Способ фиксации полупроводниковых пластин

 

И Е;

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАН

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 15.08.75 (21) 21 65909/18-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (51) М. Кл, Н 01L 21/68

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изооретений и открытий (43) Опубликовано 25. 1 2. 77 Бюллетень №4 (53) УДК6 2 1 38 2. 002 (088.8) (45) Дата опубликования описания15 ° 01. 78 (72) Авторы изобретения

A. В, Власов, А. К. Зайцева, А. A. Полисан и А, В. Томашевский (71) Заявитель (54 ) СПОСОБ ФИКСАЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов и может использоваться при обработке, транспортировке и хранении полупроводниковых пластин.

Известен способ фиксации полупроводниковых пластин при групповой обработке, предусматривающей их установку в радиальные пазы кассеты. (1). Однако он не совершенен из-за недостаточной надежности фиксации пластин при транспортировке и хранении.

Наиболее близким к изобретению техническим решением является способ фиксации полупроводниковых пластин, включающий растягивание цилиндрических пружин между продольными ограничителями рамы, установку пластин между витками пружины и сжатие пружины (2) .

Известный способ позволяет зафиксировать пластины при технологической обработке, однако, при хранении и транспортировке пластин возможно их выпадение из гнезд, образованных витками пружины.

Целью изобретения является повышение надежности фиксации пластин.

Достигается это тем, что после установки пластин пружину снимают с рамы, сжимают, поворачивают сжатую пружину с зафиксированными в ней пластинами вокруг ее продоль2 ной оси на 180, в этом положении устанавливают ее между продольными ограничителями рамы и растягивают.

На фиг. 1 показана установка пластин в гнездах между витками пружины; на фиг. 2— отражен этап растяжения пружины: на фиг. 3— пружина с пластинами после извлечения из рамы и на фиг. 4 — хранение и транспортировка пластин при произвольном попожении рамы.

В исходном состоянии в раму 1 с продольными ограничителями 2 вводят растянутую цилиндрическую пружину 3, имеющую захваты 4 и прицепы 5 (см. фиг. 1, 2). В гнезда, образованные витками пружины, устанавливают полупроводниковые пластины 6, после чего пружину снимают с рамы, сжимают, поворачивают на

15 180 вокруг продольной оси и вновь устанавливают ее с помощью захватов 4 и прицепов 5.

Рама, ограничители и захваты могут быть изготовлены из химически стойкого материала, а металлическая пружина заключена в эластичную оболочку из того же материала.

Предложенный способ позволяет обрабатывать, хранить и транспортировать пластины как в сжатом состоянии пружины (см. фиг. 3), так и при ее растяжении с последующей установкой между ограничителями рамы. В последнем слу2б чае при любом положении рамы обеспечивается

585565 надежная фиксация пластин в гнездах, образованных витками пружины и продольными ограничителями рамы (см. фиг. 4).

Формула изобретения

Способ фиксации полупроводниковых пластин, например, при выполнении технологических операций и транспортировке, включающий растягивание цилиндрических пружин между продольными ограничителями рамы, установку пластин между витками пружины и сжатие пружины, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности фиксации пластин, после установки пластин пружину снимают с рамы, сжимают, поворачивают сжатую пружину с зафиксированными в ней пластинами вокруг ее продольной оси на 180, в этом положении устанавливают ее между продольными ограничителями рамы и растягивают.

Источники информации, принятые во внимание прн экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР № 203788, кл. Н 01 L 21/00, 1967.

2. Патент США № 3610613, кл. 269 †2, 1971.

585565

Составитель Ю. Цветков

Техред О. Луговая Корректор П.Макаревич

Тираж 976 Подписное

Редактор Е. Гончар

Заказ 5058/43

ЦНИИПИ 1осударственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4