Способ получения селеновых электрофотографических слоев

 

Союз Советских

Социалистических

Республик (! 11 345837

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свпд-ву (51) М. Кл.з

G 036 5/08 (22) Заявлено 25.07.69 (21) 1353587/22-01 с присоединением заявки ¹

Государственный комитет (23) Приоритет (43) Опубликовано 28.02,79. Бюллетень № 8 (45) Дата опубликования описания 28.02.79 по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.793.14:

: 669.776 (088.8) (72) Авторы изобретения

О. М. Бондаренко, К. И. Дарьин, В. А. Ислямов, Р. В. Казакова, П. М. Подвигалкин, Г. 3. Рейцман, В. В. Броницкий, Г. Б. Шнейдман, А. П. Лепешкин, М. П. Окунас и А. Б. Янкаускас (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЕЛЕНОВЪ|Х

ЭЛЕКТРОФОТОГРАФИЧЕСКИХ СЛОЕВ

Формул а изобретения

Изобретение относится к способам получения покрытий путем вакуумного напыления, в частности к способам получения селеновых электрофотогр афических слоев.

Известен способ получения с еленовых 5 электрофотографических слоев путем вакуумного напыления. Однако проведение процесса в стационарном режиме по известному способу не обеспечивает получения оптимальных значений эксплуатационных 10 параметров слоя.

Предлагаемый способ позволяет улучшить параметры селеновых электрофотографических слоев, а именно снижает эффекты усталости и световой памяти в сло- 15 ях, а также увеличивает их тира>кеустойчивость. Это достигается тем, что в процессе напыления увеличивают температуру подло>кки от 20 до 50 С со средней скоростью 0,5 — 0,9 град, мин при изменении дав- 20 ления остаточных газов в пределах от

3 10 з до 2 10 — 4 тор с градиентом 1.10 — —

1.10 — 4 тор/мин и скорости конденсации в пределах 0,2 — 1,5 мкм/мин с градиентом

0,1 — 1 мкм/мин. Получаемые слои имеют 25 следующие усредненные характе,>истики: толщина слоя — 32 мкм, потенциал начальный — 1100 В, время темнового полуспада потенциала — 1 мин, утоляемость -6%, светочувствптельность — 0,06 (лк. сек) . Разброс параметров при определении указанных . :ар актеристпк слоев н» превышает 20%.

Способ получения селсновых электрофотографических слоев путем вакуумного напыления, отличающийся тем, что, с целью снижения эффектов усталости и световой памяти в слоях, а также увеличения их тиражеустойчивостп, в процессе напыления увеличивают температуру подложки от

20 до 50 С со средней скоростью 0,5—

0,9 град/мин при пзмененпп давления остаточных газов в пределах от 3 10 — - "дс

2.10-" тор с градиентом 1 10 — 1.10 — 4 тор, мин и скорости конденсации в пределах 0,2 — 1,5 мкм/мин с градиентом 0,1—

1 мкм/мин.