Установка для литья пленки

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

GB ИВАНКЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABT :::i-"-:-..;." 2 ЛУ СВИДЕТЕЛЬСТВ

МЬ (1!) 722695

> (61) Дополнительное к авт. спид-ву (22) Заявлено 20.03.78 (21) 2591 729/23-05 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет

Опубликовано 25.03.80. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 28.03.80

B 05 С 5!02

3Ъеударстаенный камнтет по данаи нЫретеннй н атхрьтнй (53) УЛ1(678.026. .3(088.8) (72) Автори изобретения

Б. А. Пальчевский и Ю. В. Кодра

Львовский ордена Ленина политехнический институт (7I ) Заявитель (54) УСТАНОВКА ЛЛЯ ЛИТЬЯ ПЛЕНКИ

Изобретение относится к устройствам пля изготовления эмиссионных, металлизаиионных, изоляпионных и т. п. пленочных покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности..

Извес на ус-.-"новка для литья пленки, содерткащая питьевую воронку для жидкой пасты,. установленную над подвижной технологической подложкой $1).

Однако эта установка не обеспечивает получения пленки стабильной толщины.

Боле- близкой к предлагаемому изобретению является установка для литья пленки, содержащая питьевую воронку для шликера, сосгоятцую из корпуса и днища с выполненной в нем литьевой щелью, и систему автоматического регулирования расхода шликера, включающую пневмодатчик контроля толщины пленки и исполнительный механизм 2 .

26

Однако в таком устройстве изменение гипростатического давления литейной жидкости в воронке по мере ее расходования приводит к изменению расходе шликера и, соответственно, нестабильно" л па-раметров пленки.

Бель изобретения — повышение ста-бильности толщины пленки за счет автаматического регулирования расхода шлп-кера.

Бель достигается тем, что в устапов е для литья пленки, содержащей питьевую воронку для шликера, состоящую из корпуса и днища с выполненной в нем литьевой щелью, и систему автоматического регулирования расхода шликера, включающую lIHBBMopQI контроля толщины плеп=ки и исполнительный механизм, исполнительный механизм выполнен в виде смонтированных между корпусом и днищем воронки пары коаксиальных сильфонов, полость между которыми связана с пневмодатчиком, причем подвижные торны сильфонов прикреплены к днищу.

На чертеже изображена схема установки для литья пленки.

Установка для литья пленки содержит стол 1, подвижную технологическую

3 72 подложку 2. Над поверхностью стола (технологической подложки) установлена литьевая воронка, имеющая корпус 3 и подвижное днище 4, в котором выполне на литейная щель 5. Кроме, того, ус»новка содержит систему автоматического регулирования расхода шликера, включающую пневмодатчик и сильфонный исполнительный механизм.

Пневмодатчик выполнен в виде недифференциального пневмоизмерительного устройства монометрического типа, содержащего входной дроссель 6, измерительную камеру 7 (условно показанной на чертеже одной линией) и измерительное сопло 8, установленное над поверхностью стола (подложки) за воронкой по ходу движения подложки. К датчику подведена пневмосистема (на чертеже не показана).

Исполнительный механизм выполнен в виде пары коаксиально расположенных сильфонов 9 и 10. Сильфоны встроены в воронку таким образом, что верхние их торцы герметично прикреплены к корпусу 3, а к нижним прикреплено подвижное днище 4. При этом днище 4 также закреплено на пружинном параллелограмме 11. Полость между сильфонами 9 и

10 пневматически связана с помощью трубопровода 12 с измерительной камерой 7.

Устройство работает следующим образом.

Воронку заполняют металлоорганической литейной пастой (шликером ) . При этом заполняется полость сильфона 9 и он под действием гидростатического давления, преодолевая сопротивление сильфона 10, растягивается, приближая дниme 4 к поверхности технологической подложки 2. Через литейную щель шликер поступает на движущуюся подложку, причем, по мере расхода шликера, гидростатическое давление в воронке падает и сильфоны 9 и 10 сжимаются, поднимая днище 4 и увеличивая литейный зазор между днищем и подложкой, вследствие чего расход остается неизменным.

Металлоорганический слой, полимеризуясь на подложке, превращается в пленку, которая вместе с подложкой проходит под измерительным соплом 8, установлен

2595 4 ным над столом с заданным зазором. !!ри несоответствии толщины пленки заданному размеру изменяется зазор между пленкой и соплом, что приводит к изменению pacxoga воздуха, поступающего из пневмосистемы, к изменению давления B измерительной камере 7. Соответственно изменяется давление в полости между сильфонами 9 и 10. Воздействие пневмо10 давления накладывается на действие гидростатического давления, в результате чего днище удерживается сильфонами в.состоянии динамического равновесия на оптимальной для данных условий высоте над

15 подложкой, задавая тем ° самым необходимый расход шликера. Пружинный параллелограмм 1 1 играет роль демпфера, служащего для гашения колебаний днища при изменении его положения. Таким обра20 зом получают пленку стабильной толщины.

Использование предлагаемой установки позволяет получить высококачественную м еталлоорганическую п ленку, п рим еняемую в гибридных интегральных схемах, электронных вакуумных приборах и т. и.

Формула изобретения

Установка для литья пленки, содержащая литьевую воронку для шликера, состоящую из корпуса и днища с выполненной в нем литьевой щелью, и систему автоматического регулирования расхода

3 шликера, включающую пневмодатчик контроля толщины пленки и исполни тельный механизм, отличающаяся тем, что, с целью повышения стабильности толщины пленки за счет автоматического регулирования расхода шликера, исполнительный механизм выполнен в виде смонтированных между корпусом и днищем воронки пары коаксиальных сильфонов, полость между которыми связана с пневмодатчиком, при— чем подвижные торцы сильфонов прикреплены к днищу.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

50 % 432935, кл. В 05 С 5/02, 1971.

2. Авторское свидетельство по заявке % 2506059, кл. В 05 С 5/02, 1977 (прототип).

722595

Составитель С. Леонтьева

Редактор 3. 1Пубенко Техред Я, Ковалева Корректор М. Йемчик

Заказ 907/3 Тираж S10 Подписное

111-1ИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент", r. Ужгород, ул. Проектнан, 4