Способ измерения давления газа

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

{11) Q $552

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) oi)o. HHTe. bH0e BBT. свид-ву— (22) Заявлено 21.06.76 (21)2373617/18-1 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.10,77, Бюллетень №3, (45) Дата опубликования описания 22.ll.77 (51) М. Кл.

G 01 L 21/34

Государственный нонитет

6оавта Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) 3ДК 5 3 7 88

{PQA C) (72) Авторы изобретения

П. В. Пошехонов, В, B. Орешкин и А. С. Иваников (71) Заявитель

Рязанский радиотехнический институт (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ ГАЗА

Изобретение относится к области измерения вакуума в готовых электровакуумных приборах и может быть использовано при иъ-. мерении давления остаточных газов в вакуумных магнитоуправляемых контактах, 5

Известны способы измерения давпения газа в двух электродных вакуумных приборах, основанные на использовании электродов ilpliбора при эпекгронной эмиссии с одного из )Q

ЭПЕКГРОДОВ И .

Известен также способ измерения давления газа в двухэлектродном вакуумном приборе, основанный на приложешеи высокого напряжения к электродам и измерении времени восстановления высокого напряжения к электродам и измерении времени Ьосстаповлее)ия автоэлектронного тока с ранее созданных меекроскопических центров эмиссии до перво- 20 начальной величины после нарушения равновесного газового покрытия на электроде, Это время является мерой давления остаточного газа в обьеме, где находятся электрош1 C- 1. Однако этот способ практически, б неприменим для измерешья вакуума в л1аг)11 тоуправляемых контактах. Это обусловлено тем, что прпложеш е достаточио ьысокого напряжения к подвижным электродам приводит к их сбпиже1шю под действием эпентросгагической сипы протяжения и возп11кновению эпок Tj:H÷åñêor е пробоя, п)..1евоцящего к разрушене11О эмиссиониьех ееенгрой и изл1ене нию авгоэпекгронного тока независимо Ог давления Остаточного газа. Создание микроско ческих центров авгоэлектронной эмиссии на и Оьерхносги э 1еек?, Одов Вакуумных л1агнито» управляемых контактов принципиапьпо недoпустимо, так KQK это существенно нареушает работу магнптоуправляемых контактов.

1Еель изобретения — возможность измерения давления остаточных газов в отпаянных вакуумных магнитоуправляемых контактах, Это достигается тем, что электроды матм нитоуправляемoro конгакта, разомхнутые в исходном состоянии, замыкают с помощью магнитного поля и измеряют переходное сопротивление контактов в мОмент их замыкания являющееся параметром взаимодействия молекул остаточного газа с поверхностью элект

5523 родов и, соответственно> мерой давления.

Давление Р определяют по формуле

Я, = КЕ 1, где Rz — переходное сопротивление, На чертеже изображена усредненная зависимость переходного сопротивления от давления остаточных газов для вакуумного магнитоулравляемого контакта типа МКА

52А1, Г!ереходное сопротивление при контактиро- <о ванин контакт деталей магнитэуправляемого контакта измеряем помощью моста P-316 с точностью 0,2%. Давление эстатэчнэгэ газа измеряли вакууммет ром БИТ-2П с малэметрическими датчиками ПМТ-2 и ПМИ-2.

Из графика видно, что повышение давления остаточных газов Р в интервале

1 10 к-10 мм рт,ст. увеличивает переходное сопротивление R< и та зависимость может иметь вид

20 где К вЂ” коэффициент пропорциональности, зависящий от конструкции прибора и материала контактного покрытия контакт-деталей, Увеличение переходного сопротивления

R qy связано с возрастанием толщины сорбированной пленки газов на контактпрук ших плоскостях при увеличении давления Р. щы

gg-4 !О Рмм. pm. ñë. йабаепие остаточиык gggpg

Составитель 0, Попев Гехред Н, Лнпрейчук Корректор Jl. Небола

Редактор О. Филиппова

Заказ 4023/27 Тираж 1101 П одпис н е

0НИИ!!И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская цаб., д. 4/5

Филиал 1!ПП "!!атент,;. Уж ород, ул, 11рос.ко ноя, 4

Ял

Ом о,ч

Ъ

g очаг о,оВ

° с !1,04

1!редлагаемый способ позволяет измерять вакуум, т.е. оценивать качество приборов как в процессе технолси-ического цикла изб отовления, так и в процессе длительного хранения; не требует разработки дополнительной аппаратуры и использует аппаратуру для контроля параметров контакта.

Формула изобретения

Способ измерения давления газа в двухэлектродном электровакуумном приборе, ос нованный на регистрации параметров процесса взамиодействия молекул остаточных газов с поверхностью электродов, о т л и ч а— ю шийся тем, что, с целью возможности измерения давления в магнитоуправляемых контактах, измеряют переходное сопротивление контактов в момент их замыкания и по форму ле

Я„„=К Р, где R >- переходное.c,опротивление;

К вЂ” коэффициент пропорциональности;

Р— давление газа, определяют давление газа, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. /!вторское свидетельство СССР

М 518663 кл. C 01 L 21/30, 1974 °

2. Патент ГДР "й ВВ670, хп. 503 21/30, 1972.