Предметный столик

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

ji i! 645222

Союз Советски

Сониалистическик

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.04.76 (21) 2351643/18-25 (51) К. Кл.>

Н 01J 37/20 с присоединением заявки № (43) Опубликовано 30.01.79. Бюллетень № 4 (45) Дата опубликования описания 30.01.79 (53) УДК 621.385.833 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. Н. Шорников и A. М. Карташов (71) Заявитель (54) ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛИК

Государственный комитет (23) Приоритет

Изобретение относится к области элек- троннолучевых приборов, в частности, к устройствам для управления положением объектов в растровом электронном микроскопе. 5

Известны предметные столики для электронных микроскопов, в которых перемещение объекта в двух взаимно перпендикулярных направлениях в плоскости, перпендикулярной к электронному пучку, ооеспечи- 10 вается подпружиненными прямолинейными направляющими с винтовыми приводами, а в направлении вдоль электронного пучка— винтовыми приводами с подпружиненными опорами (1).

Недостатком известного устройства является смещение исследуемой точки из-под электронного пучка при наклоне и вращении объекта.

Наиболее близким к изобретению техническим решением является предметный столик для растрового электронного микроскопа, содержащий поворотную скобу, диск с приводами и постоянной точкой пересечения его осей вращения, направляющие с приводами (2).

В данном устройстве диск с исследуемым объектом подвешен на трех карданных осях, которые вместе с осью вращения наклоняемой скобы и осью вращения объек- 30

2 та пересекаются в исследуемой точке объекта.

Перемещение объекта в плоскости, перпендикулярной к электронному пучку, осуществляется с помощью направляющих, приводы которых расположены на вращающейся с объектом части столика.

Таким образом обеспечивается постоянное положение исследуемой точки под электронным пучком при вращении и наклоне объекта вокруг двух осей, пересекающихся в этой точке.

Известное устройство имеет следующие недостатки, Ось вращения исследуемого объекта, проходящая через точку пересечения карданных осей, не совпадает с карданной осью вращения, на которой закреплен объект.

Это обусловливает применение механизма для установки поверхности объекта перпендикулярно к оси его вращения.

Для обеспечения нормальной работы устройства необходимо проводить большое количество юстировок для точного пересечения всех пяти осей механизма в одной точке. Сложность конструкции связана с управлением снаружи приводами, расположенными в вакууме и вращающимися вместе с частью столика.

У"

645222

25 а0 з5

3

Цель изобретения — упрощение конструкции.

Указанная цель достигается тем, что приводы направляющих снабжейы составйыми толкателями, установленными с возможностью возвратно-поступательного движения вдоль оси диска, при этом одна из частей толкателей установлена на скобе, а другая — с возможностью вращения совместно с диском и выполнена в виде подпружиненной втулки с кулачком, контактирую. щим с направляющей.

На фиг. 1 изображен предлагаемый предметный столик; на фиг. 2 — сечение А — А на фиг, 1.

На поворотной скобе 1 установлен вращающийся диск (зубчатое колесо) 2, оси вращения которых пересекаются в точке 3.

Над диском в двух параллельных плоскостях размещены пружины 4, две взаимно перпендикулярные направляющие 5 и 6, одна из которых установлена на диске 2.

На направляющих закреплены свободно вращающиеся ролики 7. На верхней направляющей закреплен держатель 8, в который устанавливается исследуемый предмет 9. Опорная плоскость 10 для установки предмета 9 в держателе проходит через точку пересечения 3 и перпендикулярна к оси вращения диска.

Для вращения диска 2 служит привод 11, закрепленный на скобе.

Для перемещения направляющих служит механизм, который состоит из расположенных на скобе концентричных оси вращения диска винтовых приводов 12 и 13, установленных на диске и подпружиненных пружинами 14 и 15, стержня 16 и втулки 17 с кулачками 18 и 19, установленных с возможностью вращения между винтовыми приводами, стержнем и втулкой шариков 20.

Электронный луч 21 направляется на точку 3 пересечения путем бокового перемещения источника электронного луча или с помощью электрических отклоняющих катушек.

При поступательном движении вверх вдоль оси вращения диска 2 винтовые приводы 12 и 13 через шарики 20 давят на подпружиненные пружинами 14 и 15 стержень и втулку 17 и перемещают их в том же направлении. Стержень и втулка при этом посредством кулачков 18 и 19 через ролики 7 перемещают прямолинейные на4 правляющие 5 и 6 в двух взаимно перпендикулярных направлениях. Вместе с направляющими перемещается исследуемый предмет 9 в плоскости, проходящей через точку 3 пересечения и перпендикулярной к оси вращения диска.

При поступательном движении винтовых приводов 12 и 13 вниз вдоль оси вращения диска 2 к ним поднимаются пружинами 14 и 15 через шарики 20 стержень 16 и втулка

17. К кулачкам 18 и 19, установленным на стержне и втулке, пружинами 4 поджимаются прямолинейные направляющие 5 и 6, которые будут перемещаться в обратном направлении.

С вращением диска 2 приводом 11 вместе с ним вращаются направляющие 5 и 6, стержень 16 и втулка 17. Стержень и втулка проскальзывают по шарикам 20 относительно винтовых приводов 12 и 13, и положение направляющих и исследуемого предмета не меняется относительно диска. Исследуемая точка предмета вращается вокруг электронного луча 21 и не выходит за его пределы.

Таким образом, в описанном устройстве обеспечивается возможность одновременного перемещения объекта в двух взаимно перпендикулярных направлениях в плоскости, перпендикулярной к электронному пучку, и наклон или азимутальное вращение объекта в диапазоне 360 .

Формула изобретения

Предметный столик, содержащий поворотную скобу, диск с приводами и постоянной точкой пересечения его осей вращения, направляющие с приводами, отличаю шийся тем, что, с целью упрощения конструкции, приводы направляющиz в нем снабжены составными толкателями, установленными с возможностью возвратно-поступательного движения вдоль оси диска, при этом одна из частей толкателей установлена на скобе, а другая — с возможностью вращения совместно с диском и выполнена в виде подпружиненной втулки с кулачком, контактирующим с направляющей.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 422055, кл. Н 01J 37/26, 1972, 2. Патент ФРГ № 1226228, кл. 21g 37/10, 1967.

645222

A

Pea.1 î з

Pgr, g

Составитель В. Вдовин

Редактор Н. Коляда

Техред А, Камышникова Корректор И. Поздняковская

Заказ 2626/13 Изд. № 140 Тираж 922 Подписное

НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2