Кассета для полупроводниковых приборов

 

(l i1 546044

Союз Советспц

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 16.06,75 (21) 2144383/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 05.02.77. Бюллетень № 5

Дата опубликования описания 23.05.77 (51) M Кл.з Н 01L 21/68

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 621.382(088.8) (72) Авторы изобретения

А. А. Гавриков, П. К. Воробьевский и В. H. Осенков (71) Заявитель (54) КАССЕТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЪ|Х ПРИБОРОВ

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов, например транзисторов.

Известно устройство, используемое в производстве полупроводниковых приборов для их загрузки и выгрузки на рабочие позиции и межоперационного транспортирования, выполненное в виде пеналов различной формы (1).

Наиболее близким техническим решением к предложенному является кассета с многорядной загрузкой приборов (2). Кассета содержит корпус с ориентирующими ребрами и направляющими пазами и предназначена для использования в сборочном оборудовании полупроводниковых приборов, в частности маломощных транзисторов. Недостатками кассеты являются большие габаритные размеры и сложность разгрузки и загрузки каждого ряда приборов при шаговом перемещении кассеты.

Цель изобретения — уменьшение габаритов кассеты.

Цель достигается тем, что в кассете, корпус которой выполнен с ориентирующими ребрами и направляющими пазами, ориентирующие ребра для двух смежных рядов приборов соединены перемычкой, а направляющие пазы расположены по обе стороны этой перемычки.

На фиг. 1 показана предложенная кассета, поперечный разрез; на фиг. 2 — общий вид кассеты, загруженной приборами.

Кассета содержит корпус 1, ориентирующие ребра 2, 3, соединенные перемычкой 4, направляющие пазы со стенками 5, 6, расположенные по обе стороны от перемычки 4 и перекрыва5 ющие друг друга. Выгрузку приборов 7 осуществляют при вертикальном расположении корпуса, загрузку — как в вертикальном, так и в горизонтальном положении. После выгрузки или загрузки одного ряда приборов кассе10 ту поворачивают на 180 вокруг своей оси и осуществляют выгрузку или загрузку ориентированных приборов смежного ряда. Кассета предложенной конструкции может быть выполнена двухрядной, четырехрядной и т. д.

15 Использование кассеты в частности, в сборочном оборудовании мощных транзисторов позволяет упростить загрузочно-разгрузочные работы, так как в отличие от известной кассеты, в которой указанные работы осуществля20 ются при шаговом перемещении последней, предложенная кассета поворачивается на 180 вокруг своей осн при загрузке нли выгрузке каждого ряда приборов. Удобным является использование предложенной кассеты при ви25 зуальном контроле полупроводниковых приборов.

Конструкция кассеты обеспечивает уменьшение ее габаритных размеров за счет того, что ориентирующие ребра двух смежных ря30 дов являются одновременно и несущими.

546044

Формула изобретения иг 7

Составитель Ю. Цветков

Редактор Т. Орловская Техред Н. Сметанина Корректор И, Позняковская

Заказ 1074/4 Изд. № 30 Тираж 1019 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Кассета для полупроводниковых приборов, содержащая корпус с ориентирующими ребрами и направляющими пазами, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью уменьшения габаритов, в ней ориентирующие ребра для двух смежных рядов приборов соединены перемычкой, а направляющие пазы расположены по обе стороны от нее и перекрывают друг друга.

Источники информации, принятые во вни5 мание при экспертизе:

1. Лвторское свидетельство СССР М 3917бЗ, кл. Н 05R, 13/02, 1971.

11. Лвторское свидетельство СССР М 272991, кл. В б5с1 25/10, 19б8 (прототип).

Кассета для полупроводниковых приборов Кассета для полупроводниковых приборов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки при изготовлении полупроводниковый приборов

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме
Наверх