Вакуумный питатель

 

(11) 518S63

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05.05.74 (21) 2021199/25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.10.77. Бюллетень № 40 (45) Дата опубликования описания 21.10.77 (51) М. Кл а Н 01L 21/68

Государственный комитет

Совета Министров СССР ро делам изобретений и открытий (53) УДК 621.382(088.8) (72) Авторы изобретения

И. П. Янович и Л. P. Крошинский (71) Заявитель (54) ВА КУУМ Н Ъ| и П И ТАТ ЕЛ Ъ

Изобретение относится к электронной технике, а именно к устройствам автоматизированной групповой загрузки деталей в кассетыспутники, например, при сборке полупроводниковых приборов в керамическом корпусе.

Известно устройство, в котором используются вакуумные питатели, выполненные в виде перемещающегося корпуса, несущего подпружиненные в нем вакуумные присоски (1).

К недостаткам известного питателя можно отнести то, что при неточном базировании деталей в загрузочной кассете и неточной установке приемной кассеты он не компенсирует смещения загружаемой детали и тем самым не обеспечивает надежной загрузки.

Наиболее близким к изобретению является вакуумный питатель, содержащий самоустанавливающиеся прижимы, выполненные ввиде столиков с центральными отверстиями, контактирующими с вакуумными присосками, установленными в корпусе с возможностью перемещения в вертикальном направлении (2).

Применение самоустанавливающегося прижима компенсирует отклонение поверхности детали от горизонтальной плоскости, однако данное устройство не сможет обеспечить достаточно надежной групповой загрузки деталей прп их смещении в загрузочной кассете и неточной установке приемкой кассеты.

Целью изобретения является повышение надежностн групповой загрузки деталей без повышения точностных требований к устройствам загрузки.

Поставленная цель достигается тем, что столики самоустанавливающихся прижимов расположены на двух параллельно натянутых проволоках, закрепленных на повортных рычагах, установленных на корпусе и упруго отжатых от него.

1о На фиг. 1 схематически показан вакуумный питатель, вид спереди; на фнг. 2 — сечение по А — А на фиг. 1; на фпг. 3 — сечение по

Б — Б па фиг. 1.

В корпусе 1 вакуумного питателя установ15 лены вакуумные присоски 2 и пружины 3. В

It1!TBTe."ie имеются также cTOлнкп 4 с ловителями 5 и центральными отверстиями б, гибкие направляющие 7 (напрнмер две параллельно натянутые проволоки), закрепленные на ры0 ".агах 8, установленных на осях 9 корпуса 1 и подпружиненных пружинами 10.

Работа вакуумного питателя заключается в следуюн.ем.

Для захвата деталей, уложенных рядамн в

25 загрузочной кассете (число деталей в ряду соответствует количеству вакуумных захватов), вакуумный пптатель перемещают до соприкосновения поверхностей 11 столиков 4 с поверхкостью деталей. При этом ловители 5 взаимо30 действуют с центрпрующпми отверстиями за

578663

Формула изобретения.4-Д

Халуп

Щ/е, Р

Составитель Ю. Цветков

Корректор Н. Аук

Техред А. Камышникова

Редактор Н. Коляда

Заказ 2796/19 Изд. № 841 Тираж 995 Подписное

11ПО Государственного комитета Совета Министров СССР

TIo делам изобретений и открытий

)13035, Москва, Я(-35, Раушская наб., !r,. 4/5

Тииографпя, ир. СапуlloBH, 2 грузочной кассеты. Столики 4, поворачиваясь по сфере 12 относительно вакуумных присосок 2 самоустанавливаются относительно детали, обеспечивая базирование и надежный захват с помощью вакуума. После этого вакуумный питатель перемещают Ild приемную кассету (кассету-спутник), Прп опускании вакуумного питателя на кассету-спутник ловители 5, взаимодействуя с цснтрирующими отверстиями кассеты, поворачивают столики 4 по сфере 12 и укладывают детали в базирующие гнезда кассеты-спутника, отключают вакуум и цикл для загрузки следующей кассеты-спутника повторяется.

Применение упругих направляющих обеспечивает силовое замыкание самоустанавливающихся прижимов в виде вакуумных присосок

2 и столиков 4 и ориентацию столиков, по расположению загружаемых деталей в гнездах кассеты в исходном положении, а также позволяет компенсировать погрешность расположения деталей (разворот по углу, разновысотность, неплоскостность и др.) на позициях захвата и загрузки за счет упругих деформа4 ций направляющих 7 и пружин 10 при самоустанавливании столиков 4.

ВакуумныЙ |iiтатель, содержащий самоустанавливающиеся прижимы, выполненные в ниде столиков с центральными отверстиями, контактирующими с вакуумными присосками, 10 установленными в корпусе с возможностью перемещения в вертикальном направлении, отл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения надежности групповой загрузки деталей, столики самоустанавливающихся прижимов рас15 полохкены па двух параллельно натянутых проволоках, закрепленных на поворотных рычагах, установленных па корпусе и упруго отжатых от него.

Источники информации, 20 принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США ¹ 3.616.942, кл. 214 — 1, 1971.

2. Лвторское свидетельство СССР № 190210, кл. Н Oll 7/68, 1965.

Вакуумный питатель Вакуумный питатель 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки при изготовлении полупроводниковый приборов

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме
Наверх