Камера образцов для электроннозондового микроанализатора

 

ОЛ ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Респубттик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 11.01.77 (21) 24422д4 18-2б с присоединением заявки № (51} А1. Кл

H 01 .Г 37/20 (23) Приоритет

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР аа делан изобретений и открытий (53) УДК 621 385.833 (088.8) (43) Опубликовано 15,11.78 Янэллетень N 42 (45) Дата опубликования описания 20.11.78 (72) Авторы изобретения А. Ф, Панов, В. И. Морозов, Н. В. Денисов и К. А. Макаров (71) Заявитель (54) КАМЕРА ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННΠ— ЗОНДОВОГО

МИКРО АНАЛИЗАТОРА. Изобретение относится к электронно-зондовым микроанализаторам.

Известна камера образцов для электроннозондовых микроанализатора, которая содержит столик образца и эталонов и механизмы его перемещения. Для повышения оперативности анализа столик снабжен двумя каретками, одна из которых предназначена для образца, другая для эталонов, каретка с образцом перемещается точным винтовым механизмом, каретка. с эталонами толкателем. Однако быстрое перемещение осуществляется только по одной координате. По второй координате транспортное перемещение осуществляет механизм прецизионного перемещения. В вакуумном объеме камеры размещена дополнительная каретка с эталонами и ряд дополнительных механизмов, обеспечивающих взаимосвязь и нужную последовательность движения кареток (11.

Усложнение механизмов, находящихся в го вакууме, снижает надежность работы, замедляет и затрудняет процесс получения высокого вакуума, усложняет технолоппо изготовления, удорожает конструкцию.

Известны камеры образцов для электроннозондовых микроенализаторов, содержащие вакуумный корпус, столик для образца и эталонов, механизмы прецизионного перемещения столика по двум координатам (винтовые) и шкалы перемещения столика по каждой из координат (2).

Недостатком известных камер является медленный переход от образца к эталонам и обратно, что снижает оперативность анализа.

Цель изобретения заключается в повьциении оперативности анализа.

Цель достигается тем, что в предлагаемой камере механизмы прецизионного перемещения столика установлены в транспортных механизмах, например, на ползунах реечных механизмов перемещения, а каждая из шкал перемещения столика выполнена в виде двух координатных сеток, соответственно, для образца и эталонов, нанесенных на планку,:кестко скрепленную с подвижным элементол1 соответствующего механизма прецизионного перемещения столика, например, с винтом одного из винто. вых механизмов.

Кроме того, корпус камеры снабжен упорами для подвижных элементов транспорт633095 4 анализа и большей достоверности результатов, обусловленной жесткой фиксацией анализируемой точки образца.

Фор ула изобретения

1, Камера образцов для электронно-зондового микроанализатора, содержащая вакуумный корпус, столик для образца и эталонов, механизмы прецизионного перемещения столика в корпусе по двум координатам, например винтовые и шкалы перемещения столика по каждой из координат, отличающаяся тем, что, с целью повышения оперативности анализа, механизмы прецизионного перемещения столика установлены в транспортных механизмах, например, на ползунах реечных механизмов перемещения, а каждая шкала перемещения столика выполнена в виде двух координатных сеток, соответственно, для образца и эталонов, нанесенных на планку, жестко скрепленную с подвижным элементом соответствующего механизма прецизионного перемещения столика, например с винтом одного из винтовых механизмов.

2. Камера по п. 1, отличающаяся тем, что ее корпус снабжен упорами для подвижных элементов транспортных механизмов, например ползунов реечных механизмов, и фиксаторами указанных элементов, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР Р 397827, G 01 М 23/22, 1973.

2, Проспект фирмы " д ", 3) А -5, Р 682, 113-35 Тр, 7, 9.. ных механизмов, например, ползунов реечных механизмов, и фиксаторами указанных элементов.

Сущность изобретения поясняет чертеж.

Камера образцов содержит герметичный высоковакуумный корпус 1, в котором расположен столик 2 с образцом 3 и эталонами

4. Столик снабжен направляющими 5 и 6. Два идентичных привода перемещения 7 и 8 расположены вне вакуума, Привод имеет винт 9, ® проходящий в вакуумный объем через уплоткние 10 и гайку 11, составляющую одно целое с барабаном 12. Гайка 11 вращается в подшипниках 13 ползуна 14. Ползун 14 надет на цилиндрический корпус 15 и своим торцом прижат к упору 16 с помощью фиксатора 17.

Ползун 14 имеет зубчатую рейку 18, находящуюся в зацеплении с трибкой 19, Винт 9 удерживается от вращения шпонкой 20, несущей на себе планку со шкалой 21 коорди-, нат эталонов и шкалой 22 координат образца.

Камера работает следующим образом.

При вращении барабана 12 винт 9 двигается поступательно, толкая столик 2, при этом шкала 22 перемещается относительно торца барабана 12, давая отсчет положения образца.

Тяга 23 отводит фиксатор 17, после чего поворот трибки 19 перемещает ползун 14 с гайкой

ll и винтом 9, приводя в движение столик 2, при этом шкала 21 перемещается относительно корпуса 1, давая отсчет положения эталона.

Основной эффект от применения изобретения получается за счет сокращения времени

ЦИИИПИ Заказ 6563/43

Тираж 918 Подписное

Филиал ППП "Патент" г. Ужгород, ул. Проектная,4