Патент ссср 402455

 

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Соеетских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Завися,по» от авт. с11идет льства № 325167

М. Кл. В 24b 7/00

Зайвлi llo 09.VI11.1971 (¹ 1689277725-8) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 19.Х,1973. Бюллетень ¹ 42

Дата опубликования описания 26.11.197-1

Государственный камитет

Савета Министрав СССР по делам изобретений и открытий ДК 621 923(088 8) Авторы изобретения Б. А. Олейников, А. А. Карачун, Г. Ф. Скрипко и О. E. Купершмид

Заявитель Украинский научно-исследовательский конструкторско-технологический институт синтетических сверхтвердых материалов и инструмента

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ШЛИФОВАНИЯ

ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к области абразивной обработки плоских поверхностей прецизионных деталей.

По основному авт. св. № 325167 известно устройство для прецизионного шлифования плоских поверхностей деталей, например пластин полупроводников.

Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что его механизм подачи снабжен дополнительным клиновым устройством, 10 выполненным также в виде прямоугольной пластины, устанавливаемой под тем же углом, как и пластина первого клинового устройства, а также снабжен установленными на шпинделе двумя поворотными соосными кулачками, взаимодействующими попеременно с одной из пластин.

На чертеже схематично изображено предлагаемое устройство.

Устройство содержит привод 1, винтовую па- 20 ру 2, суппорт 3, снабженный упорами 4 и двумя пластинами 5 и 6, установленными на стержнях 7. Кулачковое устройство 8, связанное с реверсивным механизмом 9 поворота, установлено на подпружиненном в осевом íà- 2S правлении шпинделе 10 с абразивным кругом

11. На шпиндельной головке закреплен механизм 12 ориентации, который контактирует с планшайбой 13, установленной на подпружиненном столе 14. 30

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

Синхронно перемещающимися упорами 4 пластины 5 и 6 наклоняют на нужный угол, соответствующий величине требуемой подачи.

Кулачковое устройство поджимают к этим пластинам. (В последствии эти операции производят при необходимости изменения величины подачи) .

Затем, опустив стол 14, устанавливают планшайбу 13 с обрабатываемыми деталями и, подав стол вверх, приводят планшайбу в соприкосновение с контактной поверхностью механизма 12 ориентации. Контактную плоскость предварительно устанавливают строго параллельно торцу абразивного круга.

Включив привод 1, перемещают суппорт 3 в плоскости, перпендикулярной направлению подачи. При этом одна из пластин (5 или 6) в зависимости от направления движения суппорта воздействует на один из кулачков кулачкового устройства 8, перемещая шпиндель

10 в направлении подачи.

По окончании обработки реверсивный а1еханизм 9 поворачивает кулачковое устройство, разрывая контакт между-пластиной н кулачком и вводя второй кулачок в контакт со второй пластиной. Привод подачи суппорта реверсируется. Планшайбу с изделиями заменяют, н цикл повторяется снова.

402455

Предмет изобретения

Составитель Л. Чахмахчев

Техред Т. Ускова Корректор О. Тюрина

Редактор Л, Василькова

Заказ 451/1 Изд, № 1003 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4(5

Типография, пр. Сапунова, 2

Таким образом каждый ход суппорта является рабочим, кроме того, обеспечивается мгновенный отвод шлифовал ьного круга от изделия.

Устройство для прецизионного шлифования плоских поверхностей деталей, например пластин полупроводников, по авт. св. № 325167, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности обработки, механизм под1ачи снабжен дополнительным клиновым устройством, выполненным также в виде прямоугольной пластины, устанавливаемой под тем же углом, как и пластина первого клинового устройства, а также снабжен установленными на шпинделе двумя поворотными соосными кулачками, взаимодействующими попеременно

10 с одной из пластин.