Магниторазрядный манометр
i j.%5953
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Сокиалистических
Республик т (61) Дополнительное к авг. свид-ву (22) Заявлено 26.07.74 (21) 2049145/18-10 (51) М. Кл.з G OIL 21/34 с присоединением заявки ¹
Гасударственный комитет
Совета Министров СССР по дела,"л изобретений и открытий (23) Приоритет
Опубликовано 30.05.76. Бюллетень № 20
Дата опубликования описания 01.08.76 (53) УДК 531.788(088.8) (72) Авторы изобретения (71) Заявитель
Ю. Г. Кошко, Ю. М. Крот, В. Н. Пакулин и И. В. Федоренко
Особое конструкторское бюро технической кибернетики
Ленинградского ордена Ленина политехнического института им. М. И. Калинина (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ МАНОМЕТР
Изобретение относится к области измерения вакуума, в частности к магниторазрядным манометрам.
Известен магниторазрядный манометр магнетронного типа, содержащий полый цилиндрический анод, размещенный внутри него катод в виде двух дисков, соединенных между собой стержнем, и магнит. У известного манометра ограниченный участок линейности градуировочной характеристики (графика зависимости разрядного тока от давления). При давлениях выше 1.10 — " мм рт. ст. характеристика имеет вид сильно выпуклой кривой, так что при давлениях 1.10- —
5 10 — мм рт. ст. чувствительность манометра падает до нуля.
Цель изобретения — улучшение линейности градуировочной характеристики и расширение пределов измеряемых давлений.
Это достигается тем, что манометр снабжен полым цилиндром с крышкой, выполненной в виде цилиндрического магнита с центральным отверстием, и стержневым электродом, соединенным с анодом, изготовленным из магнитомягкого материала. При этом полый цилиндр укреплен соосно с анодом на одном из катодных дисков, представляющих собой цилиндрические магниты, а стержневой электрод размещен по оси полого цилиндра и проходит сквозь отверстие его крышки.
Схема магниторазрядного манометра приведена на чертеже.
Катод состоит из трех цилиндрических магнитов 1, 2, 3. Магниты 1 и 2 скреплены между собой центральным стержнем 4, а магниты 2 и 3 — полым цилиндром 5. Анод 6 изготовлен из магнитомягкого материала, например сплава «Армко», и является одновременно корпусом манометра и магнитопроводом для замыкания магнитного потока магнитов
1 и 3. Анод имеет отверстия 7 и 8 для сообщения внутренней части манометра с окружающей средой и стержневую часть в виде электрода 9, проходящего через отверстие в
15 магните 3 по оси цилиндра 5.
Манометр работает следующим образом.
Катод образует с анодом разрядную камеру магнетопронного типа, а со стержневым электродом 9 — инверсно-магнетронного ти20 па. При подаче на катод отрицательного напряжения в разрядных камерах устанавливается разряд, ток которого пропорционален давлению в манометре. Для очень низких давлений большее значение чувствительности
25 имеет магнетронная камера, а при высоких давлениях основной прирост тока дает инверсно-магнетронная часть. Объединение разрядов двух типов позволяет получить л|шейную характеристику манометра в широком
30 диапазоне измеряемых давлешш.
515953
Составитель О. Полев
Техред E. Подурушина
Редактор И. Грузова
Корректор E. Рожкова
Заказ 1585/2 Изд. № 1484 Тираж 1029 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Манометр хорошо зажигается и обладает большой чувствительностью при низких давлениях, требует невысокого анодного напряжения и устойчиво работает при малых магнитных полях. Градуировочная характеристика испытанного опытного образца, работавшего в магнитном поле 600 гс с напряжением на катоде 1600 в, имеет две зоны линейности.
Излом характеристики происходит при давлении 1 10 — мм рт, ст. Предел измеряемых высоких давлений достигает 5 10 — - мм рт. ст.
Предмет изобретения
Магниторазрядный манометр, содержащий цилиндрический анод с отверстием в торцоьой крышке и размещенный внутри анода катод, выполненный в виде двух дисков, соединенных между собой стержнем, о т л и ч ающи и ся тем, что, с целью улучшения линейности градуировочной характеристики и расширения диапазона измерения в сторону высоких давлений, он снабжен полым цилиндром с крышкой, выполненной в виде цилиндрического магнита с центральным отверстием, и стержневым электродом, соединен10 ным с анодом, изготовленным из магнитомягкого материала, при этом полый цилиндр укреплен соосно с анодом на одном из катодных дисков, выполненных в виде цилиндрических магнитов, а стержневой электрод разме15 щен по оси полого цилиндра и проходит сквозь отверстие его крышки.
