Раствор для матирования поверхности кварца

 

f.1. <

О П И С"=:А..H=,—.- È Е

ИЗОБРЕТЕ НИ Я п 4589О4

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) -Заявлено 03.05.72 (21) 1780661/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.01.75. Бюллетень № 4

Дата опубликования описания 04.03,75 (51) М. Кл. Н 01 7,00

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.382(088.8) ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Б. Е. Раснецова, Н. Т. Васина и Т. Я. Колмакова (71) Заявитель (54) РАСТВОР ДЛЯ МАТИРОВАНИЯ

ПОВЕРХНОСТИ КВАРЦА

Изобретение относится к веществам, используемым в технологии изготовления приборов электронной техники, а именно пленочных фотоэлектрических лучеприем ников и других изделий с кварцевыми подложками. 5

Известен раствор для матирования кварца, состоящий из смеси насыщенных растворов фторидов в азотной кислоте. При обработке известным раствором получают стабильно матированную по всему полю поверхность квар- 10 ца с определенным классом чистоты (8 — 10).

Полученная при этом развитая поверхность обеспечивает увеличение прочности сцепления с подложкой контактного металлического покрытия и в основном удовлетворяет специфи- 15 ческим требованиям, предъявляемым к качеству фотоэлектрических лучеприемников. Однако относительная шероховатость (до

0,54 мкм) поверхности и ее неоднородность способствуют ухудшению электрических пара- 20 метров тонкопленочных контактов.

Предлагаемый раствор позволяет обеспечить получение кварцевого микрорельефа разнообразной топологии с четким и ровным краем на границе матированных и нематиро- 25 ванных участков, получение однородной матированной поверхности кварца с повышенным классом чистоты (10 — 12), увеличение выхода годных изделий по фотоэлектрическим itapaметрам, 30

Это достигается использованием смеси насыщенных фтористого калия и фтористого аммония в соляной кислоте, поставляющей ионы Н+, необходимые для реакции с кварцем, и взятой в определенном соотношении.

Предлагаемый раствор, не обладая разрушительным действием на фоторезистор, позволяет получить штрихи до 0,03 мм и обеспечивает высокую однородность матированной поверхности.

Раствор для матирования приготовляют следующим образом.

Концентрированную (35 — 37%-ную) соляную кислоту разбавляют водой в два раза и заливают в два сосуда (фторопластовые стаканы) по 100 — 120 мл. Небольшими порциями при помешивании в один сосуд добавляют

90 — 100 г фтористого калия и в другой 180—

200 r фтористого аммония, далее содержимое обоих сосудов сливают, получая насыщенный раствор фторидов с большим количеством извести, равномерно распределенной по объему жидкости.

После выстаивания в течение 1 — 1,5 час приготовленный раствор готов к работе.

Порядок операции при технологическом процессе получения матированного кварцевого микрорельефа с использованием предлагаемого раствора следующий;

458904

Предмет изобретения

Составитель О. Федькина

Корректор Т, Хворова

Техред Г. Дворина

Редактор И. Орлова

Заказ 513j9 Изд. № 1063 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 нанесение копировального фоторезистивного слоя; первая термообработка копировального слоя; экспонирование копировального слоя; проявление; вторая термообработка; химическое матирование (травление) не защищенных фоторезистом участков кварцевой поверхности; промывка и сушка; удаление фоторезистора, промывка.

Пластину кварца с защитным фоторезистивным рельефом определенной конфигурации погружают в раствор для матирования и выдерживают в течение 20 — 30 мин до образования равномерной матированной поверхности незащищенных участков.

Для создания защитного фоторезистивного рельефа могут быть использованы различные позитивные фоторезисты (новолачные, обладающие высокой кислотостойкостью, и резольные, имеющие меньшую кислотостойкость, но лучшую адгезию к поверхности кварца).

Раствор для матирования поверхности квар10 ца в смеси насыщенных кислотных растворов фторида калия и фторида аммония, о т л и ч аю щи и с я тем, что, с целью осуществления прецизионного избирательного матирования, в него введена 36 — 37 /в-ная соляная кислота, а

15 компоненты взяты в следующем соотношении, r:

Соляная кислота 100 — 117

Фтористь1й аммоний 180 — 200

1Фтористый калий 90 — 100

20 Вода 100 †1,