Устройство для охлаждения гибких подложек

Авторы патента:

витель А. Ю. Абеле , А. Л. Кокле

C23C14/50 - держатели подложек

оо0750

Предмет изооретения

1П1 (Риг.. 1

Составитель Б. Либерман

Тсхред Л, Богданова

Корректоры Л Царькова и О, Усова

Редактор О. Филиппова

Заказ 373/1167 Изд. № 545 Тираж 826 Подписное

ЦН!4ИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушскаи наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» личением угла а уровень охладителя повышается, тем самым увеличивается количество тепла, отводимого от подложки.

Устройство для охлаждения гибких подложек при металлизации в вакууме, состоящее .из вращающегося барабана, в полость которого введена ось с каналами подвода и отвода охладителя, отличаюшееся тем, что, с целью стабилизации температуры перематываемого материала, каналы выполнены в виде трубок с отогнутыми концами, имеющими выход во внутреннюю полость барабана, а ось смонтирована подвижно и снабжена приспособлением для фиксации заданного положения.

Нагреватель подложек для вакуумных установок // 373330

Устройство для транспортировки и смены подложек в вакуумных установках // 370279

Устройство для нанесения ферромагнитных пленок // 365395

Всесоюзну»я пдтеш1^{]..--?«!^!;г^г'о} // 362073

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 351931

Графитовый нагреватель подложек // 347367

Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме // 337448

Аппарат для нанесения покрытий в вакууме на плоские детали // 280160

Устройство для транспортирования и совмещения // 268523

Устройство перемещения подложкодержателя // 2115764

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки

Левитирующее транспортное устройство для перемещения изделий внутри вакуумного объема // 2198241

Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники

Установка для нанесения покрытий // 2213159

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Устройство для нанесения покрытия на бутылки и транспортирующий орган для бутылок // 2259315

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на бутылки и к транспортирующему средству для них

Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали и устройство для его реализации (варианты) // 2450086

Изобретение относится к способу нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности деталей и устройству для его реализации

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках // 2075136

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме

Устройство для нанесения диэлектрических покрытий на внутреннюю поверхность подложек полусферической формы // 2087587

Система охлаждения подложек в вакууме // 2089662

Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме

Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке // 2020190

Устройство для электронно-лучевой обработки изделий // 2023746

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для электронно-лучевых процессов обработки, в том числе полировки, изделий оптики и микроэлектроники