Устройство для ориентирования круглых подложек

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (»)881897 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 30.12.75 (21) 2305153/18-21 (23) Приоритет (32) 040375 (31) РВ 65д/184533 (33) ГДР

Опубликовано 1$1181,Бюллетень М 42

Дата опубликования описания 151181 (51)М. Кл з

Н 01 L 21 70

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.396.69. .002 (088.8) (72) Автор изобретения

Иностранец

Эрхард Якш (ГДР) (71) заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАНИЯ КРУГЛЫХ

ПОДЛОЖЕК

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к устройствам для ориентирования круглых подложек интегральных схем относительно приемного устройства.

Известно устройство для ориентирования круглых подложек,преимущественно с лыской по периметру, содержащее узел ориентации, установленный на 10 станине и состоящий иэ транспортера, направляющей, приводного механизма и роликов (1).

Однако известное устройство не обеспечивает надежного ориентирования подложек из-за технической слож15 ности и значительных напряжений, возникающих в подложках.

Цель изобретения — повышение надежности ориентирования подложек.

Цель достигается тем, что устройство для ориентирования круглых подложек, преимущественно с лыской по периметру, содержащее станину с установленным на ней узлом ориентации, вы 5 полненным в виде размещенных под фиксированным углом транспортера и направляющей, и переводным механизмом, снабжено дополнительным приводным механизмом и осью, закрепленной продольно транспортеру в станине, причем узел ориентации установлен с возможностью разворота вокруг оси на заданный угол в пределах 0 — 90 и фиксации его в этом положении.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 — то же, вид сбоку. устройство содержит станину 1 с расположенной в ней осью 2, вокруг которой вращается узел 3 ориентации, содержащий направляющую 4, приводной механизм 5, транспортер с роликами б и 7 и транспортерной лентой, выполненной в виде опоры 8 для подложек 9. Ролик б вращается от приводного механизма 5 через ременную передачу 10„ вследствие чего опора 8 продольно движется в направлении стрелки С.

Узел 3 ориентации поворачивается вокруг оси 2 при помощи дополнительного механизма ll на угол 0 — 90о. На концах, ограничивающих направляющую 4, в продольном направлении имеются проемы 12 и 13.

Устройство работает следующим обраеом.

Подлежащие ориентированию подложки 9, имеющйе на кромке лыску 14, 881897 укладываются в любом положении на опору 8 у левого конца направляющей 4, так, что кромка помещается на опоре, а лыска — на направляющей 4. Опора 8 при помощи приводного механизма 5 через ременную передачу 10 и ролик 6 линейно движется в направлении, показанном стрелкой С, относительно направляющей 4. Силы трения, возникающие в точке соприкосновения между опорой 8 и кромкой подложки 9, перемещают последнюю в направлении движения опоры 8. А на поверхности прилегания подложки 9 к направляющей 4 при движении создаются относительно последней моменты трения, противоположного направленные силам трения 15 между опорой 8 и кромкой подложки 9, иэ-за чего движение последней тормозится. Таким. образом, дополнительно к прямолинейному движению вперед подложки 9 имеет место и ее относитель- Щ ное вращательное движение, которое продолжается до тех пор, пока лыска 14 подложки 9 не попадает на опору 8. С этого момента образующийся между подложкой 9 и направляющей 4 мо- мент трения уже недостаточен, чтобы приводить во вращение подложку 9, поэтому последняя, но Уже без дополнительного вращения, продвигается по опоре 8 к правому концу направляющей 4 до соприкосновения с упорами 15.

В это время подложки 9 находятся в ориентированном положении и при повороте узла 3 ориентации могут переместиться из положения а в положение в где они при помощи захвата 16 перемещаются сквозь проем 13. Угол поворота узла 3 ориентации, при котором действуют описанные условия трения в заданном направлении, зависит от трения между подложкой 9 и направляющей 4, а также между подложкой 9 и опорой 8, и, следовательно, этот угол должен регулироваться при помощи дополнительного приводного механизма 11.

Установленный на правом конце направляющей 4 упор 15 содержит элементы 17, удерживающие подложки 9 в ориентированном положении.

Формула изобретения

Устройство для ориентирования круглых подложек, преимущественно с лыской по периметру, содержащее станину с установленным на ней узлом ориентации, выполненным в виде размещенных под фиксированным углом транспортера и направляющей, и приводным механизмом, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности ориентирования подложек, оно снабжено дополнительным приводным механизмом и осью, закрепленной продольно транспортеру в станине, причем узел ориентации установлен с возможностью разворота вокруг оси на заданный угол в пределах 0 — 90 и фиксации его в этом положении.

Источники информации, принятые во внимание при экСпертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 23202, кл. В 65 В 35/56, 24.03.30.

881897

Фиг.2

Составитель Е. Блинкова

Техред 5. Кастелевич

Редактор Л. Тюрина г

Корректор С.йомак

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 9988/81 Тираж 787 Г1одп ис ное

BHHhIIP. государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рауъская наб., д. 4/5

Устройство для ориентирования круглых подложек Устройство для ориентирования круглых подложек Устройство для ориентирования круглых подложек 

 

Похожие патенты:

Держатель // 682969

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки при изготовлении полупроводниковый приборов

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме
Наверх