Проекционный координатограф

 

п< 892750

Союз Советсник

Социапистичесиик

Рвсаублин (6! ) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 10. 10. 79 (21) 2829852/18-21 с присоединением заявки М(23) Приоритет— (5l)N. Кл.

Н 05 К 3/00

Ввуаарстан<лый камитет

СССР ве делам наобретений и открытнй

Опубликовано 23.12.81 ° Бюллетень № "7

Jll,àòà опубликования описания 25, 12.81 (53) УДК 621.396..6:621.3.049..7 (088.8) (72) Авторы изобретения

Л. И. Багинский и В. 8. Ивановский (Vl ) Заявитель (54) ПРОЕКЦИОННЫЙ КООРДИНАТОГРАф

Изобретение относится к техноло" гии производства печатных плат и мик. ропленочных электронных схем, а именно к устройству проекционного координатографа, служащего для изготовления фотошаблонов.

Известно устройство, содержащее координатный стол с фиксатором для крепления светочувствительного ма.териала и оптическую систему, снаб-. женную осветителем, конденсатором, объективом и регулируемым коллиматором, выполненным в виде соединенных с микрометрическими винтами двух пар ортогонально установленных шторок, размещенных между конденсором и объективом Ol..

Однако известное устройство обладает узкими функциональными возможностями.

Цель изобретения - расширение функ"

20 циональных возмок<ностей.

Поставленная цель достигается тем, что проекционный координатограф, содержащий координатный стол с фиксатором для крепления светочувствительного материала и оптический узел с осветителем, конденсором, объективом и коллиматором, выполненным ввиде соединенных с микрометрическими винтами двух пар ортогонально установленных шторок, размещенных между конденсором и объективом, снабжен дополнительными шторками с электромагнитами и подвижными упорами, кинематически соединенными с микрометрическим винтом одной иэ двух пар ортогонально установленных шторок, а дополнительные шторки выполнены с прямоугольными вырезами в зоне формирования элемента топологии и установлены параллельно одной из двух пар ортогонально установленных шторок с воэможностью взаимодействия с подвижными упорами, причем отношение между величинами перемещений подвив<ных упоров и одной из двух пар ортогонально установленных шторок равноф .

8927

На фиг. 1 изображен проекционный координатограф, общий вид; на фиг.2элемент топологии в виде восьмиугольника, образованного шторками.

Проекционный координатограф содержит координатный стол 1 с установленным на нем светочувствительным материалом 2, оптическую систему, снабженную осветителем 3, конденсатором 4, объективом 5 и автоматически регули- >О руемым коллиматором, состоящим из шторки 6, закрепленной на каретке 7, шторки 8, закрепленной на каретке 9, шторок 10 и 11, закрепленных, соответственно на каретках 12 и 13 и располо- !ь

>ненных ортогонально шторкам 6 и 8.

Шторки 6 и 8 расположены в одной плоскости. Шторки 10 и 11 также расположены в одной плоскости с небольшим зазором относительно шторок 6 и 8. Кроме того, с небольшим зазором относительно шторок 10 и 11 на каретке 14 закреплена шторка 15, имеющая впадину в виде прямого угла. Аналогичцая ей шторка 16 закреплена на каретке 17 2s с небольшим зазором относительно шторки 15. Каретки 7 и 9 вместе со шторками 6 и 8 перемещаются в направляющих 18, а каретки 12 и 13 вместе со шторками 10 и 11 перемещаются в направ зо ляющих 19-21. В этих же направляющих вмесзе со шторками 15 и 16 перемещаются каретки 14 и 17, соединенные с электромагнитами 22 и 23 соответствен. но и с возвратными пружинами 24 и 25.

Каретки 7 и 9 соединены с микрометрическим винтом 26, причем каретка

7 соединена с его частью, имеющей правую нарезку, а каретка 9 - с частью, имеющей левую нарезку. Винт 26, в свою очередь, соединен с электродвигателем 27.

Каретки 12 и !3 соединены с микрометрическим винтом 28 и через зубчатую передачу 29 связаны с электродвигателем 30 и микрометрическим винтом 31.

Микрометрические винты 28 и 31 также имеют участки с правой и левой нарезками. Каретка 12 соединена с частью винта 28, имеющей правую нарезку, а каретка 13 соединена с частью, имеющей левую нарезку. Винт 31 своей частью с правой нарезкой соединен с каретко" 32, на которой неподвижно закреплен упор 33, ограничивающий движение каретки 17, а частью с левой нарезкой он соединен

50 4 с кареткой 34, на которой неподвижно закреплен упор 35, ограничивающий движение каретки 14. Кинематическая цепь, состоящая из микрометрического винта 28, зубчатой передачи 29 и микрометрического винта 31, обеспечивает величины перемещений кареток 32 и 34 с упорами 33 и 35 при вращении электродвигателя 30 в lТ раз больше, чем величины перемещений кареток 12 и 13 со шторками 10 и 11. Причем направление движения каретки 32 совпадает с направлением движения каретки 12, а направление движения каретки 34 с направлением движения каретки 13.

Проекционный координатограф работает следующим образом.

При включении осветителя 3 в плоскости светочувствительного материала проецируется световая фигура, образованная шторками 6, 8, 10, 11, 15 и

16. В случае необходимости проецирования прямоугольных элементов топологии автоматическая система управления проекционного координатографа

1 подает сигнал на включение электромагнитов 22 и 23. При этом каретки 14 и 17 вместе с закрепленными на них шторками 15 и 16 перемещаются в направляющих 19-2! в разные стороны от оптической оси 36 координатографа за пределы максимально возможного разведения от оптической оси ыторок 6,8, 10 и 11.

В этом режиме шторки 6, 8, 10 и 11 образующие прямоугольник, движутся по программе от электродвигателей 27 и 30, а Шторки 15 и 16 в формировании фигуры элемента топологии не участвуют. В случае необходимости проеци- рования элементов топологии в виде штрихов, расположенных под углом 45 к любому из краев фотошаблонов, система управления отключает электромагниты 22 и 23, после этого пружины 24 и 25 прижимают каретки 14 и 17 к упорам 33 и 35, а с помощью двигателей

27 и 30 автоматически формируется шторками 6, 8,10 и 11 элемент топологии в виде квадрата со стороной 2а.

Так как величины перемещений кареток 32 и 34 с упорами 33 и 35 превышан!т величины перемещений кареток

12 и 13 со шторками 10 и 11 в 1Г2 раз, то расстояния между каждым из упоров

33 и 35 и оптической осью 36 при отходе каждой из шторок 10 и 11 на величину Q увеличивается на величину о..К2.

892750

Формула изобретения

Таким образом, при любой величине ct шторки 15 и 16 занимают такое положение, при котором вершины 37 и

38 впадин (фиг.2) в виде прямых углов этих шторок находятся на расстоянии S /2 от оптической оси 36, т.е. вершины 37 и 38 находятся на окружности, в которую вписан квадрат со стороной

2а..

В результате шторки 6, 8, 10, 11, Е

15 и 16 образуют правильный восьмиугольник, который образует в плоскости светочувствительного материала световую фигуру, позволяющую формировать края элементов топологии, расположенных под углом 45 к любому из краев фотошаблона, с помощью прямолинейных участков, которыми являются стороны восьмиугольника.

Предлагаемый проекционный координатограф позволяет формировать weменты топологии, расположенные под углом 45" к любому из краев фотошаблона, не только с помощью правильного восьмиугольника в качестве световой ,фигуры, но и с помощью неправильного шестиугольника, который образуется, если шторки 6 и 8 не участвуют в формировании световой фигуры. В этом случае длина прямолинейного участка световой фигуры, формирующего край элемента топологии, больше, чем при использовании восьмиугольника. Это дает дополнительную возможность улучшения качества краев элементов зЗ .топологии.

Проекционный координатограф, содержащий координатный стол с фиксатором, для крепления светочувствительного материала и оптический узел с осветителем, конденсором, объективом и коллиматором, выполненным в виде соединенных с микрометрическими винтами. двух пар ортогонально установленных шторок, размещенных между конденсором и объективом, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, он снабжен дополнительными шторками с электромагнитами и подвижными упорами, кинематически соединенными с микрометрическим винтом одной из двух " пар ортогонально установленных шторок, а дополнительные шторки вв1полнены с прямоугольными вырезами в зоне формирования элемента топологии и установлены параллельно одной из.двух пар ортогонально установленных што;рок с возможностью взаимодействия с подвижными упорами, причем отношение между величинами перемещений подвижных упоров и одной из двух пар ортогонально установленных шторок равно /2.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Ф 280489, кл. Н 05 К 3/00, 1962.