Способ изготовления вакуумплотного электрического ввода
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (1 1! 545OI2
Соизэ Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 08.02.74 (21) 1993941 07 (51) Л1. Кл. - Н 01В 19,!00 с присоединением заявки М
Государственный комитет
Совета Министров СССР по аелам изобретений и открытий (23) Приоритет
Опубликовано 30.01.77. Бюллетень М 4
Дата опубликования OB!Ical«in 11.02.77 (53) УДК 621.315(088.8) 172) Авторы изобретения
В. П. Выскребцев, В. H. Беликов и А. П. Beëoóñåíêo 71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ
ВАКУУМПЛОТНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ВВОДА
ИзобретeIIHe относится к области электротехники, в частности к изготовленшо вакуумплотных вводов проводников тока в приборы и устройства, работающие в условиях глубокого вакуума или в агрессивны.; средах.
Известны способы изготовления герметичных вводов, состоящих из токоведущих элементов, керамического изолятора и металлической арматуры, включающие сварку ввода и скрепления указанных деталей, при которых гермети шость соединения деталей достигается использованием прокладок из упругих материалов (1). Недостатками этих способов являются заметное газовыделение из материала прокладок в вакууме и значительные габариты вводов.
Известны также способы изготовления вакуумплотных вводов, состоящих из токоведущего элемента, керамического изолятора и металлической к!анжеты, при которых в керамический изолятор, имеющий необходимое количество отверстий, вставляют токопроводяцие элементы, выполненные в виде металлп еских стержней. Для герметизации узла производят пайку мест ввода проводников в изолятор глазурью, керамическим илп металлическим припоем, после чего изолятор с проводниками тока вакуумп70TIIQ соединяют с металлической арматурой (2). Таким образом, получают вакуумплотный ввод проводников тока, который вваривают и111 впаивают в различные приборы и аппараты.
Недостатком эт.1х способов является невысокая наде:кность гермоввода Iipll paooTe в режиме частых теплосмен с значительным перепадом температур. Это объясняется тем, ITo керамические и металлические детали имеют различное тепловое расширение в зависимости от температуры. При термоциклировании узла в керамике возникают значительные термические напряжения, приводящие е к растр eciiIIB a II I I;o 1 .ер а i» I Ial, HOTep e eio вакуумной п IoTHocTII 11 разгерметизации устройства в целом. Кроме того, известный ciloсоб нетехнолоп!чсн особенно в случае нзгоТОВЛЕНПЯ МНОГОШТЫРЬКОВЫХ ГЕРЗ10ЬВОДОВ.
Целью изобретения является упрощение способа и повышения эксплуатационной надежности пзготав I IIBaeiioi o ввода.
20 Указанная цель достигается благодаря использованию изолятора, спеченного до плотности 70 — 95",(! от теоретп !еской, а в качестве токоведущего элсмснта — керамического стержня со слоями проводящего материала, 25 спеченного до плотности на 2 — 8 " с превышающей плотность изолятора. Окон нательное спекание изолятора и стержня производят после сборки изолятора со стержнями.
Окончательное elle!;a! lie производят по ре30 жимам обжига, применяе.1ым для использо545012
Формула изобретения
Составитель К. Фотипа
Корректор Л. Орлова
Текред E. Петрова
Редактор В. Левитов
Заказ 112,/10 Изд. ¹ (67 Тираж 1019 Подписное
ЦНИИПИ Гост дырстве;шого ко><итеты Сов< г(< М<шистров СССР
lIo деды>и изобретений II о <крытий
113035, Москвы, Ж-35, 1 ыушскаи IIB<>,, д 4 5
Тииогры<1>и><, пр C;:,птилвы, 2
Вания (>(атериалов. При этом живается Оольше, неже, ilt стер5кни. За с tpT р23510и Qc231(II деталеl! Имеlощисся зазоры между иЗОлятороз(и с ерзкнями по;(ностыо выбираются и изолятор гермсти шо соедпняСТСЯ CÎ СТЕР5(Н5(МИ.
В случае испольЗОВ2ни51 в ка Iествс токоп1>0ВОД51ЩИХ СЛОЕВ МЕТЯЛЛИЗЯЦИОННОй ПЯСТЫ IIPOисходят также и диффузионные процессы, приводящие к Оор230Вани(0 хими (еской сВ513и между материалом токопроводящих слоев и материалов изолятора и стержня. Это увеличивает надедкность герметичного ввода проводников тока через изолятор.
11олученный ввод впаивают в металлическую ман5кету, после чего готовый узел может быть вакуумплотно соединен <„ металлической арматурой прибора или аппарата.
Ниже приводится пример выполнения способа. ()тформовапныс диски из материала, состоящего из 99,7 вес. % Л10 и 0,3 все. ", о МО, диаметром 40 и высотой 10 мм, имеющие по
5 отверстий диаметром 4,5 мм, расположенных на расстоянии не менее 5 мм друг от друга, lip<:дварительно спекаются до плотности 85% от теоретической. Стержни из того же материала, а плотностью 92 — 93% OT TeopeTI«Iecкои, длиной 20 и диаметром 4,3 мм со слоем токопроводящего материала вставляются в отверстия изолятора, после чего производится окончательное спекание деталей при 1900 C в течение 0,5 час. В качестве материала токопроводящих слоев используется металлпзацпонная пата, содержащая 94,о вольфрама и
6% окиси иттрия, из которой при температуре спеканий образуется плотно сцепленный слой гокоироводящего вольфрама.
Использование описанного спосооа пзгогов. лсtil(51 вакуу((плотного ввода проводн((ков тока Ilo сравнению с существуto(ll(D(ll об>сс>1 "IHнаст получение следующих преимуществ. повыпlсHис тс1)мос 1 Ойкости вводоВ II, как слсдст13iIL, < ВСС!ИЧСIII(P НЯДСЖНОСТИ j 3.ЗОВ B УС:!ОВИ51Х
;(лите Ihl(b(x термических нагрузок; существенНОС ПОВЫШСНИС ТСХПОЛОГИ>И(ОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ узлов.
Способ изготовления вакуумплотного электрического ввода, состоящего пз токовсдущего элемента, керамического изолятора и меI 2 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1. Залесский !. М. и Бачурин Н, 1Л. Изоляция аппаратов высокого напряжения. М.-,1., 0> изд-во ГЭИ, 1961, с. 169- — 171. 2, Г1рссов В. Л. и др. Керамика и ее спаи с металлом в технике. М., Атомиздат, 1969, с, 203.
