Манометрический преобразователь магнетронного типа

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДИПЛЬСУВУ

Союз Советских

Социалистических

Респубпик

{1 1) 5(ИИ16 (61) Дополнительное к авт. свид-ву ¹ (22) Заявлеио26.07. 74 (21) 2049143/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет(43) Опубликовано 25.02.76,Бюллетень ¹ 7 (45) Дата опубликования описания.26.03.7( (51) М, Кл2 б 01 L 21/34

Гасудв рстаеинв{й иамитет

Сааета Министров СССР ав делам изааретений и аткрытий (Д} У, 1 К, ;}1 799({) }33. Я) Ю. Г. Кошко, К). M. Крот, В, Н, Пакулин и Ц. }1. Федоренко (72) Авторы изобретения

Особое конструкторское бюро техниче::к»й к> бернет>1>fti-:- . " .

> (71) Заявитель (54) МАНОМЕТРИЧЕСКИЙ }}РЕОБРЛЗОБ.-"> ГЕ>}}> М 3>ГН} -! } c,>! i! }Ñ>ГО Г}}} }h

i> .с, Изобретение относится к устройствам для измерения вакуума, в частности к магнетронам. и может быть использовано в вакууметрах и системах регулирования давления. 5

Устройства для измерения вакуума, осно ванные на зависимости величины электрического тока самостоятельного разряда в магнитном поле от плотности частиц газа в разрядной камере, широко применяются в промышленности и лабораторной практике.

Достоинством магниторазрядных манометрических преобразователей являются простота и надежность конструкции {в частности благодаря отсутствию накаленного эмитте- {и ра электронов), что обеспечивает им долгий срок службы и позволяет использовать в переносных условиях, отпаянных приборах и при космических исследованиях.

Однако для этих преобразователей харак- g{) терна невысокая точность измерений давления, что связано с нелпнейностью характеристики и непостоянством чувствительности по рабочему диапазону. Преобразователи, имеющие широкий рабочий диапазон, обла- 95 дают малой чувс>г>цтр>1ьия тьк>, и для охвата необход>>> >Огг ди «>>аэо>> а Iloëlápi: ний большей Tc>÷lcñ>o ьк> Il}líõoclèò>oí применять несколько Tll>1of3 .прес браэов ага>лей, каждый из которых, овал;-.>доя в>исокг>й чувствительностью, настроен пв свой узкий диапазон и !

В процессе эксплуата>ill> ие перестраивает} ;ся. г1увствителг>ность маг >иго}>аэрядного ,преобразователя, т. е. наклон его градуировочной характеристики (зависимости разрядного тока От давления газа внутри камеры) определяется только геометрией электродНОй системы и э>>ектрическим режимом Вакууметра и .для данного пре >бразователя в данной точке характеристики является величиной постоянной.

Известен магнитораэрядный преобразователь с холодным катодом. Он содержит цилиндрический анод, катод, выполненный в

BHQc GHcKol3, соединепнык стержнем, и магниг, ссэдаюи{ий поле вдоль o" è, Преобразова > crib llvae l чу встви гельность оКопо 1 -2 а/тор, при высоком питьчо>пем о»>>}>и>ке>>ии 5,5 кв, -i0

}рабочий диaliозон 10 — 10 тор.

5041 15

1, z

Составитель О. }1олев

Редактор E. Кравцова Техред М. Левицкая Корректор С, go;(:.((жа}!

3аказ t}0 Тираж 1(-(29 Подол(с ное

Ц}-}И}}}}}} Государственного комитета Сове а Миниг..тров г ((l! по делам изобретений и открытий

113035, г. Москва, Ж-35, Раушская иаб,, д. }/ "

Фигшал }}III} "}1ате(г("(г, Умт поп ъ (г!горииг(, 1(31

-3 -7 измеряемь(х давлений 10 — 10 тор сп средней чувствительностью 0,2 а/тор. При проведении измерений с двухкамерной конструкцией получена чувствительность до

10 а/тор в диапазоне измерений около од3 ного порядка при изменении давления 10

-7

10 тор, а рабочий диапазон давлений рас-2 -8 ширен в пределах от 6 10 до 10 тор, Таким образом, в данном преобразователе имеется возможность эффективной регулировки рабочих параметров в процессе эксплуатации. Преобразователь конструктивно прост и легко градуируется.

Формула изобретения

1. Манометрический преобразователь магнетронного типа, содержащий полый циЛи(п(рический анод, размешенный по его ocu стержневой катод с дискал(ш и л«и иит,,отличаюшийся тем, "(o, сцелью обеспечения регулиро(.ки чувствительности, повышения точности и расширения рабочего диапазона измерений, сп снабжен механизмом передвижения вдоль оси анода по крайней мере одного из катодных дисков.

2. Преобразовате((ь по и. 1. о т л и—

}p ч а ю шийся тем. что в пел(механизл( передвижения като(зных гн(сков выполнен в виде сильфона сп штоком, связаииыл(с одним из катод((ь(х flit(iKot;,tlpH этом сильфон герметич((о ((}(((к(.еп.(ен к от!.ерстию, }5 выполненнол9 в (. (}!не а(!ел а.

3. }}Р((Г !=. . эрот(1(1:(.(. 1 . о т л и и. !! (i,,t ((! (.: .:(,(э облег(е((ия:(!«(к(: -:;-.. :—;:: .: (. котоU.H(.-te

20 д((с(ги pf,l(!.. (((((-,! с T -;::!:я,!((.,