Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме

 

337448

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союэ Соеетокии

".оциэлиотичеокиэ

Реопублии

Зависимое от а вт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 10.III.1970 (М 1412966/22-1) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 05.Ч.1972. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 1,VI.1972

М. Кл. С 23с 13/08

Комитет по делов иэобретеиий и открытий при Совете Миеиетрее

СССР

УДК 621.793.14.002.51 (088.8) т---4k %.. . . г;, А. Ф. Скляров и В. И. Куркин,. .у ",,;

Авторы изобретения

Заявитель

МЕХАНИЗМ П РЯМОЛ И Н ЕЙ НОГО П ЕРЕМЕЩЕН ИЯ ДЕТАЛИ

ПРИ НАНЕСЕНИИ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известен механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении .покрытий в вакууме, содержащий корпус, внутри которого расположен подвижный стержень на опорах.

Однако такой механизм не обеспечивает перемещения стержня с обрабатываемой деталью.

Цель изобретения — плавность и строгий контроль перемещения стержня с обр абатываемым изделием;

Для этого в предлагаемом механизме опоры выполнены в виде жестко закрепленных в корпусе упругих пружин, связанных между собой посредством стержня, соединенного с источником тока, другой полюс которого соединен с корпусом.

На чертеже показан предлагаемый механизм, общий вид.

Он состоит из корпуса l, внутри которого расположен подвижный стержень 2 на опорах, выполненных в виде жестко закрепленных в корпусе упругих пружин 8 и 4, связанных между собой посредством стержня 2, соединенного с источником б тока, другой полюс которого соединен с корпусом 1. На стержне

2 расположена обрабатываемая деталь б.

При пропускании электрического тока через упругие пружины 8 и 4 (от корпуса через опоры к стержню) они одновременно нагреваются до заданной программной температуры и .претерпевают одинаковое тепловое удлинение.

Идентичность удлинения достигается равенст5 вом сечений и длин пружин 8 и 4, что, в свою очередь, обеспечивает р авенство электрических сопротивлений пружин, поэтому стрела прогиба каждой из опор увеличивается.

Таким образом, каждая из опор работает

10 по схеме множительного механизма, преобразуя малые удлинения в увеличенные поперечные смещения средних точек 7 и 8, соединенных в единое целое посредством стержня 2

Так как стержень объединяет несколько опор, 15 то движение стержня 2 строго плоско-параллельное при одинаковой длине пружин 8 и 4 и одинаковой температуре последних.

Например при длине опор, равной 60 мм, изготовленных из бронзы Бр Б>, при нагреве

20 их на 10 С удлинение каждой из опор равно

Al а, 1М=17,8.10 6 60.10=10,68.10 э мм, где: а — коэффициент линейного расширения материала, 1/град, l — длина опоры, мм, 2s Л(— изменение температуры опоры, град.

При передаточном отношении каждой из опор i;=3/3, стержень 2 перемещается вдоль своей оси на 10,68 10- 3=32,04 10 — мм. Для обеспечения такого перемещения при нагрева30 нии стержня, жестко закрепленного одним

337448

Предмет изобретения

Составитель В. Либерман

Техред 3. Тараненко Корректор Е. Усова

Редактор Т. Баранова

Заказ 1534/2 Изд. № 625 Тираж 448 Подписное

ЦЦИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 концом, длина последнего должна быть равной 180 мм при нагреве на 10 С.

При уменьшении величины тока, протекающего через пружины 8и4,,температура "оследних уменьшается со временем (вследствие естественного охлаждения за счет излучения, теплопроводности и конвекции, если механизм находится в газовой среде), уменьшается так же их длина и стержень под действием упругих сил получает перемещение другого знака.

Таким образом, определенной величине тока, а следовательно, определенной температуре пружин 8 и 4 соответствует определенное,перемещение стержня 2.

3 случае применения такого механизма для точных контролируемых перемещений следует весь механизм поместить в термостатируемую камеру, при этом материал корпуса 1 и стержня 2 должен максимально отличаться,по коэффициенту линейного расширения от материала пружин 8 и 4, например, материал корпуса и стержня инвар или суперинвар (минимальный коэффициент линейного расширения), а материал упругих пружин 8 и 4 из бронзы БрБз. Если принять при этом определенные меры по сведению теплопроводности стержня в месте выхода последнего из термостатируемой камеры в рабочий объем к минимуму (например, участок стержня в месте выхода сделать из материала с малым коэффициентом теплопроводности), то точность перемещения стержня будет определяться точностью поддержания температуры в термостатируемой камере, а следовательно, точностью

1р поддержания температуры упругих пружин

8 и 4.

15 Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме, содержащий корпус, внутри которого расположен подвижный стержень на опорах, отличаюи ийся тем, что, с целью обеспечения плавности и строго контролируемого перемещения стержня, о поры выполнены в виде жестко закреплен ных в корпусе упругих пружин, связанных между собой посредством стержня, соединенного с источником тока, другой полюс

25 которого соединен с кор пусом.