Устройство для литья пленки

 

(I Ц 670343

ОП ИСАН И Е

ИЗО6РЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Со(оз Советских

Социалистических

Республик

Ф

1, iIlI (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 25.01.78 (21) 2572669/23-05 с присоединением заявки Ке (51) М. Кл."В 05С 5/02 по,елец „.1обрет,иий (43) Опубликовано 30.06.79. Бюллетень Ме 24 (53) УД1(678.026.34 (088,8) и открытий (45) Дата опубликования описания 30.06.79 (72) Авторы пзобрстения

Ю. В. Кодра и Б. А. Пальчевский

Львовский ордена Ленина политехнический институт (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИТЬЯ ПЛЕНКИ

ГосУдгРствскиый оиитет (23) Приоритет

Изобрстение относится к конструкции устройств, применяемых в электронных приборах эмиссионных, металлизационных, изоляционных и т. и. пленочных покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности.

Известно устройство для литья пленки, содержащее стол для тсхнологической подложки, установленную над столом герметичную литейную воронку, соединенную с трубопроводом сжатого воздуха (1).

Такое техническое решение лишь частично устраняет неравномерность расхода пасты. Однако при изготовлении пленок, используемых в радиоэлектронике, даже незначительное отклонение толщины пленки от номинального размера, вызываемое изменением суммарного давления вытеснения по мере расхода пасты в воронке, нежелательно.

Известно также устройство для литья пленки, содержащее установленную над движущейся технологической подложкой литейную воронку, соединенную с пневмосистемой вытеснения пасты из воронки, снабженной подводящим трубопроводом, трубопроводом отбора воздуха от воронки и измерительным соплом, размещенным над технологической подложкой (2).

Такое устройство является наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату, Недостатком его является то, что при

5 стабильном расходе пасты равномернос гь толщины пленки достигается не всегда. Например, при изменении толщины тсхнолоl »«eel!0!! Подложи!! г)а Впох!срность расхода пасты приведет к ооратному результату—

10 отклоненшо толщины пленки от заданной величины.

Целью изобретения является повышение стабильности толщины пленки.

Указанная цель достигается тем, что из15 мерительное сопло установлено на выходном конце трубопровода отбора воздуха перед литейной воронкой по ходу движения технологической подложки.

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

Устройство для литья пленки содержит установленную над движущейся технологической подложкой 1 литейную воронку 2, соединенную с пневмосистемой вытеснения

25 из нее пасты, снабженной подводящим трубопроводом 3, трубопроводом 4 отбора воздуха от воронки 2 и измерительным соплом

5, размещенным над технологической подложкой 1.

670343

Составитель A. Чал-Борю

Текред A. Камышникова Корректор Т. Добровольская

Pe;,àêòîð Г. Прусова

Подписное

Заказ 1314/7 Изд. М 421 Тираж 821

Ц1-1ИИП11 1-11И «Г!сиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )Y,-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Измерительное сопло 5 установлено на выходном конце трубопровода 4 отбора воздуха перед литейной воронкой 2 по ходу движения технологической подложки 1.

Устройство также содсрхкит стол 6 под технологическую подложку 1 и механизм ее протягивания, содержащий барабаны 7 и 8.

В литейной воронке выполнена щель 9, а на входс г. подводящий трубопровод установлен дросссль 10.

Устройство для литья пленки работает следующим образом.

Воронку 2 заполпя1от пастой и пода1от воздух пз ппсвмоспстсмы под давлением, превышающим гидростати 1ескос давление пасты в воронке 2. Под суммарным давлсH",Icì (гидростатическое плюс воздушное) паста через щель 9 поступает па движущуюся тсхнологичсскую подложку 1. При измс1;еппи толщины подложки 1 изменяется величина зазора между соплом 5 и погерхност1по подложки, в результате чего изменяется количество воздуха, проходящее через трубопровод 4 отбора воздуха.

Соот11CTCTDCHIIO k13MCII510IC51 QBBJICkIIIC I3 BOpoII1 2 и расход пасты, от которого завпcIIT толщиl! а наносимого слОя.

Использование предлагаемого изобрете= ния позволяет получить высококачественную металлоорганическую пленку, применяемую в гибридных интегральных схемах, 5 электронных вакуумных приборах и т. п.

Формула изобретения

Устройство для литья пленки, содержащее установленную над движущейся техно10 логической подложкой литейную воронку, соединенную с пневмосистсмой вытеснения пасты из воронки, снабженной подводящим трубопроводом, трубопроводом отбора возду.:а от воронки и измерительным соплом, 15 размещенным над технологической подложкой1, отл ич а ю щес с я тем, что, с целью говышсния стабильности толщины пленки, измерительное сопло установлено на выходном конце трубопровода отбора

20 воздуха перед литейной воронкой по ходу движения технологической подложки.

Источники информации, принятыс во внимание при экспертизе

1. Патент CILIA М 29743б4, кл. 18 — 15, ;5 опублик. 19б5.

2. Заявка М 245113б/23 — 05, кл. В 05С

5/02, 1977, по которой принято решение о выдаче авторского свидетельства.