Патент ссср 417542

 

417542

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 06.1.1972 (№ 1735176/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 28.11.1974. Бюллетень ¹ 8

Дата опубликования описания 22Х11.1974

М. Кл. С 23с 13/08

Н 05k 13 04

Государственный комитет

Совета Министров СССР па делам изооретеннй и открытий

УДE(621.3.049.75:002.2 (088.8) Авторы изобретения А. И. Беляков, Е. В. Дмитриев, Ю. Я. Мелехин и В. Д. Рагузин

Заявитель

МНОГОМЕСТНЪ|Й ДЕРЖАТЕЛЬ ПОДЛОЖЕК

Предлагаемое устройство относится к элементам внутрикамерных устройств установок вакуумного напыления и может быть использовано при производстве пленочных микросхем в электронной, радиоэлектронной и радиотехнической промышленности.

Известна . конструкция держателей подложек, в которой для фиксации подложек на плоскости основания в качестве фиксаторов применены штыри крестообразной формы, имеющие пазы с размещенными в них волнистыми пружинами. Подложки прижимаются к основанию устройства волнистыми пружинами. Подложки прижимаются к основанию устройства волнистыми пружинами через круглые головки штырей, причем каждый гребень пружины упирается в штырь, а каждая впадина — в основание.

Цель изобретения — повышение эффективности фиксации подложек.

Это достигается теы, что основание держателя представляет собой две жестко скрепленные неподвижные рамки, одна из которых имеет опорные выступы для подложек, другая — штифты, а элементы фиксации выполнены в виде подвижной планки с пазами, в которых размещены штифты неподвижной рамки.

На чертеже показан держатель подложек в открытом и закрытом состоянии.

Основание 1 держателя — это жесткая рамка с окнами, количество которых соответству5 ет количеству загружаемых подложек. По углам окон сделаны выступы (фаски) служащие опорными поверхностями при установке подложек. Толщина рамки 2 равна толщине подложек. По углам окон рамки 2 выполнены

10 центрирующне уступы, размеры которых соответствуют размерам подложки. Подвижная планка 3 имеет окна, а в двух диагонально противоположных углах каждого окна — — фиксирующие выступы для удержания подложек

15 в устройстве. По краям подвижной планки сделано четыре овальных отверстия под углом, например, 45 относительно сторон окна.

В этих пазах размещены винты-направляющие 4, которыми также скреплена рамка 2 и

20 основание 1. На подвижной планке 3 установлены винты-упоры 5, необходимые для работы возвратной пружины 6.

Работает устройство следующим образом.

С помощью приспособлений, например ва25 куумных присосок, захватов, или вручную подложки устанавливают в держателе таким образом, что каждая подложка своими углами опирается на поверхности выступов основания 1 и ориентируется относительно окон

30 центрирующими уступами рамки 2. При сов417542

Предмет изобретения

А — А

УзелХ

Составитель Е. Куклина

Редактор И. Грузова Текред A. Камышникова Корректор Т. Добровольская

Заказ 1705/7 Иад. ¹ 1349 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР

Ili> imp.;i

Москва, М(-35, Раугнская наб., д. 4/5

Типпер- фня, Hp. С ItólloBë. 2 мещении подвижной планки 3 с наружными сторонами основания фиксирующие выступы подвижной планки перекрывают два угла каждой подложки и происходит захват подложек в держателе. В зажатом состоянии держатель устанавливают (или механически перемеща1от) в направляющие (на чертеже не показаны) впутрикамерпого устройства для напыления подложек. После проведения цикла напыления держатель снимают с направляющих. Под действием возвратных пружин

6 устройство автоматически раскрывается, ti напыленные подложки снимают с последующей установкой чистых заготовок держателе.

Многоместный держатель подложек, содержащий основание, служащее для размещения

5 подложек, и элементы фиксации, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения эффективности фиксации подложек, основание выполнено в виде двух жестко скрепленных между собой неподвижных рамок, одна из ко10 торых содержит опорные выступы для,подложек, другая — — штифты, а элементы фиксации выполнены в виде подви>кной планки с пазамн, в которых размещены штифты неподвижной рамки.