Способ измерения давления газа

 

ОП ИСАНИ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ (iij667843

Союз Советских

Социалистичвсва

Реслублик

К АВТОРСКОМУ СЗИДИНЛЬСТВУ (6!) Дополнительное к авт. свил-ву (22) . Заявлено 19.11.76 (21) 2421118/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М Кл 2

G 0I L 2 1/34

Государственный номнтет

СССР оо делам нзооретеннй н открытнй (53) УД K 531.; 88..732 (088,8) Опубликовано 15.05.79. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 25.06.79 (72) Авторы изобретения

А. М. Григорьев и А. И. Фурсов (7!) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ ГЛЗЛ

Изобретение может быть использовано для одновременного измерения общего и па рци аль ного да влени я газ а.

Известны способы измерения общего давления с помощью магниторазрядных манометров (! (.

Известны также способы одновременного определения общего и парциального давления газов, основанные на измерении разрялного тока в магнитном манометре (2).

Известным способом можно измерять давление электроотрицательных газов, т. е. газов склонных к образованию отрицательных ионов. Цель изобретения — одновременное и независимое измерение общего и парциального давления различных компонент газа.

Цель достигается тем, что по предлагаемому способу после зажигания газового разряда уменьшают энергию ионов до величины 1 — 2 эВ, причем парциальное давление газов определяют по току на электродах го разрядного промежутка, а полное давление газа определяют по общему разрядному току, На чертеже представлена схема осугцествления предлагаемого способа.

Схема солержит анод !. катод 2, сетку 3, коллектор 4, . источники о ll 6 питания измерительные приборы 7 и 8.

При включении катодного питания между анодом и катодом возникает газовый разряд в скрещенных электрическом и магнитном полях. Токи в соответствуfolljHx цепях служат мерой давления.

Сетка 3 находится под потенциалом анода, поэтому все ионы должны управляться катодом 2, так как замедляющее поле между катодом и сеткой равно ускоряюшему полю между анодом н катодом. Далее с помощью анолного источника 6 питания меняют потенциал анода, увеличивая энергию положительных ионов, образованных у анода. Г!ри этом часть положительных ионов попадает в пространство между сеткой 3 и коллектором 4. Эти ионы лвигаются по инерции и на них действует магHMTHoc поле по за коцу. щ l" В где m -- масса иона; — скорость иона; за!)яд;

1 -- радиус поворота иона;

В -- инлукция магнитного поля. величины электрического поля газового разряда.

Способ измерения давления газа, основанный на измерении тока газового разряда в магнитном манометре, отличающийся тем, что, с целью одновременного и независимого измерения общего и парциального давления различных компонент газа, после " зажигания газового разряда уменьшают энергию ионов до величины 1 — 2 эВ, причем парциальное давление газов определяют по

-- " току на электродах разрядного промежутка, а полное давление газа определяют по оощему разрядномттоку.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Дж. Лекк. Измерение давления в ва куумных системах, Я., 1966.

2. Авторское свидетельство СССР № 447591, кл. G 01 L 21/34, 1972. ф фМФ @йййФ; := г

Составитель Л. Кочураев

Техред О. Луговая Корректор Ю. Макаренко

Тираж 1089 Подписное

ЦН И И П И Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор Е. Яковчик

Заказ 3438)37 д

667843

С другой стмороойы ннэ11ергия" йбгга определяется равейством

iп ч 11 P) где U — напряжение анодного источника 6 питания.

Из формул 1 и (2) следует, что

R = 2Б (3)

Задавал я разлйчнйе по величине напряже ="Г1ГГЯ На аайОаДнтЕ"МОжНО ПОЛУЧйтЬ=РаЗЛИЧНЫЕ значения пройдегннного раccтoяния для ионов с различной массой. Ионы с определенной массой будут достигать коллектора 4, а другие не будут. Понтону, меняй ббтгбабаал анода, мбмн рбиъъддмть- рауаделгеттне нон1гьгх "потоков по массе ионов.

Описанный способ позвтол ГеТумень1ц ить

<секодрзоастйн ионбв до таких величин, которые

" "пбзвбляют" осуществить раздельную регистрацию компонент газа. При этом уменьШение скорости йонов-происхотдтгт тв электри-ческом поле, которое используется для поддержания газового разряда. Операция разделения ионов по массам происходит за счет уменьшения энергии ионов путем изменения

Формула изобретения