Камера объектов для электронно-зондо-вого устройства

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ. СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное и авт. саид;ву- (22) Заявлено 14.12. 77 (21) 2554677/18-25 (51)М. Кл, Н 01 37/20

С ПРИСОЕДИНЕНИЕМ ЗаЯВКИ Ио— (23) Приоритет—

Государственный комитет

С ССР по делам изобретений и открытий

Опубликоваио150281. Ьюллетеиь Мо 6 (53) УДК 539 ° 25 (088.8) Дата опубликования описания 150281 (72) Авторы изобретения

Б. Н. Васичев, Ю.С. Смирнов и В.И. Калмык у @г.;. % " "".УРА,.

", .. "- . .,; Гр

4 (71) Заявитель (54) КАМЕРА ОБЪЕКТОВ ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВОГО УСТРОЙСТВА

Изобретение относится к электронно-зондовым устройствам, в частности к камерам для исследования объектов в растровом электронном микроскопе.

Известна камера объектов электронного микроскопа, в которой детектор рассеянных и вторичных электронов перемещается механизмом в соответст- . вии с движением стола объектов, что позволяет повысить точность получаемой информации за счет увеличения сигнала, принимаемого детектором $1) i

Недостатком камеры является слож- 15 ность ее конструкции и невозможность использования необходимого количества детекторов..

Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемой является ка- 20 мера объектов электронно-зондавого устройства, содержащая стол объектов и закрепленные в корпусе камеры приемные элементы спектрометрических детекторов рентгеновского и катодолюми- 25 несцентного излучения. В устройстве многомерная информация о взаимодействии электронного зонда с выбранной областью объекта регистрируется набо» ром детекторов при последовательной ЗО наклоне объекта в различных направлениях j2J

Недостатком данного устройства является неточность получаемой информации о различных свойствах исследуемой микрозоны обьекта, ввиду погрешности в установке ее относительно электронного зонда.

Цель изобретения — повышение точности нолучаемой информации.

Цель достигается тем, что в камере объектов электронно-зондового устройства, содержащей стол объектов и закрепленные в корпусе камеры приемные элементы спектрометрических детекторов рентгеновского и катодолюминесцентного излучения, корпус камеры выполнен составным с возможностью вращения одной части камеры относительно другой вокруг оси электровного зонда, причем приемные элементы детекторов и стол объектов размещены в: разных частях корпуса камеры объектов.

На чертеже. изображена предлагаемая камера, осевое сечение.:

Корпус камеры объектов для электронно-зондоного устройства состоит из вращающейся 1 и неподвижной 2 частей, соединенных между собой с по805445 мощью вакуумных уплотнений 3, которые представляют собой резиновые с фторопластовым покрытием прокладки.

Между прокладками образована откачиваемая полость 4, расположенная в неподвижной части 2 корпуса камеры. B кольцевых канавках оснований двух частей корпуса расположены подшипники 5 качения, обеспечивающие плавность вращения подвижной части 1 корпуса относительно оси электронного зонда

6, сформированного электронно-оптической системой 7. Во вращающейся части 1 корпуса камеры расположены приемные элементы спектрометрических детекторов 8 рентгеновского или катодолюминесцентного излучения, герме- 15 тично встроенные в окна корпуса. В неподвижной части 2 корпуса расположены стол 9 объектов и другие детекторы 10, например вторичных электронов. В дне неподвижной части камеры 39 расположен патрубок 11, соединенный с вакуумной системой установки.

Устройство работает следующим образом.

Исследуемый объект помещают на стол объектов 9 в неподвижной части

2 корпуса камеры. При воздействии на объект электронного зонда возникают известные физические явления, характеризующие свойства исследуемой микрозоны объекта. Точность получаемой информации об этих свойствах повышается за счет обеспечения возможности сопоставления данных от разнотипных детекторов о различных процессах и явлениях в исследуемой области объекта путем сравнения интенсивностеи их угловых распределении при пос— ледовательном расположении приемных элементов детекторов в заданной плоскости. Выполнение корпуса камеры сос- 40 тавным дает возможность использования поворотных спектрометрических детекторов, имеющих элементы и узлы, которые по габаритам и функциональному назначению не могут быть расположены внутри объема камеры обьектов. При этом сохраняется взаимное расположение электронного зонда и объекта, что исключает погрешности перемещения объекта. Кроме того процесс регистрации информации упрощается, так как упрощается процесс установки объекта относительно детекторов.

Предлагаемая камера объектов может быть использована в различных электронно-зондовых устройствах при исследовании физических свойств материалов и веществ, а также проведении технологических операций.

Формула из обретения

Камера объектов электронно-зондового устройства, содержащая стол объектов и закрепленные в корпусе камеры приемные элементы спектрометрических детекторов рентгеновского и катодолюминесцентного излучения, о т л ич а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения точности получаемой информации, корпус камеры объектов выполнен составным с возможностью вращения одной части камеры относительно другой вокруг оси электронного зонда, причем приемные элементы детекторов и стол объектов размещены в разных частях корпуса камеры объектов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент CUlA М 3629579;кл.250-495, опублик. 1971.

2..Растровые электронные микроскопы высокого разрешения. Проспект фирмы "Ляйтц", ФРГ; 1977, с. 14 (прототип).

805445

Составитель В. Гаврюшин

Редактор M. Келемеш Техред E.Ãàâðèëåøêo Корректор В. Синицкая

Заказ 10925/78 Тираж 795 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4