Устройство для изготовления микросхем
О П И С А Н И Е 277895
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 03.111.1969 (№ 1308249/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05.Ч111.1970, Бюллетень № 25
Дата опубликования описания 19.XI.1970
Кл. 21а, 75
МПК Н 05k 3/12
УДК 621.3.049.75 (088.8) Комитет по делам изооретений и открытий дри Совете Министров
СССР
I! «д.т т ттт. т . :,"»
А. Н. Григорьев, Б. И. Тимофеев и Н. С. Алимкин
- 3!
Авторы изобретения
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСХЕМ
Известно устройство для изготовления микросхем, содержащее механизм подачи подложек, механизм покрытия подложек клеем, механизм шаговой подачи пленки и механизм формирования токопроводящих элеметгтов микросхемы.
Цель изобретения — повышение производительности у стройства. Достигается это тем, что в нем механизм формирования токопроводящих элементов микросхемы выполнен в виде набора полых пуансонов, сквозной канал которых сообщается с внутренней полостью цилиндрического пуансонодержателя, снабженного подпружиненным поршнем, в прорезь штока которого входит фиксатор, выполненный в виде подпружиненного рычага.
На чертеже схематически изображено устройство в разрезе.
Устройство содержит матрицу 1, съемник 2, пуансон 8 с каналом 4, пуансонодержатель 5, цилиндрическую полость 6, поршень 7, рычаг
8, заготовку. 9 элемента, пленку 10, подложку П, коленчатый вал 12 и пружину 18.
При двусторонней наклейке устройство представляет собой два или более штампов, каждый из которых включает матрицу 1, съемник 2, пуансон 8 с каналом 4 всасывание — выхлоп, соединенным с внутренней цилиндрической полостью б пуансоиодержателя 5. Цилиндрическая полость перекрыта поршнем 7.
Подпружиненный рычаг 8 удерживает поршень 7 до момента подхода пуансонов с вы5 рубленными из пленки 10 заготовками элементов к подложке П с нанесенным клеем.
Привод пуансонодержателя осуществляется от коленчатого вала 12. После подачи на место подложки 11 с нанесенным клеем и по10 дачи на шаг пленки 10 посредством узла подачи пуансонодержатель с пуансонами 8 получает поступательное движение от вала 12 и при движении к подложке 11 вырубает из пленки 10 заготовки элементов заданного конЫ тура.
За время прямого хода пуансонодержателя подпружиненный рычаг 8 удерживает поршень 7 в исходном положении, в результате чего объем полости 6 увеличивается, Заготов20 ки 9 перекрывают канал 4, и при дальнейшем ходе пуансонодержателя происходит разряжение замкнутого объема воздуха в его полости.
Атмосферное давление удерживает заготовки на рабочих торцах пуансонов.
2S Пуансоны должны доходить до подложки с зазором в пределах 0,1 — 0,5 лтм. Зазор необходим для предотвращения попадания клея с подложки на рабочую поверхность пуансона. В момент максимального приближения
30 пуансона к подложке срабатывает рычаг 8, Узел А
Составитель А. Мерман
Тскред 3. H. Тараненко
Редактор Н. Вирко
Корректоры: А. Абрамова и М. Коробова
Заказ 3210/5 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4)5
Типография, пр. Сапунова, 2 освобождая поршеш. 7, который под действием сжатой пружины 18 с. силои выта 11 При обратном ходе пуансонодержатель возвращает поршень в исходное положение, где его фиксирует рычаг 8. Предмет изобретения Устройство для изготовления микросхем, содержащее механизм покрытия подачи подЛО?кек, механизм покрь!Тия подлои<ек 1<леем, механизм шаговой подачи пленки и механизм формирования токопроводящих элементов микросхемы, Отличавшееся тем, что, с целью 5 повышения производительности работы устройства, механизм формирования токопроводящих элементов микросхемы выполнен в виде набора полых пуансонов, сквозной канал которых сообщается с внутренней полостью 10 цилиндрического пуансонодержателя, снабженного подпружиненным поршнем, в прорезь штока которого входит фиксатор, выполненный в виде подг1ружиненного рычага.
