Удк 621.793.14.002. .51(088.8)

 

111 432242

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соввтских

Социалистимвсмих

Респубпин (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 13.04.72 (21) 1774369/22-1 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.06.74. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 05.11.74 (51) М. Кл. С 23с 13/10

Государственный комитет

Совета Министров СССР аа делам изоаретений и открытий (54) УДК 621 793 14 002 . 51 (088. 8) (72) Авторы изобретения

Я. М. Латышев, Г. М. Матвеева и Е. М. Панкратьев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения многослойных фотопроводящих покрытий, например, на поверхностях дисков, заваренных в стеклянные цилиндрические колбы, а также в других устройствах, где требуется обеспечить возвратно-поступательное перемещение раздельных транспортирующих органов, поочередно вводимых в рабочий объем малого диаметра.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее цилиндрическую камеру, штанги, поворотную кассету с продольными каналами для штанг, механизм перемещения кассеты и подъемник штанг. Однако указанное устройство имеет большие габариты и металлоемкость, а также не предотвращает самопроизвольного смещения подвижных элементов при эксплуатации.

Целью изобретения является повышение надежности работы устройства за счет снижения сопротивления трения и исключения самопроизвольного смещения подвижных элементов при эксплуатации. Это достигается тем, что устройство снабжено раздвижной стойкой, на которой посредством, приводного вала укреплены кассета и подъемник штанг, содержащий соединенные посредством гибкого троса, перекинутого через натяжной барабан, ведущий барабан и оборудованный пазовым зацепом ползун, расположенный с возможностью перемещения на стержнях, смонтированных параллельно оси камеры, причем штанги имеют штифты, а кассета изготовлена в виде сектора с поперечным пазом в нижней части и с продольными каналами, расположенными в плоскости кассеты радиально и выполненными с прорезями.

На фиг. 1 показано предлагаемое устрой10 ство в аксонометрии; на фиг. 2 — устройство в разрезе, смонтированное на раздвижной стойке; на фиг. 3 — то же, разрез по A — А на фиг. 2; на фиг. 4 — то же, разрез по Б — Б на фиг. 2; на фиг. 5 — то же, разрез по  — В на

15 фиг. 2.

Устройство состоит пз цилиндрической камеры 1; штанг 2 и 3; поворотной кассеты 4 с продольными каналами 5 для штанг; механизма перемещения б кассеты; подъемника

20 штанг, содержащего соединенные посредством гибкого троса 7, перекинутого через натяжной барабан 8, ведущий барабан 9 и снабженный пазовым зацепом 10 ползун 11, укрепленный с возможностью перемещения на

25 стержнях 12, смонтированных параллельно оси камеры; раздвижной стойки, включающей верхнюю и нижнюю части 13 и 14, скрепленные болтами 15, на которой посредством приводного вала 1б крепится кассета 4 и подъем30 ник штанг.

432242

25

Кассета может свободно вращаться на валу

l6 на подшипниках 17. Стержни 12 одним концом закреплены в нижней части 14 стойки, а их свободные концы зафиксированы от боковых перемещений в гнездах 18.

Штанги 2 и 3 снабжены штифтами 19. Кассета 4 выполнена в виде сектора с поперечным пазом 20 и продольными каналами 5, расположенными в плоскости кассеты радиально и имеющими прорези 21. Каналы 5 закрыты крышками 22.

На внутренней стороне нижней части 14 стойки находятся ограничители 23 с упорными винтами 24, а на кассете 4 со стороны ограничителей и между ними — выступ 25. С валом 16 подъемника при помощи полумуфты

26 сочленен сильфонный ввод вращения 27.

Перемещение кассеты осуществляется рычажным механизмом перемещения с сильфоном.

Вакуумноплотный зажим изделия 28 обеспечивается уплотнительным механизмом 29, расположенным в верхней части вакуумной камеры 1. Вакуумная камера присоединяется к вакуумной системе посредством патрубков 30.

Введение, например, штанги 3 с испаряемым веществом в рабочий объем изделия 28 осуществляют следующим образом.

Вручную при помощи рычажного механизма перемещения 6 кассету 4 устанавлива:от в рабочее положение. При этом кассета свободно поворачивается на подшипниках 17„выступ

26 упирается в один из ограничителей 23, оси подъемной штанги 3 и вакуумной камеры 1 совмещаются, а пазовый зацеп 10 входит в поперечный паз 20 и зацепляется с штифтом

19 на нижнем конце штанги 3, Далее при помощи ввода вращения 27 поворачивают полумуфту 26 на свободном конце вала 16 подъемника. Вместе с валом цоворачивается ведущий барабан 9, приводящий в движение бесконечный гибкий трос 7, который поднимает ползун 11, скользящий по направляющим стержням 12. Пазовый зацеп

10 при этом входит в продольную выемку и, перемещаясь вдоль нее, продвигает по прорези

21 штифт 19, транспортируя по радиальному каналу 5 подъемную штангу 3. Расположение пазового зацепа в продольной выемке на кассете предотвращает также самопроизвольный разворот последней во время рабочего хода штанги 3. После напыления первого слоя операции перемещения штанги и кассеты производят в обратном порядке и повторяют снова для напыления следующего слоя без нару" шения вакуума.

Натяжение троса 7 подъемника обеспечивается смещением верхней части 13 стойки вместе с натяжным барабаном 8, фиксируемой относительно нижней части 14 болтами 15.

Верхние:незакрепленные концы направляющих стержней 12 при этом перемещаются в гнездах 18.

Применение бесконечного гибкого троса 7 для подъема штанг, четырехугольное сечение каналов 5 и цилиндрическая форма штанг 2 и 3, а также малый объем кассеты 4, подвижных элементов и вакуумной камеры 1 гбеспечивают нормальную откачку вакуумного объема и минимальное трение при эксплуатации.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее цилиндрическую камер у, штанги, поворотную кассету с продольными каналами для штанг, механизм перемещения кассеты и подъемник штанг, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью повышения надежности работы устройства за счет снижения сопротивления трения и исключения самопроизвольного смещения подвижных элементов при эксплуатации, оно снабжено раздвижной стойкой, на которой посредством приводного вала укреплены кассета и подъемник штанг, сод ржащей соединенные посредством гибкого троса, перекинутого через натяжной барабан, ведущий барабан и снабженный пазовым зацепом ползун, укрепленный с возможностью перемещения на стержнях, смонтированных параллельно оси камеры, причем штанги снабжены штифтами, а кассета выполнена в виде сектора с поперечным пазом в нижней части и с продольными каналами, расположенными в плоскости кассеты радиально и выполненными с прорезями.

432242

l)(j о >ч 1! 11п i

t> 1 ! >) Руэгг о

> () (.",1

Составигель Л. Анисимова

Техред Л. Акимова

Корректор Е. Миронова

Редактор Н. Корченко

Заказ 2952/7 Изд. № 1734 Тираж 875 Подписнос

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2