменных стенок и, как следствие, уменьшает Qm, так как последняя обратно пропорциональна внутреннему трению [5]. Кроме того, образование при неизовалентных замещениях ионов новых структурных элементов - точечных дефектов (вакансий), участвующих в массопереносе и усиливающих диффузионные процессы при синтезе и спекании объектов, а также высокая стереохимическая активность и эмиссионная способность Ni(II) (обусловленные его малоразмерностью и особенностями электронной структуры), усиленные в многокомпонентных системах микродефектностью составов [6], способствуют улучшенной спекаемости керамик.

1. Пример изготовления пьезоэлектрического керамического материала.

Материал изготавливался по обычной керамической технологии следующим образом. В качестве исходных реагентов использовались гидрокарбонаты, карбонаты и оксиды следующих квалификаций: NaHCO3 - «чда», KHCO3 - «ч», Nb2O5 - «NbO-PT», Li2CO3 - «хч», Ta2O5 - «TaO-1», Sb2O5 - «хч», NiO - «ч». Синтез осуществлялся путем однократного обжига смесей сырьевых компонентов: NaHCO3, KHCO3, Nb2O5, Li2CO3, Ta2O5, Sb2O5, NiO, взятых в количествах (мас.%, в случае NaHCO3, KHCO3, Li2CO3 в пересчете на соответствующие оксиды): Na2O=8.84; K2O=11.44; Nb2O5=63.17; Li2O=0.33; Ta2O5=11.67; Sb2O5=3.56, NiO=0.99 с промежуточным помолом синтезированного продукта. Температура обжига при синтезе, Тсинт=1223 К, длительность изотермической выдержки, τсинт=5 ч. Спекание образцов в виде столбиков ⌀12 мм, высотой 15-18 мм осуществлялось при Тсп=1413 К, длительность изотермической выдержки, τсп=1.5 ч. Металлизация (нанесение электродов) производилась путем нанесения на плоские поверхности предварительно сошлифованных до толщины 1 мм образцов серебросодержащей пасты и последующего ее вжигания при температуре Твжиг=1070 К в течение 0.5 ч. Образцы поляризовали в полиэтиленсилоксановой жидкости при температуре 410 К в течение 40 мин в постоянном электрическом поле напряженностью 4 кВ/см.

2. Пример изготовления пьезоэлектрического керамического материала.

Материал изготавливался по обычной керамической технологии следующим образом. В качестве исходных реагентов использовались гидрокарбонаты, карбонаты и оксиды следующих квалификаций: NaHCO3 - «чда», KHCO3 - «ч», Nb2O5 - «NbO-PT», Li2CO3 - «хч», Ta2O5 - «TaO-1», Sb2O5 - «хч», NiO - «ч». Синтез осуществлялся путем однократного обжига смесей сырьевых компонентов: NaHCO3, KHCO3, Nb2O5, Li2CO3, Ta2O5, Sb2O5, NiO, взятых в количествах (мас.%, в случае NaHCO3, KHCO3, Li2CO3 в пересчете на соответствующие оксиды): Na2O=8.82; K2O=11.41; Nb2O5=63.02; Li2O=0.32; Ta2O5=11.64; Sb2O5=3.55, NiO=1.24 с промежуточным помолом синтезированного продукта. Температура обжига при синтезе, Тсинт=1223 К, длительность изотермической выдержки, τсинт=5 ч. Спекание образцов в виде столбиков ⌀12 мм, высотой 15-18 мм осуществлялось при Тсп=1413 К, длительность изотермической выдержки, τсп=1.5 ч. Металлизация (нанесение электродов) производилась путем нанесения на плоские поверхности предварительно сошлифованных до толщины 1 мм образцов серебросодержащей пасты и последующего ее вжигания при температуре Твжиг=1070 К в течение 0.5 ч. Образцы поляризовали в полиэтиленсилоксановой жидкости при температуре 410 К в течение 40 мин. в постоянном электрическом поле напряженностью 4 кВ/см.

3. Пример изготовления пьезоэлектрического керамического материала

Материал изготавливался по обычной керамической технологии следующим образом. В качестве исходных реагентов использовались гидрокарбонаты, карбонаты и оксиды следующих квалификаций: NaHCO3 - «чда», KHCO3 - «ч», Nb2O5 - «NbO-PT», Li2CO3 - «хч», Ta2O5 - «TaO-1», Sb2O5 - «хч», NiO - «ч». Синтез осуществлялся путем однократного обжига смесей сырьевых компонентов: NaHCO3, KHCO3, Nb2O5, Li2CO3, Ta2O5, Sb2O5, NiO, взятых в количествах (мас.%, в случае NaHCO3, KHCO3, Li2CO3 в пересчете на соответствующие оксиды): Na2O=8.77; K2O=11.36; Nb2O5=62.71; Li2O=0.32; Ta2O5=11.58; Sb2O5=3.53, NiO=1.73 с промежуточным помолом синтезированного продукта. Температура обжига при синтезе, Тсинт=1203 К, длительность изотермической выдержки, τсинт=5 ч. Спекание образцов в виде столбиков ⌀12 мм, высотой 15-18 мм осуществлялось при Тсп.=1413 K, длительность изотермической выдержки τсп=1.5 ч. Металлизация (нанесение электродов) производилась путем нанесения на плоские поверхности предварительно сошлифованных до толщины 1 мм образцов серебросодержащей пасты и последующего ее вжигания при температуре Твжиг=1070 К в течение 0,5 ч. Образцы поляризовали в полиэтиленсилоксановой жидкости при температуре 410 К в течение 40 мин в постоянном электрическом поле напряженностью 4 кВ/см.

Электрофизические характеристики определяли в соответствии с ОСТ 11.0444-87. Измерялись относительная диэлектрическая проницаемость поляризованных образцов, ε 3 3 T / ε 0 0 - диэлектрическая постоянная), пьезомодули, |d31| и d33, коэффициент электромеханической связи планарной моды колебаний, Kp, механическая добротность, Qm, скорость звука, V 1 E . Пьезомодуль, d33 определяли квазистатическим методом. Измерение экспериментальной плотности образцов, ρэксп, осуществляли методом гидростатического взвешивания в октане. Пьезочувствительность на толщинной моде колебаний, g33, рассчитывали по формуле g 3 3 = d 3 3 / ε 3 3 T ; удельную чувствительность - по формуле d 3 3 / ε 3 3 T / ε 0 ; акустический импеданс, Za, по формуле .

В табл.1 приведены основные характеристики материала в зависимости от состава, а в табл.2 приведены основные электрофизические характеристики оптимальных составов предлагаемого материала.

Полученные экспериментальные данные (табл.1, примеры 3-5) свидетельствуют о том, что пьезоэлектрический керамический материал предлагаемого состава обладает оптимальными, с точки зрения решаемой технической задачи, характеристиками в указанном интервале концентраций компонентов, выход за пределы которого приводит к ухудшению параметров.

Данные, приведенные в табл.1-2, подтверждают преимущества предлагаемого пьезоэлектрического керамического материала по сравнению с материалом - прототипом, а именно снижение Qm (почти вдвое) до значений ~70-90 при сохранении достаточно низких значений относительной диэлектрической проницаемости ε 3 3 T / ε 0 ~ 700 800 , достаточно высоких значений пьезомодуля d33~(130-150) пКл/Н, пьезочувствительности g33~20 мВ·м/Н, удельной чувствительностью d 3 3 / ε 3 3 T / ε 0 ~ 5 пКл/Н, коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний Kp~0.36-0.38.

Эффект снижения Qm достигается, по существу, дополнительным введением в материал, включающий Na2O, K2O, Li2O, оксидов Ta2O5, Sb2O5, Nb2O5, NiO.

Достаточно низкое значение относительной диэлектрической проницаемости ε 3 3 T / ε 0 = 700 800 предлагаемого пьезоэлектрического керамического материала определяет основное его назначение - использование в высокочастотных преобразователях. Это следует, прежде всего, из того, что твердые растворы на основе ниобатов щелочных металлов (НЩМ) могут использоваться в качестве резонансных элементов пьезоэлектрических преобразователей в высокочастотных (ВЧ) (3.0-30.0) МГц и очень высокочастотных (ОВЧ) (30.0-300.0) МГц диапазонах. Классификация электромагнитных волн по частотным диапазонам представлена в [7]. При условии согласования преобразователя с нагрузкой (Ri=Rн) (обычно реализуемое в выпускаемой промышленностью радиоэлектронной аппаратуре выходное сопротивление Rн~50 Ом для высоких частот), используя формулу для емкостного сопротивления преобразователя: Ri=1/ωC, где Ri - емкостное сопротивление преобразователя, Ом; ω - круговая частота, Гц; C - емкость, Ф; можно приблизительно оценить интервалы значений емкости C=1/27πfRi; для указанных диапазонов частот, а следовательно, и относительной диэлектрической проницаемости поляризованных элементов, ε 3 3 T / ε 0 = k C , где k - коэффициент, зависящий от размеров элементов, ε0=8.85·10-12 Ф - диэлектрическая проницаемость вакуума; при k=1, ε 3 3 T / ε 0 = C .

В таблице 3 приведены значения относительной диэлектрической проницаемости, ε 3 3 T / ε 0 , реализуемые в объемных керамических образцах в ВЧ-диапазоне. Там же (*) приведен комментарий к таблице. Таким образом, при частотах 3.98-4.55 МГц необходимы значения ε 3 3 T / ε 0 = 700 800 для снижения сопротивления преобразователя, что улучшает его согласование с нагрузкой.

Достаточно высокие значения Kp (~0.38), d33 (≥140 пКл/Н), g33 (~20 мВ·м/Н), d 3 3 / ε 3 3 T / ε 0 (~5-6 пКл/Н), достаточно низкие значения ε 3 3 T / ε 0 (700-800) и низкая Qм, (<90) позволяют использовать представленный материал в ультразвуковых преобразователях систем ультразвуковой сварки, устройств неразрушающего контроля и дефектоскопии.

Высокая анизотропия пьезосвойств (d33/|d31|~3) в сочетании с низкой Qm способствует повышению отношение сигнал/шум и подавлению паразитных резонансов (ложных колебаний), искажающих форму рабочего сигнала и ухудшающих характеристики изготовленных из этого пьезокерамического материала устройств.

Кроме того, снижению Тсп с 1443 К (прототип) до 1413 К (предлагаемый материал) позволяет сохранить стехиометрический состав керамики за счет снижения возможности улетучивания легких малоразмерных катионов Na, Li, а процесс изготовления материала при этом становится менее затратным.

Источники информации

1. EP 1032057 A1, JP 2000042095, C04B 35/00, H01L 41/187, дата публикации 30.08.2000.

2. EP 2113952 A2, JP 2008090331, H01L 41/08, C04B 35/495, H01L 41/187, дата публикации 04.11.2009.

3. Т. Lee, K.W. Kwok, H.L. Li, H.L.W. Chan. Lead-free alkaline niobate-based transducer for ultrasonic wirebonding applications. // Sensor and Actuators A. 2009. №150. P.268.

4. H.L.W. Chan, S.H. Choy, C.P. Chong, H.L. Li, P.C.K. Liu. Bismuth sodium titanate based lead-free ultrasonic transducer for microelectronics wirebonding applications. // Ceramics International 2008. №34. P. 774-775 (Прототип).

5. А.Я. Данцигер, O.H. Разумовская, Л.А. Резниченко и др. Многокомпонентные системы сегнетоэлектрических сложных оксидов: физика, кристаллохимия, технология. Аспекты дизайна пьезоэлектрических материалов. Ростов-на-Дону. Изд-во Рост. Ун-та. 2001. Т.1. - 408 с.

6. Л.А. Резниченко, О.Н. Разумовская, С.И. Дудкина. Аномальное поведение диэлектрической проницаемости в сегнетопьезоэлектрических материалах на основе ЦТС с участием Ni (II) и Cd (II) - содержащих компонентов. // Сб-к трудов Международной научно-практической конференции "Фундаментальные проблемы пьезоэлектрического приборостроения" ("Пьезотехника-99"). Ростов-на-Дону, Азов. - 1999. - Т.1. -С 109-123.

7. Носов Ю.Н., Кукаев А.А. Энциклопедия отечественных антенн. Справочное издание. М., 2001, с.49.

Таблица 2
N п/п Материал ε 3 3 T / ε 0 Kp |d31|, пКл/Н d33′, пКл/Н d 3 3 / ε 3 3 T / ε 0 , пм/В QM V 1 E * 10 3 , м/с g33 мВ·м/Н Za, mrayl
1 Прототип 766 0,328 - 163 5.88 142.1 24.01 26.41
2 Предлагаемый материал (пример №5 из табл.1) 759 0.37 49 138 5.00 73 4.498 20.52 20.33
Таблица 3
Высокие и очень высокие частоты: при Rн=Ri=50 Ом
f, МГц 15.92-10.61 10.61-7.95 7.95-6.37 6.37-5.31 5.31-4.55 4.55-3.98 3.98-3.53 3.53-3.18
ε 3 3 T / ε 0 200-300 300-400 400-500 500-600 600-700 700-800 800-900 900-1000
* - частотный диапазон (4.55-3.98) МГц может быть реализован использованием пьезокерамических материалов на основе НЩМ со значениями ε 3 3 T / ε 0 = ( 700 800 ) без дополнительной согласующей аппаратуры

Пьезоэлектрический керамический материал на основе соединений натрия, калия, лития, включающий Na2O, K2O, Li2O, отличающийся тем, что дополнительно содержит Ta2O5, Sb2O5, Nb2O5, NiO при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Na2O 8.77-8.84
K2O 11.36-11.44
Li2O 0.32-0.33
Ta2O5 11.58-11.67
Sb2O5 3.53-3.56
NiO 0.99-1.73
Nb2O5 62.71-63.17



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам. Технический результат изобретения заключается в снижении относительной диэлектрической проницаемости и температуры спекания материала.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам и может быть использовано в низкочастотных приемных устройствах, гидрофонах, сонарах, работающих в гидростатическом режиме, акустических приемниках, датчиках давления.
Изобретение относится к керамическому материалу, содержащему цирконат-титанат свинца и дополнительно включающему Nd и Ni, и может быть использовано для изготовления пьезоэлектрических возбудителей.

Изобретение относится к пьезокерамическим материалам и может быть использовано при создании пьезопреобразователей для приборов высокотемпературной виброметрии, УЗ-аппаратуры для дефектоскопии и дефектометрии, УЗ-медицинской диагностической аппаратуры, геофизической УЗ-аппаратуры и высокочастотной гидроакустической аппаратуры (звуковидение).

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе титаната свинца и может быть использовано в низкочастотных приемных устройствах - гидрофонах, микрофонах, сейсмоприемниках, а также в приборах медицинской диагностики, Работающих на нагрузку с низкоомным входным сопротивлением.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе цирконата-титаната свинца и может быть использовано в высоковольтных актюаторах лазерных адаптивных систем, компенсаторов вибрации оборудования, приборов точного позиционирования объектов (микролитография, туннельные растровые микроскопы), а также в топливно-распределительных системах бензиновых и дизельных двигателей.
Изобретение относится к получению материалов для производства сегнетоэлектрической керамики, используемой в электронной технике. .

Изобретение относится к области сегнетожестких пьезокерамических материалов, устойчивых к электрическим и механическим воздействиям, предназначенных для ультразвуковых устройств, в том числе многослойных и работающих при сильных электрических и механических воздействиях.
Изобретение относится к пиро- и пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе комплексных оксидов и может быть использовано для создания рабочих элементов датчиков пироэлектрических приемников теплового излучения в системах пожарной и охранной сигнализации и в пьезоэлектрических изделиях, используемых в качестве преобразователей в ультразвуковых дефектоскопах и толщиномерах.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе ниобатов натрия-калия и может быть использовано в среднечастотных радиоэлектронных устройствах, работающих в режиме приема, в том числе в трансдукторах ультразвуковых передатчиков.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе ниобата натрия и может быть использовано для создания низкочастотных приемных устройств - гидрофонов, микрофонов, гидроприемников, а также для создания низкочастотных электромеханических преобразователей, возбуждающих металлические резонаторы с высокой скоростью звука.

Изобретение относится к производству пьезоэлектрических керамических материалов и может быть использовано для создания высокочастотных электромеханических преобразователей, применяемых, в частности, в ультразвуковых линиях задержки (эксплуатируемых в частотном диапазоне (20÷30) мГц), высокочувствительных моночастотных резонаторах, работающих на толщинных колебаниях; в устройствах, где весовые характеристики являются решающими.
Изобретение относится к химически устойчивым материалам, в частности, применяемым для облицовки реакционных сосудов, реакторов, мельниц, пресс-форм и т.п., которые используют при производстве анодов для электролитических конденсаторов с твердым электролитом.
Изобретение относится к области пироэлектрических керамических материалов и может быть использовано для создания пироэлектрических детекторов для регистрации теплового и светового потоков излучения.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе метаниобата лития и может быть использовано в устройствах дефектоскопического контроля оборудования атомных реакторов, работающих при высоких температурах.
Изобретение относится к способу получения керамических образцов на основе оксида ванадия V2О3 , легированного оксидом хрома Cr2О3. .

Изобретение относится к керамическим материалам на основе окислов титана и может быть использовано в производстве многослойных высокочастотных термостабильных керамических конденсаторов с электродами на основе сплава, содержащего Ag и Pd, а также в производстве микроволновых фильтров.

Изобретение относится к керамическим материалам на основе цинкзамещенного ниобата висмута и может быть использовано в производстве многослойных высокочастотных термостабильных керамических конденсаторов с электродами на основе сплава, содержащего Ag и Pd, а также в производстве многослойных микроволновых фильтров.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам. Технический результат изобретения заключается в повышении коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний, снижении относительной диэлектрической проницаемости. Пьезоэлектрический керамический материал содержит следующие компоненты, мас.%: Na2O 8,61-8,70; К2O 11,15-11,26; Li2O 0,49-0,50; Та2O5 11,37-11,49; Nb2O3 61,59-62,19; Bi2O3 0,37-1,10; Fe2O3 0,13-0,38; Sb2O5 5,31-5,37. 3 пр., 3 табл.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам. Технический результат изобретения заключается в снижении механической добротности, относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов, в повышении пьезомодуля, пьезочувствительности, удельной чувствительности, коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний. Пьезоэлектрический керамический материал содержит следующие элементы, мас.: Na2O 8,77-8,84; K2O 11,36-11,44; Li2O 0,32-0,33; Ta2O5 11,58-11,67; Sb2O5 3,53-3,56; Nb2O5 62,71-63,17; NiO 0,99-1,73. 3 табл., 3 пр.

Наверх