Патент ссср 425987

Авторы патента:

иа

ОПИСА

ИЗОбРЕТЕНИЯ 111 425987

Союз Советс|:их

Сощиалистицеских

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 26,07.71 (21) 1684989/22-1 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 30.04,74. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 11.10.74

° (51) М. Кл. С 23с 13/08

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений (! " и открытий

1 (53) УДК 621.762.2:621.

793 14 (088 8) (72) Авторы изобретения

П. А. Аузанс и Ю. А, Екимов (71) Заявитель

Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий при Госплане Латвийской ССР (54) УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИИ HA ПОРОШКИ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области вакуумной техники, в частности к устройствам для нанесения покрытий на порошки термическим испарением в вакууме.

Известна установка для нанесения покрытий на порошки, состоящая из вакуумной камеры, испарителя, направляющего устройства и питателя. С целью равномерного нанесения покрытия на поверхность частиц порошка питающее и направляющее устройства выполнены в виде ротора с горизонтальной осью вращения, внутри которого укреплены лопатки для перемешивания сыпучих материалов.

Отличительной особенностью предлагаемой установки является то, что ее направляющее устройство выполнено в виде диска-крыльчатки, расположенного соосно с бункером-питателем.

Это позволяет при сохранении качества наносимого покрытия увеличить производительность установки.

Предлагаемая установка для нанесения покрытий на порошки показана на чертеже.

Установка состоит из вакуумной камеры 1, питающего бункера 2, направляющего устройства вЂ” диска-крыльчатки 3, испарителя 4, приемного бункера 5, экрана 6 и привода 7.

Работает установка следующим образом.

Бункер 2 загружается материалом, подлежащим покрытию, и герметизируется. В камере 1 создается высокий вакуум, после чего включается привод 7 и начинает вращаться диск-крыльчатка 3.

Порошок, попадая из бункера 2 на поверхность диска-крыльчатки 3, под действием центробежных сил разбрасывается по горизонтали над испарителем 4. Равномерность покрытия каждой частицы достигается благодаря тому, что частицы совершают также и вращательное движение относительно собственной

10 оси.

При включении или выключении привода 7 диск-крыльчатка 3 меняет скорость вращения; в этом случае, во избежание попадания частиц порошка на испаритель, последний защищен

15 экраном 8. В момент уменьшения скорости вращения диска-крыльчатки 3 происходит автоматическое закрытие приемного бункера 5 и перекрытие испарителя экраном 9.

Установка для нанесения покрытий на порошки, включающая вакуумную камеру, испа2S ритель, питатель и направляющее устройство, отличающаяся тем, что, с целью равномерного нанесения покрытия на порошки и повышения производительности установки, направляющее устройство выполнено в виде ди30 ска-крыльчатки, расположенного соосно с бункером-питателем.

425987

Г»

Составитель Т. Лобова

Редактор Е. 1Цепелева Техрсд Г. Дворина Корректор А. Васильева

Заказ 268974 Изд. № 1532 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Патент 417542 // 417542

Патент 413217 // 413217

Патент 412302 // 412302

Устройство для прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме // 406974

Патент 403201 // 403201

Устройство для катодного распыления // 396451

Патент 390200 // 390200

1вдтентно-текшпег:чет.? // 382772

Устройство для непрерывной л\еталлизации цилиндрических оснований резисторов // 382770

Устройство перемещения подложкодержателя // 2115764

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки

Левитирующее транспортное устройство для перемещения изделий внутри вакуумного объема // 2198241

Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники

Установка для нанесения покрытий // 2213159

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Устройство для нанесения покрытия на бутылки и транспортирующий орган для бутылок // 2259315

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на бутылки и к транспортирующему средству для них

Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали и устройство для его реализации (варианты) // 2450086

Изобретение относится к способу нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности деталей и устройству для его реализации

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках // 2075136

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме

Устройство для нанесения диэлектрических покрытий на внутреннюю поверхность подложек полусферической формы // 2087587

Система охлаждения подложек в вакууме // 2089662

Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме

Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке // 2020190

Устройство для электронно-лучевой обработки изделий // 2023746

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для электронно-лучевых процессов обработки, в том числе полировки, изделий оптики и микроэлектроники