Способ изготовления прецизионного металлофольгового резистора

 

Способ изготовления прецизионного металлофольгового резистора, включающий присоединение резистивной фольги к технологической диэлектрической подложке, нанесение маски на резистивную фольгу, удаление маски, формирование рисунка в фольге, нанесение цемента, удаление технологической подложки с последующей подгонкой величины сопротивления к номинальному значению, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности металлофольгового резистора и упрощения технологического процесса, удаление маски и формирование рисунка в фольге осуществляют одновременно путем ионного травления, а после нанесения цемента проводят термообработку полученного рисунка в фольге совместно с кристаллизацией цемента, причем совместный процесс термообработки и кристаллизации осуществляют при температуре 440 - 480^oC в течение 0,5 - 4 ч, а подгонку величины сопротивления к номинальному значению осуществляют ионной обработкой при следующих режимах: Ток пучка ионов, мА - 300 - 600 Напряжение, кВ - 2 - 5 Температура резистивного элемента, ^oC - 100 - 400