Устройство для травления микроканальныхпластин

 

О П И С А Н И Е 1п1827433

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 25.05.79 (21) 2770605/29-33 (51) М. Кл,з

С ОЗС 15/00 с присоединением заявки №

Государственный комитет (23) П р но р нт ет

СССР по делам изобретений и открытий (43) Опубликовано 07.05.81. Бюллетень № 17 (53) УДК 666.1.053..6(088.8) (45) Дата опубликования описания 07.05.81 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ МИКРОКАНАЛЬНЫХ

ПЛАСТИН

Изобретение относится к промышленности строительных материалов, а именно к оборудованию для изготовления стеклянных микроканальных пластин (МКП) и может быть использовано в электронной и оптической промышленности.

Известны устройства для получения микроканальных .пластин вытравливанием растворимой составляющей, содержащие элек- 10 тролитическую ванну с платиновыми электродами (1).

Однако, существующее устройство сложно в исполнении, так как требует применения электролитической ванны с электрода- 15 ми из драгметалла и не позволяет получить чистые каналы малого диаметра, так как при таком пассивном способе травления в микроканалах остаются продукты распада, для удаления которых требуются 20 дополнительные эффективные способы обработкии.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому резуль- 25 тату является устройство для травления микроканальных пластин, включающее резервуар с крышкой, установленный в нем вертикальный лоток с поперечными кронштейнами, привод и кассеты-держатели (2). 30

Недостатком известного устройства является длительность процесса вытравливания растворимой составляющей.

Целью изобретения является увеличение интенсивности процесса травления.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для травления микроканальных пластин, включающее резервуар с крышкой, установленный в нем вертикальный шток с поперечными кронштейнами, привод и кассеты-держатели, снабжено перемычками, соединяющими кассеты-держатели с поперечными кронштейнами, причем перемычки выполнены из эластичного материала, а длина перемычки составляет 0,1 — 3,0 диагонали кассеты-держателя.

При этом в качестве эластичного материала для перемычек используют полиэтилен или резину, кассеты-держатели выполнены в виде карманов со сквозными вырезами, имеющих конфигурацию микроканальной пластины, а поперечные кронштейны смещены друг относительно друга на

30 — 90 и смонтированы на штоке в несколько рядов.

Сущность изобретения поясняется чертежом.

Устройство содержит резервуар 1 с травильным раствором 2, который помещен в водяную баню 3, подогреваемую нагрева827433 телем 4. На штоке 5 закреплен поперечный кронштейн 6 с кассетами-держателями 7.

Шток приводится в движение электромотором 8. Кассеты-держатели соединены с поперечным кронштейном эластичной перемычкой 9.

Устройство работает следующим образом.

Замкнутый резервуар с травильным раствором необходимой концентрации нагревается до нужной температуры. Через крышку резервуара вводится шток, на кронштейны которого в кассетах-держателях подвешиваются заготовки МКП. Крышка закрывается, а вертикальный шток выводится через фторопластовую пробку-втулку. Кассеты-держатели соединены с кронштейном эластичными перемычками. Шток вращается при помощи электродвигателя с редуктором. Пакеты с МКП при неподвижном штоке занимают вертикальное положение, а при вращении — горизонтальное, при этом поток травильного раствора направлен вдоль поверхности пластины.

Количество кронштейнов, которые прива- 25 риваются к штоку, определяются высотой и шириной сосуда с травящим раствором, т. е. количество .пластин, которое одновременно протравливается, составляет несколько десятков штук. i0

Наличие эластичных перемычек уменьшает время нахождения заготовок МКП в травильном растворе, поскольку при движении кассет-держателей на эластичной перемычке возникает вибрация, которая 35 способствует более быстрому удалению продуктов из каналов.

Применение плотных резиновых кассет позволяет получить технологическую зону крепления МКП, так как в этом месте не 40 производится травление растворимой составляющей МКП.

Формула изобретения

1. Устройство для травления микроканальных пластин, включающее резервуар с крышкой, установленный в нем вертикальный шток с поперечными кронштейнами, привод и кассеты-держатели, о т л и ч а ющееся тем, что, с целью увеличения интенсивности травления, оно снабжено перемычками, соединяющими кассеты-держатели с поперечными кронштейнами, причем перемычки выполнены из эластичного материала, а длина перемычки составляет

0,1 — 0,3 диагонали кассеты-держателя.

2. Устройство для травления микроканальных пластин по п. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что в качестве эластичного материала для перемычек используют полиэтилен.

3. Устройство для травления микроканальных пластин по п. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что в качестве эластичного материала для перемычек используют резину.

4. Устройство для травления микроканальных пластин по п. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что кассеты-держатели выполнены в виде карманов со сквозными вырезами, имеющих конфигурацию микроканальной пластины.

5. Устройство для травления микроканальных пластин по п. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что поперечные кронштейны смещены друг относительно друга на 30 — 90 и смонтированы на штоке в несколько рядов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Великобритании № 1158353, кл. С 1М, 1967.

2. Авторское свидетельство СССР № 546582, кл. С ОЗС 15/00, 1975.

827433

Составитель Н. Ильиных

Техред А. Камышиикова Корректор H. Федорова

Редактор И. Квачадзе

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 905)5 Изд. № 307 Тираж 530 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4 5